母面板吸附装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114788034A(43)申请公布日2022.07.22(21)申请号202180007035.6(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司(22)申请日2021.01.0411332专利代理师吕琳田英爱(30)优先权数据10-2020-00231112020.02.25KR(51)Int.Cl.H01L51/56(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L51/00(2006.01)2022.06.08(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2021/0000062021.01.04(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/172731KO2021.09.02(71)申请人迈格森株式会社地址韩国忠清南道天安市(72)发明人朴震朴鲁善赵昶济权利要求书4页说明书20页附图22页(54)发明名称母面板吸附装置(57)摘要根据本发明的一个实施例的母面板吸附装置，作为一种在母面板的一表面朝下的状态下，通过吸附作为上述一表面的反面的另一表面，对上述显示面板是否存在缺陷进行检查的装置，能够在吸附大型母面板并运送至所需位置的过程中，即使丧失了部分吸附技能，也能够最小化吸附技能的下降，从而可以防止运送的稳定性以及准确性下降。CN114788034ACN114788034A权利要求书1/4页1.一种母面板吸附装置，在母面板的一表面朝下的状态下，通过吸附作为所述母面板的反面的另一表面，对所述显示面板是否存在缺陷进行检查，其中，在所述母面板的一表面设置有蒸镀有用于形成有机发光层的有机物层的至少一种种类的显示面板，其特征在于，包括：平台模块，其以母面板的一表面朝向上部的正常状态吸附并固定所述母面板的另一表面，所述平台模块包括用于防止所述母面板由于自重而导致中心部下沉的多个平台单元，并且通过旋转使所述母面板从所述正常状态变化为所述一表面朝下的翻转状态，运送模块，其吸附在所述平台模块上从所述正常状态变换为所述翻转状态的所述母面板的所述另一表面，然后将所述母面板保持所述翻转状态下移动到用于检查所述显示面板是否有缺陷的位置；其中，所述多个平台单元分别以相互间隔的方式放置，从而在彼此之间形成第一空间，所述运送模块包括：多个运送单元，其在所述平台模块发生旋转使得所述母面板从所述正常状态变化为所述翻转状态的情况下，插入到所述第一空间并吸附以翻转状态放置的所述另一表面，并防止所述母面板由于自重而导致中心部的下沉，所述多个运送单元分别设置有以间隔的方式放置的吸附部，以吸附所述另一表面，所述多个运送单元划分为至少包括一个的多个组合，且所述多个组合分别单独控制吸附功能，当包含在特定组合中的吸附部丧失所述吸附功能时，通过包含在其他组合中的吸附部的所述吸附功能，防止以所述翻转状态吸附所述另一表面的所述母面板的脱落。2.根据权利要求1中所述的母面板吸附装置，其特征在于，所述多个运送单元分别包括用于实现所述吸附功能的真空管线，所述多个组合分别共享所述真空管线。3.一种母面板吸附装置，在母面板的一表面朝下的状态下，通过吸附作为所述母面板的反面的另一表面，对所述显示面板是否存在缺陷进行检查，其中，在所述母面板的一表面设置有蒸镀有用于形成有机发光层的有机物层的至少一种种类的显示面板，其特征在于，包括：平台模块，其以母面板的一表面朝向上部的正常状态吸附并固定所述母面板的另一表面，所述平台模块包括用于防止所述母面板由于自重而导致中心部下沉的多个平台单元，并且通过旋转使所述母面板从所述正常状态变化为所述一表面朝下的翻转状态，运送模块，其吸附在所述平台模块上从所述正常状态变换为所述翻转状态的所述母面板的所述另一表面，然后将所述母面板保持所述翻转状态下移动到用于检查所述显示面板是否有缺陷的位置；其中，所述多个平台单元分别以相互间隔的方式放置，从而在彼此之间形成第一空间，所述运送模块包括：多个运送单元，其在所述平台模块发生旋转使得所述母面板从所述正常状态变化为所述翻转状态的情况下，插入到所述第一空间并吸附以翻转状态放置的所述另一表面，并防止所述母面板由于自重而导致中心部的下沉，所述多个运送单元分别设置有以间隔的方式放置的吸附部，以吸附所述另一表面，在所述多个运送单元分别设置的吸附部，单独控制吸附功能，当吸附部丧失所述吸附2CN114788034A权利要求书2/4页功能时，通过其他吸附部的所述吸附功能，防止以所述翻转状态吸附所述另一表面的所述母面板的脱落。4.一种母面板吸附装置，在母面板的一表面朝下的状态下，通过吸附作为所述母面板的反面的另一表面，对所述显示面板是否存在缺陷进行检查，其中，在所述母面板的一表面设置有蒸镀有用于形成有机发光层的有机物层的至少一种种类的显示面板，其特征在于，包括：平台模块，其以母