用于边缘场开关模式液晶显示设备的阵列基板及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103901679103901679A(43)申请公布日2014.07.02(21)申请号201310711877.7(22)申请日2013.12.20(30)优先权数据10-2012-01522442012.12.24KR(71)申请人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人郭喜荣安相昱张真稀(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人徐金国钟强(51)Int.Cl.G02F1/1343(2006.01)G02F1/1333(2006.01)G02F1/1368(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书9页说明书9页附图14页附图14页(54)发明名称用于边缘场开关模式液晶显示设备的阵列基板及其制造方法(57)摘要一种用于FFS模式LCD设备的阵列基板及其制造方法，所述阵列基板包括：在基板上的栅极线和栅极焊垫电极；与栅极线平行的公共线；在显示区中沿着第二方向延伸的数据线和布置在非显示区中的数据焊垫电极；电连接到栅极线和数据线的薄膜晶体管；覆盖薄膜晶体管和数据线的第一钝化层；在第一钝化层上并在显示区中具有第一厚度和在非显示区中具有第二厚度的第二钝化层；在第二钝化层上并连接到公共线的公共电极；在公共电极上的第三钝化层；和在第三钝化层上的像素电极、栅极辅助焊垫电极和数据辅助焊垫电极。CN103901679ACN103967ACN103901679A权利要求书1/2页1.一种用于边缘场开关模式液晶显示设备的阵列基板，包括：具有显示区和非显示区的基板；在基板上的栅极线和栅极焊垫电极，所述栅极线在显示区中沿着第一方向延伸，所述栅极焊垫电极布置在非显示区中；在基板上且与栅极线平行的公共线；在栅极线、栅极焊垫电极和公共线上的栅极绝缘层；在显示区中沿着第二方向延伸的数据线和布置在非显示区中的数据焊垫电极，所述数据线与栅极线交叉以限定像素区；与栅极线和数据线电连接的薄膜晶体管；覆盖薄膜晶体管和数据线的第一钝化层；在第一钝化层上并具有平坦顶部表面的第二钝化层，所述第二钝化层在显示区中具有第一厚度和在非显示区中具有第二厚度，所述第二厚度小于第一厚度；在第二钝化层上的公共电极，所述公共电极具有与薄膜晶体管对应的第一开口并经由公共接触孔连接到公共线；在公共电极上的第三钝化层；和在第三钝化层上的像素电极、栅极辅助焊垫电极和数据辅助焊垫电极，所述像素电极连接到漏极并在像素区中包括条状的第二开口，所述栅极辅助焊垫电极连接到栅极焊垫电极，所述数据辅助焊垫电极连接到数据焊垫电极。2.如权利要求1所述的阵列基板，其中暴露出漏极的漏极接触孔和暴露出数据焊垫电极的数据焊垫接触孔形成在第一、第二和第三钝化层中，暴露出公共线的公共接触孔形成在栅极绝缘层和第一、第二钝化层中，暴露出栅极焊垫电极的栅极焊垫接触孔形成在栅极绝缘层和第一、第二和第三钝化层中。3.如权利要求2所述的阵列基板，其中所述像素电极经由漏极接触孔接触漏极，所述公共电极经由公共接触孔接触公共线，所述栅极辅助焊垫电极经由栅极焊垫接触孔接触栅极焊垫电极，所述数据辅助焊垫接触孔经由数据焊垫接触孔接触数据焊垫电极。4.如权利要求1所述的阵列基板，其中所述栅极绝缘层、第一钝化层和第三钝化层由包括氧化硅或氮化硅的无机绝缘材料形成，所述第二钝化层由包括光丙烯的有机绝缘材料形成。5.如权利要求1所述的阵列基板，其中所述第二厚度小于第一厚度的一半。6.一种制造用于边缘场开关模式液晶显示设备的阵列基板的方法，包括：在具有显示区和非显示区的基板上形成栅极线、栅极焊垫电极和公共线，所述栅极线和公共线彼此间隔且在显示区中沿着第一方向延伸，所述栅极焊垫电极连接到栅极线并布置在非显示区中；在栅极线、栅极焊垫电极和公共线上形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成数据线和数据焊垫电极，所述数据线在显示区中沿着第二方向延伸并与栅极线交叉以限定像素区，所述数据焊垫电极连接到数据线并布置在非显示区中；形成电连接到栅极线和数据线的薄膜晶体管；在薄膜晶体管、数据线和数据焊垫电极上方形成第一钝化层；在第一钝化层上形成具有平坦顶部表面的第二钝化层，所述第二钝化层包括暴露出2CN103901679A权利要求书2/2页公共线的公共接触孔和分别暴露出薄膜晶体管的漏极、栅极焊垫电极和数据焊垫电极的第一、第二和第三接触孔，所述第二钝化层在显示区中具有第一厚度和在非显示区中具有第二厚度，所述第二厚度小于第一厚度；在第二钝化层上形成公共电极，所述公共电极具有与薄膜晶体管对应的第一开口并经由公共接触孔连接到公共线；在公共电极上形成第三钝化层，所述第三钝化层包括分别与第一、第二和第三接触孔对应的暴露出漏极的漏极接触孔、暴露出栅极焊垫电极的栅极焊垫