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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102180016A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102180016A(43)申请公布日2011.09.14(21)申请号201010624394.X(22)申请日2010.12.28(30)优先权数据12/647,9772009.12.28US(71)申请人施乐公司地址美国康涅狄格州(72)发明人洪昭考克-益·劳(74)专利代理机构上海胜康律师事务所31263代理人周文强李献忠(51)Int.Cl.B41J2/16(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图4页(54)发明名称超疏油和超疏水表面及其制备方法(57)摘要制备具有超疏油表面的柔性装置的方法,其包括提供柔性衬底;在该柔性衬底上设置硅层;使用光刻法在该衬底上的该硅层中生成网纹图案,其中该网纹图案包括沟槽结构;以及通过在其上设置保形疏油涂层化学修饰该网纹表面;从而提供具有超疏油表面的柔性装置。CN10286ACCNN110218001602180018A权利要求书1/1页1.制备具有超疏油表面的柔性装置的方法,其包括:提供柔性衬底;在该柔性衬底上设置硅层;使用光刻法在该衬底上的该硅层中生成网纹图案,其中该网纹图案包括沟槽结构;以及通过在其上设置保形疏油涂层化学修饰该网纹表面;从而提供具有超疏油表面的柔性装置。2.如权利要求1所述的方法,其中该光刻法包括采用多个蚀刻循环来生成竖直蚀刻,其中该多个蚀刻循环的每一个包括a)沉积保护性钝化层,b)在需要处蚀刻去除钝化层,和c)各向同性蚀刻硅;以及d)重复步骤a)至c)直至获得所需的沟槽结构构造。3.具有超疏油表面的柔性装置,其包括:包含塑料膜的柔性衬底;设置在该柔性衬底上的硅层,其中该硅层包含网纹沟槽图案;以及设置在该网纹表面上的保形疏油涂层。4.喷墨印刷头,其包括:前端面,其包含具有塑料膜的柔性衬底;设置在该柔性衬底上的硅层,其中该硅层包含具有沟槽结构的网纹图案;以及设置在该网纹表面上的保形疏油涂层。2CCNN110218001602180018A说明书1/7页超疏油和超疏水表面及其制备方法技术领域[0001]本文披露了制备具有超疏油表面的柔性装置的方法,其包括提供柔性衬底;在该柔性衬底上设置硅层;使用光刻法在该衬底上的该硅层中生成网纹图案,其中该网纹图案包括沟槽结构;以及通过在其上设置氟硅烷涂层化学修饰该网纹表面;从而提供具有超疏油表面的柔性装置。在特定的实施方式中,该柔性、超疏油装置可用作喷墨印刷头的前侧表面。背景技术[0002]液体喷墨系统通常包括一个或多个印刷头,其具有多个喷墨器(inkjets),液滴从该喷墨器喷向记录介质。印刷头的喷墨器从油墨供应室或印刷头歧管接收油墨,后者进而从源头(例如熔融油墨贮存器或油墨盒)接收油墨。每个喷墨器包括具有一端与油墨供应歧管流体联通的通道。该油墨通道的另一端具有用于喷射油墨滴的孔口或喷嘴。该喷墨器的喷嘴可形成于具有对应于喷墨器喷嘴的开口的窄孔或喷嘴板中。在操作过程中,液滴喷射信号激活喷墨器中的促动器,从而将液滴从该喷墨器喷嘴排出到记录介质上。通过选择性激活喷墨器的促动器以在记录介质和/或印刷头组件相对运动时喷射液滴,沉积的液滴可被精确地图案化以在记录介质上形成特定的文字和图形图像。全宽阵列印刷头的范例描述于美国专利公布20090046125中。可在该种印刷头中喷射的可紫外固化凝胶油墨的范例描述于美国专利公布20070123606中,其在此全文引入作为参考。能在该种印刷头中喷射的固体油墨的范例为可从Xerox公司获得的XeroxColorQubeTM青绿色固体油墨。美国专利5,867,189描述了一种喷墨器印刷头,其包括了再印刷头外侧结合了电抛光油墨接触或孔口表面的油墨喷射组件。[0003]液体油墨喷射系统所面临的一个困难在于印刷头前端面上的油墨的润湿、滴料或溢流。印刷头前端面的各种污染物可导致或引起喷墨器喷嘴和通道的堵塞,这一问题或者它与润湿、污染前端面的组合可导致或引起在记录介质上不能发射或漏发液滴、偏小或尺寸错误的液滴、伴随或错误定向的液滴,并因而导致下降的印刷质量。目前的印刷头前端面涂层通常是喷溅的聚四氟乙烯涂层。当印刷头倾斜时,温度为约75℃下的UV凝胶油墨(75℃通常为UV凝胶油墨的喷射温度)和温度为约105℃下的固体油墨(105℃通常为固体油墨的喷射温度)不能容易地在该印刷头前侧表面滑动。相反地,这些油墨沿着印刷头前端面流动,并在该印刷头上留下了油墨膜或残留物,这会干扰喷射。处于这种原因,UV和固体油墨印刷头的前端面易于被UV和固体油墨所污染。在一些情况下,该污染的印刷头可被维护单元复新或清洁。然而,这个过程带来了系统复杂性、硬件成本问题,偶尔还带来可靠性问题。[0004]对于制备具有单独的超疏油特性或同时具有