LIGA工艺的发展及应用.pdf

!"!#器件与技术!"!#$%&’(%)*%(+-.-/0!"#$工艺的发展及应用孔祥东!张玉林!宋会英"山东大学控制科学与工程学院电子束研究所!山东济南MBNN$2#摘要!介绍了./01"FO(DH)5P(F+!H5E5GD*D)C9GH5G-5Q*D)C9GH$技术以及在此基础上开发出来的准./01%F;+4./01$技术&=./01"I5:)F*F:F5./01$&?M./01"CDEFGHC5I;./01$技术和抗蚀剂回流./01"RS./01(’(P(DOD)+IFIO)+*DT./01#技术等)利用这一系列./01技术!可以生成具有高深宽比的复杂微结构!如微尖阵列&球形曲面&活动部件等!能较好地满足?’?=发展的需要)最后指出了目前这些方法存在的缺陷)关键词!./01*光刻胶*3射线*曝光中图分类号!UVWNBXJ文献标识码!1文章编号!2$J24AJJ$&MNNA’NB4NN2W4N$!"#"$%&’"()*(+*&&$-*)%(%./012)"-3(%$%45YZV03F5GH4-DGH![71V0\94FG!=ZV079F46FGH&!"#$%$&$’()*+-$.("/01!230"4("56"%7.#%$8!9%"0"MBNN$2!:3%"0’267)89-)(1I+)F+ID*./01&FO(DH)5P(F+!H5E5GD*D)C9GH5G-5Q*D)C9GH’O+:(GDDHF+I5)+FGO)D4-9:+-!I9:(5I:DGE+GOFDG5./01!F;+4./01!=./01&I5:)F*F:F5./01’!?M./01&CDEFGHC5I;./01’5G-)+IFIO4)+*DT4./01&RS./01))P(DOD)+IFIO)+*DT./01’8UDC++OO(+-+E+DPC+GOD*?’?=!5E5)F+O6D*CF:)DIO)9:O9)+ITFO((FH(45IP+:O)5OFD5)+C5-++5IF6TFO(O(+I+./01O+:(GDD4HF+I))CF:)D4PDFGO5))56!IP(+)F:5I9)*5:+5G-CDEFGHP5)OI8]FG56O(+59O(D)IP9O*D)T5)-IDC+-FI5-E5GO5H+I5QD9OO(+I+O+:(GDDHF+I8:"5;%8+7(./01*P(DOD)+IFIO*34)56*+^PDI9)+微传感器%微执行器和?’?=器件等领域!各国!引言科研人员又在./01技术的基础上研究并提出了为了能够产生高深宽比的三维微结构!!"#$@’?技术"A!B#%掩模移动./01技术&CDEFGH年德国教授%&’()*+-等人首次提出了./01C5I;./01’"$!J#和抗蚀剂回流./01技术"K!"#技术"2#!又称为34)564./01$其后!美国78等!将./01技术的内涵进一步扩大$目前