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二、多晶硅铸锭炉1.多晶硅锭生长方法1.1浇铸法1.2热交换法及布里曼法布里曼法则是在硅料熔化后将坩埚或加热元件移动使结晶好的晶体离开加热区而液硅仍然处于加热区这样在结晶过程中液固界面形成比较稳定的温度梯度有利于晶体的生长。其特点是液相温度梯度dT/dX接近常数生长速度受工作台下移速度及冷却水流量控制趋近于常数生长速度可以调节。实际生产所用结晶炉大都是采用热交换与布里曼相结合的技术。下图为一个热交换法与布里曼法相结合的结晶炉示意图。图中工作台通冷却水上置一个热开关坩埚则位于热开关上。硅料熔融时热开关关闭结晶时打开将坩埚底部的热量通过工作台内的冷却水带走形成温度梯度。同时坩埚工作台缓慢下降使凝固好的硅锭离开加热区维持固液界面有一个比较稳定的温度梯度在这个过程中要求工作台下降非常平稳以保证获得平面前沿定向凝固。1.3电磁铸锭法法(EMC或者EMCP法)HEM/DSS:dominatingprocessPourCasting:Bridgeman:ElectromagneticCasting:continuousprocesslimitedingotsize多晶硅生产过程(LDK)DSS炉操作原理炉子的操作打开腔室提升下面腔室的控制屏幕取出长晶后的硅锭加入新的硅料安全的装上石墨板和螺栓运行一个自动循环