微晶玻璃冰冻固结磨料抛光工艺研究.pdf

硕士学位论文微晶玻璃冰冻固结磨料抛光工艺研究発南京航空航天大学研究生院机电学院研究方向周亮机械制造及其自动化研究生姓名学科、专业指导教师精密、超精密加工左敦稳教授二狾年五月易匀豢蒲Щ鹱手钅縉帐〔┦亢罂蒲凶手苹钅縉中图分类号：琓学科分类号：论文编号：．苨綼甤狢緄猚鷇觥皁铲】辌套沁．觚．闦畂缸龇．．衫蛩一川同承诺书本人声明：所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。Ｃ艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽境信凳作者签名：日期：一噶摘要微晶玻璃凭借其优越的综合性能将成为下一代硬盘基板材料的最佳选择。微晶玻璃属于硬脆材料在加工过程中极易发生脆性破坏对获得高质量的超光滑表面带来很大困难。本文针对微晶玻璃超精密加工中的困难探索冰冻固结磨料抛光垫对其进行抛光的新工艺对微晶玻璃脆塑转变机理、冰冻固结磨料抛光垫的制备及其抛光工艺开展了深入研究。本文主要工作和取得的成果如下：芯苛瞬煌露认挛⒕РＡУ拇嗨茏1浠采用维氏硬度计研究了微晶玻璃在不用温度下的硬度和裂纹产生、扩展及其特征分析了温度对微晶玻璃脆塑转变机理的影响规律。研究表明：温度越高载荷越大裂纹的形成和扩展越快。在不同实验温度下随着载荷的增加微晶玻璃都经历了从塑性变形到脆性断裂的转变过程。芯苛怂嗵逑抵形⒚住⒛擅准禖厶宓姆稚⒐ひ通过合理选择超声时间、溶液值、分散剂种类和浓度等指标探讨了配制均匀稳定的微米、纳米级抛光液的最佳工艺为开发性能优良的微、纳米抛光液提供了参考。芯苛吮彻探崮チ吓坠獾娴闹票阜椒ê凸ひ对原有的抛光设备进行了低温与洁净环境的改造。设计制作了冰冻模具采用分层浇注和分层冻结法制备了微、纳米级冰冻固结磨料抛光垫。U沽吮彻探崮チ吓坠獾娴臀屡坠馕⒕РＡУ墓ひ昭芯开展两步抛光法对微晶玻璃进行了冰冻抛光实验。分别研究了微米和纳米级汗探崮チ抛光垫冰冻抛光过程的主要工艺参数对材料去除率及三维表面粗糙度的影响规律。获得了冰冻固结磨料抛光垫的最佳抛光参数组合为该工艺的实用化开展了积极探索。关键词：微晶玻璃脆塑转变冰冻固结磨料抛光垫材料去除率表面粗糙度南京航空航天大学硕士学位论文删呲痺嬲龇妇嚣弱甤醕猟吣阨∞笛删托砌弱莎臣．鮯屯蟘裵綽筧强鲰毗塔血玳鱪荆葸笛猰鑑∞酉孙砌妇瓽裺﹊舯一筋则啪咖祄謅妊廿吵鷖膇∞心他唧辬蔱嫩瓸蹴幽瞔跚时積姐鐁產篵懿韌印∞雠．緄锣骯、勰驴孤鴕鷇⒊鷈筗世“嘶触猠黟培夥删血墩锄鷏姗琾党鷇阛璐轪珥辳丽响印猤麟锄蘳丘恐鄆韕鮥黟趾黼恤∞】唱谢弱蹲骸綢羽瑁甤也鷇呔胮、祄耫廿辷噧舀勰叮荷尽Ⅵ酉笛舕蜩謅甊鷏縫瞰鷇瞙Ⅱ噦辵恐他瓺齞籱．齣磑仃鲥∞．摇扪衜硼顾毽鹏姐辯裯付鷇南京航空航天大学硕士学位论文伍鷇甅缸磇西弱豫丘’∞鷊鷇磇琧辭出耮甌％鷆⒂琺、Ⅱ甌百辌祇站樗籥衜ⅲ琣∞凼：莚產∞豁】衕鑩璱