多组分气体传感器及其气体检测方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107478687A(43)申请公布日2017.12.15(21)申请号201710486200.6(22)申请日2017.06.23(71)申请人杭州麦乐克科技股份有限公司地址311188浙江省杭州市余杭经济技术开发区（钱江开发区）(72)发明人汪晓波郭功剑吕晶(74)专利代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司33241代理人周豪靖(51)Int.Cl.G01N27/12(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称多组分气体传感器及其气体检测方法(57)摘要本发明设计的一种多组分气体传感器，包括电控单元，电控单元上连接有加热单元、Pt10加热器和金属氧化物敏感元件，加热单元与Pt10加热器连接，所述的金属氧化物敏感元件敷设在陶瓷加热基底上，而陶瓷加热基底与Pt10加热器贴合，且所述的金属敏感元件为多个。在这种结构中，是用Pt10作为加热器的主要部件，其作为热敏电阻可以通过其电阻值实时反馈其加热温度值，然后通过金属氧化物敏感元件检测被测气体的各种成分。CN107478687ACN107478687A权利要求书1/1页1.一种多组分气体传感器，包括电控单元，其特征是电控单元上连接有加热单元、Pt10加热器和金属氧化物敏感元件，加热单元与Pt10加热器连接，所述的金属氧化物敏感元件敷设在陶瓷加热基底上，而陶瓷加热基底与Pt10加热器贴合，且所述的金属敏感元件为多个。2.根据权利要求1所述的多组分气体传感器，其特征是所述的Pt10加热器为薄膜型结构。3.根据权利要求1或2所述的多组分气体传感器，其特征是所述的金属敏感元件的数量为3个，所述的加热单元和电控单元由MCU及外围的PWM控制供电电路组成。4.一种使用如权利要求所述的多组分气体传感器的气体检测方法，其特征是通过控制Pt10加热器的温度使得不同的金属敏感元件对气体做出反应，然后从金属敏感元件上获得输出数据，并对得到的初始数据进行降维运算，提取特征信号，最终计算检测气体的种类及浓度。5.根据权利要求4所述的气体检测方法，其特征是所述控制Pt10加热器的温度是分时段，控制Pt10加热器的温度。6.根据权利要求5所述的气体检测方法，其特征是所述的降维运算使用如下公式：特征矩阵其中Xnn是特征矩阵的元素，根据金属敏感元件材料特性得到；所述的特征提取使用如下公式：降维提取其中S1、S2、S3是三个金属敏感元件的读数，通过降维提取得到矩阵Y中的元素Ya、Yb、Yc；最终计算气体和浓度使用如下公式：计算结果其中K为标定系数，C为对应气体浓度。2CN107478687A说明书1/4页多组分气体传感器及其气体检测方法技术领域[0001]本发明专利涉及气体传感器领域，特别涉及可同时检测多组分气体的传感器领域，具体是指一种多温度分时测量的多组分气体传感器及其气体检测方法。背景技术[0002]气体传感器是一种将气体的成分、浓度等信息转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置，可以将某种气体体积分数转化成为对应电信号。气体传感器对于不同的气体的响应曲线是传感器检测目标气体成分和浓度的基本依据，气体传感器输出受气体的成分和浓度两个关键参数影响，气体传感器对于不同的气体成分有着不同的曲线响应变化率，气体浓度是被测物理量，影响的是曲线变化的深度和幅度。如何使用一只传感器来检测多组分气体，成为当今气体传感器领域的一大热点。现今市面上有各种各样的气体传感器，应用也相当广泛。但是市场上的气体传感器只能测量单种类气体，对于多组分的气体需要多只气体传感器组合才能进行测量，相对于单只气体传感器能同时测量多组分气体来说，成本大大提高，传感器的体积也相对变得非常大。本发明专利针对这一难题，根据不同气体在不同的温度下对气体传感器不同的响应程度，采用了使用一只气体传感器在不同温度下分时测量多组分气体的检测方法，实现了单只传感器可以同时检测多种气体，极大地提高了该气体传感器的性价比和集成度及相对缩减了该气体传感器的体积。发明内容[0003]为解决上述问题，本发明专利提供了一种体积小，集成化程度高，具有独特的降维算法的多组分气体检测及其气体检测方法。[0004]本发明设计的一种多组分气体传感器，包括电控单元，电控单元上连接有加热单元、Pt10加热器和金属氧化物敏感元件，加热单元与Pt10加热器连接，所述的金属氧化物敏感元件敷设在陶瓷加热基底上，而陶瓷加热基底与Pt10加热器贴合，且所述的金属敏感元件为多个。在这种结构中，是用Pt10作为加热器的主要部件，其作为热敏电阻可以通过其电阻值实时反馈其加热温度值，然后通过金属氧化物敏感元件检测被测气体的各种成分。[0005]进一步的方案是，所述的Pt10加热器为薄膜型结构。所述的金属敏