行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告.pdf

行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(1/3)計畫類別：個別型計畫計畫編號：NSC91-2212-E-009-044-執行期間：91年08月01日至92年07月31日執行單位：國立交通大學機械工程學系計畫主持人：李安謙計畫參與人員：黃淵勇、洪榮煌、潘怡仁、林啟綸、楊志明報告類型：精簡報告報告附件：出席國際會議研究心得報告及發表論文處理方式：本計畫可公開查詢中華民國92年6月3日中文摘要(關鍵詞：複合式渦輪分子真空幫浦、應力分佈、自然振動頻率、系統鑑別)本計畫為三年期之計劃計畫第一年的研究目標包含三部份：1.以ANSYS進行TMP的應力分析。2.進行TMP的自然頻率測試與分析。3.建立系統鑑別之相關軟、硬體。本文的目的是在分析複合式渦輪分子真空幫浦轉子在36000rpm高速旋轉之下其葉片應力分佈是否還在彈性範圍內並求得轉子的自然振動頻率確保第一模態的振動高於600Hz以免產生過大的撓曲變形以提高系統的可靠度與方便未來控制器的的設計。在應力分析與自然振動頻率方面我們採用ANSYS模擬複合式渦輪分子真空幫浦轉子在旋轉下的應力分佈並求出自然振動頻率；另外藉由振動實驗根據系統鑑別的原理與Matlab系統鑑別的toolbox找出實際的自然頻率值作為依據來調整估算的設計尺寸。英文摘要(Keyword:compoundturbomolecularpumpstressdistributionnaturalvibrationfrequencysystemidentification)Thisisathree-yearproject.Inthefirstyeartheobjectiveoftheprojectistoanalyzewhetherornotthestressdistributionoftherotorofthecompoundturbomolecularpumpisstillinthesaferangeofflexibilityinthecaseofrotatingathighspeedabout36000rpmandtomakesurethatthefirstnaturalvibrationfrequencyofthepumpishigherthan600Hztopreventitfromalotofflexibledistortion.Thelatterisofadvantagetoenhancethereliabilityofthepumpandthedesignofthecontrollerinthefuture.Intheaspectofthestressdistri-butionandthenaturalvibrationfrequencyweusethesoftwareorANSYStosimulatethestressdistri-butionoftherotorofthecompoundturbomolecularpumpinthecaseofrotatingandsolveitsnaturalvibrat