金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107858757A(43)申请公布日2018.03.30(21)申请号201711255823.9(22)申请日2017.12.03(71)申请人宁波道乐新材料科技有限公司地址315336浙江省宁波市慈溪市杭州湾新区同济产业园15号楼(72)发明人陈国涛夏庆锋郑庆刚(51)Int.Cl.C30B33/10(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂及其使用方法(57)摘要本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂，所述添加剂包括如下组分：黄原胶、单宁酸、硅基表面活性剂和余量的去离子水；其中，黄原胶的重量含量为0.2-3%；单宁酸的重量含量为0.2-3%；硅基表面活性剂重量含量为0.05-0.2%；余量为去离子水。使用本发明中的添加剂对金刚线切割多晶硅片进行酸制绒后，硅片表面绒面均匀性好，反射率比常规无添加剂制绒后的金刚线多晶硅片反射率低5-7%。该添加剂无毒性，易实施，稳定性好，具有很好的实际应用价值。CN107858757ACN107858757A权利要求书1/1页1.一种金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂，其特征在于：所述添加剂包括如下组分：黄原胶、单宁酸、硅基表面活性剂和余量的去离子水；其中，黄原胶的重量含量为0.2-3%；单宁酸的重量含量为0.2-3%；硅基表面活性剂重量含量为0.05-0.2%；余量为去离子水。2.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂，其特征在于：所述的添加剂在金刚线切割多晶硅片酸制绒工艺中的使用方法，包括如下步骤：a)配制添加剂：将黄原胶，单宁酸和硅基表面活性剂溶解于去离子中，得到添加剂；所述黄原胶的重量含量为0.2-3%；所述的单宁酸的重量含量为0.2-3%；所述的硅基表面活性剂重量含量为0.05-0.2%；b)配制酸制绒液：将氢氟酸和硝酸溶于去离子水中得到酸混合溶液，而后将步骤a)制得的添加剂加入到该酸混合溶液中，得到酸性制绒液；c)制绒：将金刚线切割多晶硅片浸没入步骤b)所获得的酸性制绒液中进行制绒。3.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂，其特征在于：所述步骤b)中，氢氟酸的重量含量为5-35%，硝酸的重量含量为25-65%。4.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂，其特征在于：所述步骤b)中，添加剂的重量含量为0.2-2%。5.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂，其特征在于：所述的步骤c)中，制绒过程中的制绒温度为3-15℃，制绒时间为20-180s。6.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂，其特征在于：所述的步骤c)中，制绒过程中的制绒温度3-10℃，制绒时间为25-100s。2CN107858757A说明书1/3页金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂及其使用方法技术领域[0001]本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂及其使用方法，属于化学试剂技术领域。背景技术[0002]目前光伏行业总所用多晶硅片的切割主要采用砂浆线切割技术，但是该技术存在效率低，加工成本高和排放污染大等问题。相比之下，金刚线切割技术因具有切割效率高，加工成本低和环境污染小等优点，受到越来越多的关注，逐渐成为多晶硅切片技术的主流和未来发展方向。[0003]由于金刚线切割原理与砂浆线切割的原理不同，所以两种切割工艺得到的硅片表面形貌存在很大的差异。砂浆线切割的硅片表面主要是以脆性破碎断裂的形貌为主，硅片表面存在很多微小的不规则凹坑，而金刚线切割的硅片表面除了脆性破碎断裂形成的不规则凹坑外，还存在大量塑性的光滑切割痕。所以金刚线切割的硅片表面具有脆性和塑性的混合形貌。[0004]在光伏电池生产过程中，硅片制绒对降低表面反射率起着重要的作用，也是提高太阳能电池光电转化效率的有效手段之一。目前多晶硅片的制绒工艺多采用HF-HNO3-H2O体系的酸性溶液进行湿化学腐蚀，该酸性溶液利用硅片表面的各种缺陷进行各向同性腐蚀，从而降低硅片表面反射率。砂浆线切割硅片表面主要为不规则凹坑，缺陷分布均匀性好，故通过HF-HNO3-H2O体系的制绒工艺可以得到腐蚀均匀的绒面，但金刚线切割的硅片表面为不规则凹坑和光滑切割痕组成的混合形貌，表面缺陷分布不均匀，通过常规的HF-HNO3-H2O的制绒工艺无法得到均匀腐蚀的绒面。金刚线切割多晶硅片制绒成为约束金刚线切割多晶硅片在电池制造中推广的主要因素。发明内容[0005]本发明目的是提供一种专用于金刚线切割多晶硅片酸制绒添加剂，该添加剂能够有效改善硅片表面绒面均匀性，降低硅片制绒后反射率，提高硅电池光电转化效率。[0006]为