用于控制激光束的聚焦的装置和方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115735158A(43)申请公布日2023.03.03(21)申请号202180045822.X(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所(22)申请日2021.06.2911105专利代理师曲莹(30)优先权数据20183909.92020.07.03EP(51)Int.Cl.G02F1/33(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.27(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2021/0678502021.06.29(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/002937EN2022.01.06(71)申请人迈康尼股份公司地址瑞典泰比(72)发明人P.斯坦斯特罗姆A.斯文森J-O.拉森权利要求书2页说明书8页附图4页(54)发明名称用于控制激光束的聚焦的装置和方法(57)摘要公开了用于在微扫描期间控制激光束的聚焦的装置、计算机程序、计算机可读介质及方法。将激光束接收至声光偏转器，并向声光偏转器提供声波。该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描。此外，调整声波在微扫描时间内的频率变化率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波在微扫描时间内的调整的频率差，其中所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。CN115735158ACN115735158A权利要求书1/2页1.一种用于在微扫描期间控制激光束的聚焦的方法，该方法包括：将激光束接收至声光偏转器；以及向声光偏转器提供声波，其中该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描，其中调整声波在微扫描时间内的频率变化率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波在微扫描时间内的调整的频率差，其中所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。2.如权利要求1所述的方法，其中，所述在微扫描时间内的调整的频率差在整个微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。3.如权利要求1和2中任一项所述的方法，其中，按照一个函数在微扫描时间内调整声波的频率变化率，在微扫描时间内的每个时刻，在激光束穿过声光偏转器时，该函数在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。4.如权利要求1‑3中任一项所述的方法，还包括：按照预定图案随着时间调制激光束，其中对激光束的调制进行调整，以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描内的位置变化，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。5.如权利要求1‑4中任一项所述的方法，还包括：调整微扫描期间的激光束强度以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描速度的变化，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。6.一种包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装置上被执行时使得处理装置执行如权利要求1‑5中任一项所述的方法。7.一种计算机可读介质，该计算机可读介质在其上存储有包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装置上被执行时使得处理装置执行如权利要求1‑5中任一项所述的方法。8.一种用于将激光束投射到表面上的装置，该装置包括：被布置成接收激光束的声光偏转器；被布置成向声光偏转器提供声波的声换能器；以及控制单元，该控制单元被布置成随着时间改变声波的频率，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描，其中所述控制单元还被布置成调整声波在微扫描时间内的频率变化率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波在微扫描时间内的调整的频率差，其中所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。9.如权利要求8所述的装置，其中，所述在微扫描时间内的调整的频率差在整个微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。10.如权利要求8和9中任一项所述的装置，其中，所述控制单元还被布置成按照一个函数在微扫描时间内调整声波的频率变化率，在微扫描时间内的每个时刻，在激光束穿过声2CN115735158A权利要求书2/2页光偏转器时，该函数在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。11.如权利要求8‑10中任一项所述的装置，还包括：被布置成按照预定图案随着时间调制激光束的调制器，其中对激光束的调制进行调整，以补偿因控制单元随着时间改变声波的