半导体衬底的位置检测装置和位置检测方法.pdf
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相关资料
半导体衬底的位置检测装置和位置检测方法.pdf
本发明提供一种位置检测装置,其根据通过1台摄像机拍摄的图像数据,正确地检测圆盘状衬底的中心位置坐标,计算于处理过程中运送的圆盘状衬底在支承部件上的错位量,按照可装载于正确的装载位置的方式进行位置补偿。根据从图像数据中抽取的边缘数据上的两个点的坐标和圆盘状衬底的半径,或根据边缘数据上的3个点的坐标,制作分别以半径为一边的直角等腰三角形,根据勾股定理,检测圆盘状衬底的中心位置坐标。
位置检测装置以及位置检测方法.pdf
本发明涉及位置检测装置以及位置检测方法,提供一种位置检测装置以及位置检测方法,抗外来噪声能力强、能够良好地检测手写笔的指示位置。一种具有设置有通过电场耦合而接收来自静电方式的手写笔的交流信号的多个电极的传感器、且检测通过手写笔而被指示的传感器上的位置的位置检测装置,通过电极选择电路,从在传感器中设置的多个电极中,将至少1组电极分别选择性地供应给差动放大电路的+侧输入端子和-侧输入端子,且进行控制,使得根据手写笔距传感器面的高度,改变通过电极选择电路而被选择的电极模式。
用于位置检测的装置和方法.pdf
本发明涉及用于位置检测的装置和方法。例如,一种用于位置检测的装置(400),包括:多极磁体(110、810),具有沿多极延伸方向(114)延伸的极对;磁阻传感器(120),包括对第一平面内磁场分量敏感的第一传感器桥(122?1)和对第二平面内磁场分量敏感的第二传感器桥(122?2),其中第一传感器桥和第二传感器桥被布置在平面内并沿传感器轴(124)隔开,其中多极延伸方向(114)和传感器轴(124)以大于20°且小于70°的旋转角度而相互旋转。
用于位置检测的装置和方法.pdf
本发明涉及用于位置检测的装置和方法。例如,一种用于位置检测的装置(400),包括:多极磁体(110、810),具有沿多极延伸方向(114)延伸的极对;磁阻传感器(120),包括对第一平面内磁场分量敏感的第一传感器桥(122?1)和对第二平面内磁场分量敏感的第二传感器桥(122?2),其中第一传感器桥和第二传感器桥被布置在平面内并沿传感器轴(124)隔开,其中多极延伸方向(114)和传感器轴(124)以大于20°且小于70°的旋转角度而相互旋转。
连接器壳体位置检测装置和位置检测方法.pdf
本发明提供连接器壳体位置检测装置和位置检测方法。以比较低的成本、且以高的精度检测连接器壳体的实际的位置,并准确地修正位置。包括:激光传感器(50),其光轴(51a)被配置为朝向与配置于固定盘(10)上的连接器壳体(80)的移动路径的移动方向大致正交的方向;及位置控制部,其在连接器壳体(80)移动时,基于激光传感器(50)所输出的信号,对相当于连接器壳体(80)的移动方向的外形形状轮廓的一端位置及另一端位置进行检测,基于检测出的上述一端位置及另一端位置,通过计算来确定连接器壳体(80)的基准位置。在激光遮光