一种用于抛光垫的修整装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114454095A(43)申请公布日2022.05.10(21)申请号202210055038.3(22)申请日2022.01.18(71)申请人北京烁科精微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101(72)发明人郑宗浩李伟周博伦尹影(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250专利代理师王月(51)Int.Cl.B24B53/14(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种用于抛光垫的修整装置(57)摘要本发明提供的一种用于抛光垫的修整装置，属于抛光技术领域，包括：基座，基座上具有向外伸出的连接杆；修整辊，通过安装架连接在连接杆上，修整辊可轴向转动的设于安装架上；修整辊具有用于修整抛光垫的工作段，该工作段的长度不小于抛光垫的半径；第一驱动件，设于所述安装架上，用于驱动所述修整辊转动。本发明的修整装置在修整过程中，第一驱动件驱动修整辊进行自转，修整辊在待修整区域内的线速度保持恒定、且在待修整区域的各个部位停留的时间也一致，使抛光垫各处的修整量均匀。另外，修整辊与抛光垫为线接触，易控制修整辊与抛光垫压紧，且易使抛光垫各部位的受力更加均匀，进一步使抛光垫各处的修整量均匀一致。CN114454095ACN114454095A权利要求书1/1页1.一种用于抛光垫的修整装置，其特征在于，包括：基座(1)，所述基座(1)上具有向外伸出的连接杆(3)；修整辊(2)，通过安装架(5)连接在所述连接杆(3)上，所述修整辊(2)可轴向转动的设于所述安装架(5)上；所述修整辊(2)具有用于修整抛光垫的工作段，该工作段的长度不小于抛光垫的半径；第一驱动件(4)，设于所述安装架(5)上，用于驱动所述修整辊(2)转动。2.根据权利要求1所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述连接杆(3)可上下活动地连接在所述基座(1)上，所述连接杆(3)用于调节所述修整辊(2)对抛光垫的压力。3.根据权利要求2所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述连接杆(3)上具有沿其长度方向依次分布的第一连接部(6)、第二连接部(7)以及第三连接部(8)，所述第一连接部(6)铰接在所述安装架(5)上，所述第二连接部(7)铰接在所述基座(1)上，还包括：第二驱动件(9)，设于所述基座(1)，所述第二驱动件(9)具有可下上移动的推杆，该推杆与所述第三连接部(8)铰接，所述第二驱动件(9)用于驱动所述连接杆(3)上下摆动。4.根据权利要求3所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述第一连接部(6)与所述第二连接部(7)之间的距离为L1，所述第二连接部(7)与所述第三连接部(8)之间的距离为L2，所述L1大于所述L2。5.根据权利要求3所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述第三连接部(8)为开设在所述连接杆(3)上的长条孔，所述第二驱动件(9)的推杆端部具有垂直设置的连接柱(10)，该连接柱(10)滑动穿设在所述长条孔内。6.根据权利要求1所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述基座(1)上具有转动设置的摆臂(15)，所述连接杆(3)连接在所述摆臂(15)上，所述摆臂(15)具有使所述修整辊(2)与抛光垫对正的第一状态和使所述修整辊(2)远离抛光垫的第二状态；当所述摆臂(15)处于第一状态时，所述修整辊(2)对抛光垫进行修整，此时所述摆臂(15)处于静止状态。7.根据权利要求1所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述安装架(5)为开口朝下的U形结构，传动轴(11)可转动的穿设在所述安装架(5)的开口端的两侧壁上，所述修整辊(2)固定套设在所述传动轴(11)上。8.根据权利要求1所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述连接杆(3)上具有沿其长度方向开设的容置槽(14)，所述容置槽(14)内适于放置线缆。2CN114454095A说明书1/5页一种用于抛光垫的修整装置技术领域[0001]本发明涉及抛光技术领域，具体涉及一种用于抛光垫的修整装置。背景技术[0002]化学机械抛光平坦化(ChemicalMechanicalPlanarization,CMP)设备中晶圆在粗糙的抛光垫表面抛光晶圆，随着抛光时间的延长，抛光垫表面被磨平，失去抛光的效果，需要有带有砂轮盘的修整器对抛光垫表面修整，使抛光垫表面粗糙有摩擦力，使之继续拥有抛光的功能。[0003]目前，修整装置主要包括：基座、摆臂、主动带轮、从动带轮、砂轮盘以及轴承座；摆臂的一端连接在基座的顶端的旋转座上，摆臂另一端连接在轴承座上，摆臂摆动间接带动轴承座的摆动；砂轮盘转动设于轴承座上，砂轮盘的顶端连接有从动带轮，主动带轮设置在基座上，主动带轮与从动带轮通过皮带进行绕接。