LCD制造工艺流程(技术类)0.ppt

本教材共2小时一、液晶显示器制造工艺流程1.1液晶显示屏制造工艺流程图案段工艺示意图1.1.2前工序定向段1.1.3前工序组合段框胶投料ITOInput来料ITO玻璃主要的污染物为：灰尘油脂等一定温度的碱液对ITO玻璃有很好的清洗作用高纯水清洗可去除溶于水的杂质及一些灰尘同时还能够上工序的碱液去除掉而超声波的清洗作用在于利用水分子在超声波的作用下发生振动摩擦使玻璃表面粘附的杂质松动而脱落。水洗后的玻璃要进行干燥处理方法为风刀吹去玻璃表面的水然后经过红外光烘箱干燥。玻璃基板的污物种类不同针对不同的污物种类选择不同的清洗方式：油污类--------------有机清洗紫外光清洗有机物--------------弱碱液清洗等离子体无机物--------------弱酸气流喷淋残留微粒子------------超声喷淋气流注意事项：1．有机溶剂必须储存在阴凉的地方不要靠近明火；2．易挥发且有毒性使用时尽量少接触皮肤或者吸入体3．不慎着火用沙泡沫二氧化碳灭火器灭火。清洗与干燥的工作原理：ITO导电玻璃进行洁净处理ITO导电玻璃在其制作包装运输过程中很容易被灰油脂等杂质污染未经洁净处理的玻璃无法保证工艺的质量要求而这些杂质是依靠静电吸附在玻璃表面比较容易去除。A．有机溶剂去污原理：（去除油脂类物质）油脂不溶于水但它可溶于甲苯丙酮乙醇等有机溶剂其中甲苯的去污能力最强所以先用甲苯洗但甲苯不能残留在玻璃的表面。因甲苯可溶于丙酮可再用丙酮进行清洗把残余的油脂清洗掉同时甲苯也溶解同样丙酮也不能够残留在玻璃表面因丙酮溶于乙醇所以继续用乙醇进行清洗乙醇可以与水相溶解最后用大量的去离子水把乙醇溶解。因此清洗流程为：甲苯丙酮乙醇去离子水（有机化学中的相近相溶原理）B．洗洁精的去污原理：洗洁精（表面活性剂）能够使不相溶的液体成为乳浊液。通过此乳化作用将油脂包围在水中而形成乳浊液来达到去污作用玻璃经过洗洁精去油污后再依次用大量的自来水去离子水冲洗就可以达到洁净玻璃表面的目的。C．干燥工艺原理：经过清洗后的玻璃表面沾有水或者有机溶剂等清洗液这将会对后续工序造成不良影响特别是光刻工艺会产生浮胶钻刻图形不清晰等因此玻璃必须经过干燥处理。涂胶前洗净PRCleaning风刀吹干法：STN线上是一种高效省时的干燥玻璃表面的方法用高纯水淋洗过的玻璃随生产线传送到风刀位置由数个高压喷嘴把经过净化处理的空气以适当的倾斜角成刀片状吹向玻璃表面迅即吹干玻璃。超声波清洗：特点：速度快质量高易于实现自动化特别适有于清洗表面形状比较复杂的工件对声反射强烈的材料其清洗效果较好。作用机理：通过超声空化作用存在于液体中的微气泡（空气核）在声场的作用下振动当声压达到一定的值时气泡将迅速增长然后突然闭合在气泡闭合时产生冲击波在其周围产生上千个大气压的压力破坏不溶性污物而使它们分散在清洗液中涂胶PRCoating光刻胶的配制：配比原则：既要使光刻胶具有良好的抗蚀能力又要有较高的分辨率。光刻胶中溶剂用量的多少决定着光刻胶的稀稠从而影响光刻胶的厚薄较稀的胶光刻胶膜较薄分辨率高图形较为清晰。配制在暗室中红光或者黄光下进行用量筒按配方比例将原胶及溶剂分别量好再将溶剂倒入原胶用玻璃棒充分搅拌均匀Page9of28混合再把配制好的光刻胶中未能够溶解的固态杂质微粒滤除（目的在于改善胶膜与掩模版的接触以减少胶膜针孔和提高分辩率）装在暗色的玻璃瓶中并保存在阴凉和干燥的暗箱中。涂胶：在使用前一定先把胶从低温条件下取出在使用场地放置至瓶内胶的温度与环境温度相同时方可打开瓶盖使用前必须进行粘度测试（粘度的调整采用稀释的方法加入一定量的稀释剂）玻璃表面状况对光刻胶的接触与粘附具有较大的影响因此清洗后的玻璃经过紫外线照射对其表面进行活化处理然后再涂光刻胶。要求：不能够有脱落现象；涂层厚度均匀；涂层表面状态不能有条纹针孔突起等缺陷。方法：辊涂必须在洁净条件下进行温度19~25度湿度60%不含紫外光成分的黄灯下进行操作。预烘PreBake曝光Exposure如果曝光时间不充分光刻胶咸光不足化学反应不完全显影时受光部分溶解不彻底易留底膜；曝光时间过长不该曝光部分边缘也被微弱感光刻蚀后图形边界模糊细线条变形严重。注意事项：1．掩模版上机前要严格检查因为版若有缺陷做出的产品也会有缺陷特别是不能够有版污染划伤等。2．曝光定位一定要准确否则后工序无法加工。显影Developing坚膜Post-baking显影检查DevelopingInspection蚀刻Etching蚀刻：用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的ITO膜腐蚀掉而将有光刻胶保护的ITO保存下来最终形成ITO图形选用腐蚀液必须是能够腐蚀掉ITO胶又不能损伤玻璃表面和光刻胶一般选用一定比例