LCD制造工艺流程(技术类)1.0.ppt

本教材共2小时一、液晶显示器制造工艺流程1.1液晶显示屏制造工艺流程图案段工艺示意图1.1.2前工序定向段1.1.3前工序组合段框胶投料ITOInput
来料ITO玻璃主要的污染物为：灰尘，油脂等，一定温度的碱
液对ITO玻璃有很好的清洗作用，高纯水清洗可去除溶于水的杂
质及一些灰尘，同时还能够上工序的碱液去除掉，而超声波的清
洗作用，在于利用水分子在超声波的作用下发生振动摩擦，使玻
璃表面粘附的杂质松动而脱落。水洗后的玻璃要进行干燥处理，
方法为风刀吹去玻璃表面的水然后经过红外光烘箱干燥。
玻璃基板的污物种类不同，针对不同的污物种类选择不同的
清洗方式：
油污类--------------有机清洗，紫外光清洗
有机物--------------弱碱液清洗，等离子体
无机物--------------弱酸，气流，喷淋
残留微粒子------------超声，喷淋，气流
注意事项：
1．有机溶剂必须储存在阴凉的地方，不要靠近明火；
2．易挥发且有毒性，使用时尽量少接触皮肤或者吸入体

3．不慎着火，用沙，泡沫，二氧化碳灭火器灭火。
清洗与干燥的工作原理：ITO导电玻璃进行洁净处理，ITO导
电玻璃在其制作，包装，运输过程中很容易被灰，油脂等杂质污
染，未经洁净处理的玻璃无法保证工艺的质量要求，而这些杂质
是依靠静电吸附在玻璃表面，比较容易去除。
A．有机溶剂去污原理：（去除油脂类物质）油脂不溶于水，但它
可溶于甲苯，丙酮，乙醇等有机溶剂，其中甲苯的去污能力最强，
所以先用甲苯洗，但甲苯不能残留在玻璃的表面。因甲苯可溶于
丙酮，可再用丙酮进行清洗，把残余的油脂清洗掉，同时甲苯也
溶解，同样丙酮也不能够残留在玻璃表面，因丙酮溶于乙醇，所
以继续用乙醇进行清洗，乙醇可以与水相溶解，最后用大量的去
离子水把乙醇溶解。因此清洗流程为：甲苯丙酮乙
醇去离子水（有机化学中的相近相溶原理）
B．洗洁精的去污原理：洗洁精（表面活性剂）能够使不相溶的
液体成为乳浊液。通过此乳化作用将油脂包围在水中而形成乳浊
液来达到去污作用，玻璃经过洗洁精去油污后，再依次用大量的
自来水，去离子水冲洗就可以达到洁净玻璃表面的目的。
C．干燥工艺原理：经过清洗后的玻璃，表面沾有水或者有机溶
剂等清洗液，这将会对后续工序造成不良影响，特别是光刻工艺
会产生浮胶，钻刻，图形不清晰等，因此玻璃必须经过干燥处理。
涂胶前洗净PRCleaning风刀吹干法：STN线上是一种高效省时的干燥玻璃表面的方
法，用高纯水淋洗过的玻璃随生产线传送到风刀位置，由数个高
压喷嘴把经过净化处理的空气以适当的倾斜角成刀片状吹向玻璃
表面，迅即吹干玻璃。
超声波清洗：
特点：速度快，质量高，易于实现自动化，特别适有于清洗表
面形状比较复杂的工件，对声反射强烈的材料，其清洗效果较好。
作用机理：通过超声空化作用，存在于液体中的微气泡（空气核）
在声场的作用下振动，当声压达到一定的值时，气泡将迅速增长，然
后突然闭合，在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压
的压力，破坏不溶性污物而使它们分散在清洗液中
涂胶PRCoating光刻胶的配制：
配比原则：既要使光刻胶具有良好的抗蚀能力，又要有较高
的分辨率。
光刻胶中溶剂用量的多少决定着光刻胶的稀稠，从而影响光
刻胶的厚薄，较稀的胶，光刻胶膜较薄，分辨率高，图形较为清
晰。配制在暗室中红光或者黄光下进行，用量筒按配方比例将原
胶及溶剂分别量好，再将溶剂倒入原胶，用玻璃棒充分搅拌均匀
Page9of28
混合，再把配制好的光刻胶中未能够溶解的固态杂质微粒滤除（目
的在于改善胶膜与掩模版的接触以减少胶膜针孔和提高分辩率），
装在暗色的玻璃瓶中，并保存在阴凉和干燥的暗箱中。
涂胶：在使用前一定先把胶从低温条件下取出，在使用场地放
置至瓶内胶的温度与环境温度相同时方可打开瓶盖，使用前必须
进行粘度测试，（粘度的调整采用稀释的方法，加入一定量的稀释
剂），玻璃表面状况对光刻胶的接触与粘附具有较大的影响，因此
清洗后的玻璃经过紫外线照射对其表面进行活化处理，然后再涂
光刻胶。要求：不能够有脱落现象；涂层厚度均匀；涂层表面状
态不能有条纹，针孔，突起等缺陷。方法：辊涂，必须在洁净条
件下进行，温度19~25度，湿度60%，不含紫外光成分的黄灯下
进行操作。预烘PreBake曝光Exposure如果曝光时间不充分，光刻胶咸光不足，化学反应不完全，显影时受光部分溶解不彻底，易留底膜；曝光时间过长，不该曝光部分边缘也被微弱感光，刻蚀后图形边界模糊，细线条变形严重。
注意事项：
1．掩模版上机前要严格检查，因为版若有缺陷做出的产品也
会有缺陷，特别是不能够有版污染，划伤等。
2．曝光定位一定要准确，否则后工序无法加工。
显影Developing坚膜Post-baki