基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105652710A(43)申请公布日2016.06.08(21)申请号201511030899.2(22)申请日2015.12.30(71)申请人芜湖乐锐思信息咨询有限公司地址241000安徽省芜湖市镜湖区莲塘新村瑞丰园B幢07号(72)发明人高辉尚成辉(74)专利代理机构北京轻创知识产权代理有限公司11212代理人谈杰(51)Int.Cl.G05B19/04(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统(57)摘要本发明涉及互联网通信技术领域，具体地说是一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统，其特征在于设有服务器和数据采集终端，所述数据采集终端与服务器相连接，服务器中设有数据获取单元、数据预处理单元、数据查询定位单元、参数查询单元、参数设置单元、图标绘制单元、数据分析单元以及结果输出单元，本发明与现有技术相比，通过数据采集端对现场施工数据的采集，对复杂产品制作流程进行了实时监控和分析，能够为研发人员提供直观、有效的输出结果，具有处理效率高、安全可靠等显著的优点。CN105652710ACN105652710A权利要求书1/1页1.一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统，其特征在于设有服务器和数据采集终端，所述数据采集终端与服务器相连接，服务器中设有数据获取单元、数据预处理单元、数据查询定位单元、参数查询单元、参数设置单元、图标绘制单元、数据分析单元以及结果输出单元。2.根据权利要求1所述的一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统，其特征在于所述数据采集终端设有本地参数存储单元、上传请求发送单元、回执接收单元，其中上传请求发送单元在工作过程中先向服务器发送上传请求，上传请求中包含当前数据采集终端的身份验证信息，服务器上对应设有身份验证单元，在身份验证通过后，服务器向数据采集终端下发回执，数据采集终端将本地参数上传至服务器。3.根据权利要求1所述的一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统，其特征在于所述数据分析单元设有并行数据分析模块以及结果拼接模块，用于实现多路并行的数据处理，提高数据处理效率。4.根据权利要求1所述的一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统，其特征在于所述数据预处理单元设有数据筛查模块和归一化处理模块，其中数据筛查模块用于将数据中的重复、缺损等信息删除。5.根据权利要求1所述的一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统，其特征在于所述服务器还设有属性增删单元，用于添加参数类型，其中一个参数类型对应一个或多个工艺过程参数。2CN105652710A说明书1/2页基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统技术领域：[0001]本发明涉及互联网通信技术领域，具体地说是一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统。背景技术：[0002]目前，各种工艺具有数据采集功能。以半导体制程为例，数据采集(DC，DataCapture)系统会实时采集各种工艺数据，具体而言，该DC系统通常会随着时间的递增记录下各个工艺过程参数值，如压力，温度，射频电压等。[0003]通过分析采集到的工艺数据，操作人员不但可以监控分析设备的状况，还可以分析寻找工艺改进的方向，提高工艺的结果。因此，如何能够方便、快捷地分析工艺数据，以便工艺工程师或设备工程师通过工艺数据对机台设备及工艺现状进行监控和改进，在工艺发展中有着不可忽视的作用。[0004]在系统进行工艺分析的过程中，如何保证数据交互的安全性极为关键。发明内容：[0005]本发明针对现有技术中存在的缺点和不足，提出了一种安全性高、协同效率高的基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统。[0006]本发明可以通过以下措施达到：[0007]一种基于网络化的复杂产品工艺精细度分析系统，其特征在于设有服务器和数据采集终端，所述数据采集终端与服务器相连接，服务器中设有数据获取单元、数据预处理单元、数据查询定位单元、参数查询单元、参数设置单元、图标绘制单元、数据分析单元以及结果输出单元。[0008]本发明所述数据采集终端设有本地参数存储单元、上传请求发送单元、回执接收单元，其中上传请求发送单元在工作过程中先向服务器发送上传请求，上传请求中包含当前数据采集终端的身份验证信息，服务器上对应设有身份验证单元，在身份验证通过后，服务器向数据采集终端下发回执，数据采集终端将本地参数上传至服务器。[0009]本发明所述数据分析单元设有并行数据分析模块以及结果拼接模块，用于实现多路并行的数据处理，提高数据处理效率。[0010]本发明所述数据预处理单元设有数据筛查模块和归一化处理模块，其中数据筛查模块用于将数据中的重复、缺损等信息删除。[0011]本发明所述服务器还设有属性增删单元