一种抛光垫修整头.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101972988A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101972988A(43)申请公布日2011.02.16(21)申请号201010217013.6(22)申请日2010.06.28(71)申请人清华大学地址100084北京市100084-82信箱(72)发明人路新春沈攀何永勇雒建斌(74)专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司11246代理人张文宝(51)Int.Cl.B24B53/12(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种抛光垫修整头(57)摘要本发明涉及化学机械抛光设备技术领域，特别涉及一种抛光垫修整头。主轴通过两组轴承轴向定位，避免主轴的轴向串动，轴承通过轴承端盖和套筒安装固定在轴承座内；轴承座及轴承端盖设有连通的气孔，并在轴承端盖的气孔上安装快换接头；主轴与轴承座之间的密封，包括迷宫密封和气封；主轴的顶部通过螺钉与同步带固定连接，主轴的底端通过螺钉与法兰及压片固定连接；保护盖、压盘、自适应盘和金刚石盘四者之间通过螺钉连接成一体，将法兰及压片包覆固定；法兰与压盘之间以及法兰与保护盖之间分别通过压紧柔性环连接。本发明结构简单紧凑美观，易于加工制造及装配，运动平稳可靠，具有很高的实用性，可广泛用于抛光设备中。CN109728ACCNN110197298801972990A权利要求书1/1页1.一种抛光垫修整头，包括主轴(14)、轴承座(6)、轴承端盖(13)、轴承(9)、旋转接头(11)、同步带轮(10)、金刚石盘(1)以及密封圈，其特征在于，主轴(14)通过两组轴承(9)轴向定位，避免主轴的轴向串动，轴承(9)通过轴承端盖(13)和套筒(8)安装固定在轴承座(6)内；轴承座(6)及轴承端盖(13)设有连通的气孔，并在轴承端盖(13)的气孔上安装快换接头(12)；主轴(14)与轴承座(6)之间的密封，包括迷宫密封和气封；主轴(14)的顶部通过螺钉与同步带(10)固定连接，主轴(14)的底端通过螺钉与法兰(15)及压片(17)固定连接；保护盖(5)、压盘(3)、自适应盘(19)和金刚石盘(1)四者之间通过螺钉连接成一体，将法兰(15)及压片(17)包覆固定；法兰(15)与压盘(3)之间以及法兰(15)与保护盖(5)之间分别通过压紧柔性环(18)连接。2.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整头，其特征在于，所述压盘(3)与自适应盘(19)之间、保护盖(5)与压盘(3)之间、主轴(14)与法兰(15)之间分别安装第一密封圈(2)、第二密封圈(4)和第三密封圈(7)。3.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整头，其特征在于，所述第一密封圈(2)、第二密封圈(4)、柔性环(18)、法兰(15)、压盘(3)及自适应盘(19)共同形成密闭空腔。4.根据权利要求2所述的一种抛光垫修整头，其特征在于，对所述密闭空腔抽真空时，金刚石盘(1)、压盘(3)、保护盖(5)和自适应盘(19)将一起向上运动，抽真空的真空度为0～100kPa；对密闭空腔加正压时，金刚石盘(1)、压盘(3)、保护盖(5)和自适应盘(19)将一起向下运动，通过控制正压压力，金刚石盘(1)与抛光垫的接触时修整头的下压力线性变化，下压力变化范围为0～300牛。5.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整头，其特征在于，所述金刚石盘(1)在上下伸缩运动时，向上运动时，自适应盘(19)细轴端面与主轴(14)内孔端面相贴合，形成上限位点；向下运动时，保护盖(5)的斜边与法兰(15)的轴肩斜边贴合，形成下限位点；金刚石盘(1)上下运动的行程为0～15mm。6.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整头，其特征在于，所述柔性环(18)的材料为橡胶，具有密封和传递扭矩的作用；金刚石盘(1)向下运动时，柔性环(18)向下延伸并伸长，主轴(14)通过柔性环(18)将扭矩传递给金刚石盘(1)并与之共同旋转。7.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整头，其特征在于，所述自适应盘(19)在主轴(14)孔内自由滑动，具有导向作用；自适应盘(19)的薄片结构具有弹性，薄片厚度为0.1mm～0.5mm，在金刚石盘(1)与抛光垫接触过程中能产生弹性变形，从而使金刚石盘(1)具有自适应性，能在修整抛光垫的过程中与之完全面面贴合，得到良好的修整效果。8.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整头，其特征在于，所述气封的形成过程为：气体通过快换接头(12)进入轴承座(6)腔内，部分气体从主轴(14)与轴承座(6)之间的间隙吹出，形成气封，从而避免在抛光过程中有液体进入轴承座腔内。2CCNN110197298801972990A说明书1/3页一种抛光垫修整头技术领域[0001]本发明涉及化学机械抛光设备技术领域，特别涉及一种抛光垫修整头。背景技术[