硅片包边机构及方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116174230A(43)申请公布日2023.05.30(21)申请号202310223701.0(22)申请日2023.03.09(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区芦荡路228号(72)发明人刘刚龚志清魏艺深李波洪飞(74)专利代理机构北京金智普华知识产权代理有限公司11401专利代理师徐会娟(51)Int.Cl.B05C1/02(2006.01)B05C11/10(2006.01)B05D1/28(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图10页(54)发明名称硅片包边机构及方法(57)摘要本发明涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片包边机构及方法，旨在解决硅片边缘包覆油墨效率低、设备结构复杂的问题。本发明提供的硅片包边机构包括涂墨组件和驱动组件；涂墨组件包括涂墨辊和刮刀，涂墨辊表面粘有油墨以形成油墨层，刮刀的刀刃指向涂墨辊的表面以控制油墨层的厚度；驱动组件与涂墨组件连接以驱动涂墨组件靠近硅片，进而使硅片边缘插入油墨层。硅片包边机构通过表面粘有油墨的涂墨辊向硅片移动使硅片边缘插入油墨中以实现对硅片边缘三个面的涂覆，并且通过刮刀控制油墨厚度的方式准确高效且结构简单。相比于点胶头的点涂覆移动方式，硅片包边机构涂覆效率高，机械结构大为简化，降低了设备的复杂程度。CN116174230ACN116174230A权利要求书1/2页1.一种硅片包边机构，其特征在于，包括涂墨组件(100)和驱动组件(200)；所述涂墨组件(100)包括涂墨辊(110)和刮刀(120)，所述涂墨辊(110)表面粘有油墨以形成油墨层(a)，所述刮刀(120)的刀刃指向所述涂墨辊(110)的表面以控制所述油墨层(a)的厚度；所述驱动组件(200)与所述涂墨组件(100)连接以驱动所述涂墨组件(100)靠近硅片，进而使硅片边缘插入所述油墨层(a)。2.根据权利要求1所述的硅片包边机构，其特征在于，包括两个关于竖直平面对称设置的所述涂墨组件(100)；所述驱动组件(200)包括左右旋丝杠(210)，所述左右旋丝杠(210)分别与两个所述涂墨组件(100)连接以驱动两个所述涂墨组件(100)同步相向运动或相背运动。3.根据权利要求2所述的硅片包边机构，其特征在于，所述涂墨组件(100)还包括油墨槽(130)，所述油墨槽(130)设置于所述涂墨辊(110)下方，所述涂墨辊(110)可绕自身轴线转动以从所述油墨槽(130)中粘取油墨。4.根据权利要求3所述的硅片包边机构，其特征在于，所述涂墨组件(100)还包括移动架(140)和刀架(150)；所述涂墨辊(110)转动安装于所述移动架(140)，所述移动架(140)与所述驱动组件(200)连接并可沿平行于所述左右旋丝杠(210)的轴线方向上移动；所述刀架(150)安装于所述移动架(140)，所述刮刀(120)安装于刀架(150)。5.根据权利要求4所述的硅片包边机构，其特征在于，所述涂墨组件(100)还包括千分表(160)，所述千分表(160)安装于所述刀架(150)以测量所述刮刀(120)与所述涂墨辊(110)的距离。6.根据权利要求5所述的硅片包边机构，其特征在于，所述涂墨组件(100)还包括主动轮(170)、从动轮(180)、传动带和第一电机(190)；所述主动轮(170)与所述第一电机(190)的输出端连接，所述从动轮(180)与所述涂墨辊(110)连接，所述传动带与所述主动轮(170)、所述从动轮(180)连接。7.根据权利要求6所述的硅片包边机构，其特征在于，所述驱动组件(200)还包括第二电机(220)、左旋丝母(230)和右旋丝母(240)；所述第二电机(220)的输出端与所述左右旋丝杠(210)连接；所述左旋丝母(230)和右旋丝母(240)分别与两个所述涂墨组件(100)连接并与所述左右旋丝杠(210)旋合。8.根据权利要求7所述的硅片包边机构，其特征在于，所述驱动组件(200)还包括固定架(250)和直线导轨(260)，所述第二电机(220)和所述左右旋丝杠(210)安装于所述固定架(250)；所述直线导轨(260)的导轨安装于所述固定架(250)，所述直线导轨(260)的滑块与所述移动架(140)连接。9.根据权利要求1所述的硅片包边机构，其特征在于，所述涂墨辊(110)为包胶辊。10.一种硅片包边方法，其特征在于，使用如权利要求1‑9任一项所述的硅片包边机构，包括如下步骤：所述涂墨辊(110)绕自身轴线转动以使所述刮刀(120)刮除多余油墨并在涂墨辊(110)表面形成所述油墨层(a)，随后所述涂墨辊(110)停止转动；2CN116174230A权利要求书2/2页所述驱动组件(200)带动所