夹具、原子层沉积装置及工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110042366A(43)申请公布日2019.07.23(21)申请号201910315387.2(22)申请日2019.04.18(71)申请人泰州隆基乐叶光伏科技有限公司地址225300江苏省泰州市海陵区兴泰南路268号(72)发明人张琦忠袁陨来王建波朱琛吕俊(74)专利代理机构北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435代理人赵松杰(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/458(2006.01)C23C16/04(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图6页(54)发明名称夹具、原子层沉积装置及工艺(57)摘要本申请公开了一种夹具、原子层沉积装置及工艺，夹具包括相对设置的两块侧板，两块侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块端板和两块侧板围合成两端开口的容腔，端板可移动地固定连接有活动板，活动板的移动方向为靠近或者远离任一侧板；原子层沉积装置包括真空腔，真空腔内设置有样品台，真空腔分别连接有真空泵、第一气体喷射部、第二气体喷射部以及第三气体喷射部，样品台用于放置夹具，通过夹具固定电池片，将电池片切割部分从容腔的开口露出，侧板和端板保护电池片未切割部分，对电池片的切割部分进行原子层沉积，在电池片的切割部分形成钝化膜，提升切割后电池片的电性能，修复电池片由于切割造成的损伤。CN110042366ACN110042366A权利要求书1/1页1.一种夹具，其特征在于，包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块所述端板和两块所述侧板围合成两端开口的容腔，所述端板可移动地固定连接有活动板，所述活动板的移动方向为靠近或者远离任一所述侧板。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述端板面向所述活动板的一侧设置有滑动槽，所述滑动槽沿着所述活动板的移动方向设置，所述活动板设置有滑动块，所述滑动块沿着所述滑动槽的导向滑动。3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述端板面向所述活动板的一侧设置有滑动块，所述滑动块沿着所述活动板的移动方向设置，所述活动板设置有滑动槽，所述滑动槽沿着所述滑动块的导向滑动。4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述活动板面向任一所述端板的一侧伸出有连接部，所述端板面向所述连接部的侧面与所述连接部与可拆卸地固定连接。5.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述端板远离所述连接部的一侧可拆卸地固定连接有底板，所述底板封闭所述容腔的一个开口端。6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述连接部通过螺钉与所述端板可拆卸地固定连接。7.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，两块所述端板相互平行，两块所述侧板以及所述活动板相互平行，所述端板与所述侧板垂直。8.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述侧板沿着所述容腔的深度方向向外延伸形成伸出部，所述伸出部露出两块所述端板之间的空间。9.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述侧板或者所述端板相对的两侧分别设置有第一卡接部和第二卡接部，所述第一卡接部和所述第二卡接部分别位于所述容腔的两个开口端。10.一种原子层沉积装置，其特征在于，包括真空腔，所述真空腔内设置有样品台，所述真空腔分别连接有真空泵、第一气体喷射部、第二气体喷射部以及第三气体喷射部，所述样品台用于放置权利要求1-9任一项所述的夹具。11.一种原子层沉积工艺，其特征在于，使用权利要求10所述的原子层沉积装置进行原子层沉积，包括以下步骤：将多片被切割的电池片放入活动板与任一侧板之间，从容腔的开口端裸露所述电池片的切割部位，调整所述活动板与端板的固定位置，使得所述电池片相互紧贴；将夹具放在样品台上，真空泵动作并将真空腔抽至真空状态；第一气体喷射部将第一反应前驱体充入所述真空腔内，所述第一反应前驱体在所述电池片的切割部位饱和吸附后，所述真空泵将所述真空腔内的所述第一反应前驱体抽空；第三气体喷射部将惰性气体充入所述真空腔内，对所述真空腔进行清洗，所述真空泵将所述真空腔内的所述惰性气体抽空；第二气体喷射部将第二反应前驱体充入所述真空腔内，所述第二反应前驱体与所述第一反应前驱体在所述电池片的切割部位反应生成钝化膜，所述真空泵将所述真空腔内的所述第二反应前驱体抽空。2CN110042366A说明书1/5页夹具、原子层沉积装置及工艺技术领域[0001]本发明一般涉及光伏领域，具体涉及太阳能组件领域，尤其涉及一种夹具、原子层沉积装置及工艺。背景技术[0002]近年来，光伏技术发展迅猛，晶硅电池转换效率节节攀升，以每年约0.5％abs的幅度逐年递增。随着晶硅电池效率的提升，电流密度也随之提升。目前高效晶硅电池的电