金刚线切割多晶硅片制绒调控剂及含该调控剂的制绒剂.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110137079A(43)申请公布日2019.08.16(21)申请号201910431058.4(22)申请日2019.05.22(71)申请人苏州晶瑞化学股份有限公司地址215000江苏省苏州市吴中开发区善丰路168号(72)发明人金炳生陈浩高小云刘兵(74)专利代理机构苏州国诚专利代理有限公司32293代理人王丽(51)Int.Cl.H01L21/306(2006.01)H01L31/20(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称金刚线切割多晶硅片制绒调控剂及含该调控剂的制绒剂(57)摘要本发明公开了一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，按质量百分计包括以下组分：成膜剂0.01％-1％、酸性物质0.01％-1％、润湿剂0.1％-1％，余量为去离子水。本发明还公开了一种包含该制绒调控剂的制绒剂。本发明的调控剂应用于制绒剂中，在金刚线切割多晶硅片进行制绒的过程中，能够调节其中的酸与硅的反应，形成硅片微孔结构，使得多晶硅片不仅具有分布均匀的微孔结构，而且微孔大小均一，没有连孔、深孔，形成的这种结构可以降低对光的反射率，提高对光的吸收率；且该调控剂的配制工艺简单，原料廉价易得，不含对环境有害的物质，是一种绿色环保产品。CN110137079ACN110137079A权利要求书1/1页1.一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，其特征在于，按质量百分计包括以下组分：成膜剂0.01％-1％、酸性物质0.01％-1％、润湿剂0.1％-1％，余量为去离子水。2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，其特征在于：所述成膜剂为壳聚糖盐酸盐、聚乙烯醇或者两者的混合物。3.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，其特征在于：所述酸性物质为柠檬酸、乙醇酸或两者的混合物。4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，其特征在于：所述润湿剂为烷基糖苷、萘酚聚氧乙烯醚或两者的混合物。5.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，其特征在于：按质量百分计包括以下组分：壳聚糖盐酸盐0.05％-0.25％、柠檬酸和乙醇酸的混合物0.01％-0.06％、烷基糖苷和萘酚聚氧乙烯醚的混合物0.2％-0.8％，余量为去离子水。6.一种含权利要求1-5任一项所述的制绒调控剂的制绒剂，其特征在于，该制绒剂按质量百分计包括以下组分：氢氟酸8％-12％、双氧水25％-35％、制绒调控剂0.5％-1％，余量为去离子水。7.根据权利要求6所述的制绒剂，其特征在于：氢氟酸的浓度为49wt％。2CN110137079A说明书1/3页金刚线切割多晶硅片制绒调控剂及含该调控剂的制绒剂技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制造技术领域，特别涉及一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂及含该调控剂的制绒剂。背景技术[0002]在太阳能电池片的制作过程中，需要在硅片表面制作绒面。有效的绒面结构可以延长光程，增加硅片对光的吸收，提高太阳能电池的效率。[0003]另外，为了减少晶体硅表面的反射，人们采用了许多实验方法和技术，如光刻技术、反应离子刻蚀、电化学腐蚀等。这些方法和技术都能在一定程度上改变晶体硅表面形貌，达到减少硅表面反射的目的。在可见光波段范围，降低材料的反射率则可以增加光吸收率，从而提高器件的光电转换效率。[0004]由此，需要开发一种具有硅表面微孔结构的新型功能材料，这种结构能够对近红外波段的光都能吸收，且吸收率高。为了获得这种硅表面微孔结构，需要开发一种可以制造该硅绒面结构的调控剂和包含有该调控剂的制绒剂。发明内容[0005]为解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂及含该调控剂的制绒剂，利用含有该制绒调控剂的制绒剂处理金刚线切割多晶硅片，使得处理后的多晶硅片不仅具有分布均匀的微孔结构，而且微孔结构大小均一，没有连孔、深孔，可以降低对光的反射率，且该调控剂的配制工艺简单，原料廉价易得，不含对环境有害的物质，绿色环保。[0006]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，按质量百分计包括以下组分：成膜剂0.01％-1％、酸性物质0.01％-1％、润湿剂0.1％-1％，余量为去离子水。[0007]优选的，所述成膜剂为壳聚糖盐酸盐、聚乙烯醇或者两者的混合物。[0008]优选的，所述酸性物质为柠檬酸、乙醇酸或两者的混合物。[0009]优选的，所述润湿剂为烷基糖苷、萘酚聚氧乙烯醚或两者的混合物。[0010]优选的，该金刚线切割多晶硅片制绒调控剂，按质量百分计包括以下组分：壳聚糖盐酸盐0.05％-0.25％、柠檬酸和乙醇酸的混合物0.01％-0.06％、烷基糖苷和萘