进出料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111621765A(43)申请公布日2020.09.04(21)申请号201910152890.0(22)申请日2019.02.28(71)申请人山西米亚索乐装备科技有限公司地址037000山西省大同市云州街东延北侧7899号(72)发明人韩晓琳刘福山刘洋(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250代理人张建纲(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/54(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称进出料装置(57)摘要本发明提供了一种进出料装置，用于密闭腔室的进出料，密闭腔室上设置有供基材通过的开口，进出料装置包括：夹送辊组件，夹送辊组件包括第一夹送辊和第二夹送辊，第一夹送辊和第二夹送辊设置于密闭腔室的外侧，用于驱动基材进入或移出密闭腔室；间距调节机构，间距调节机构与第一夹送辊和/或第二夹送辊连接，用于调节第一夹送辊和第二夹送辊之间的间距。与现有技术相比，本发明进出料装置通过间距调节可以提高夹送辊与基材的密封效果，且可以兼容输送不同厚度的基材。CN111621765ACN111621765A权利要求书1/2页1.一种进出料装置，用于密闭腔室的进出料，所述密闭腔室上设置有供基材通过的开口，其特征在于，所述进出料装置包括：夹送辊组件，所述夹送辊组件包括第一夹送辊和第二夹送辊，所述第一夹送辊和所述第二夹送辊设置于所述密闭腔室的外侧，所述第一夹送辊和所述第二夹送辊相互配合以驱动基材通过所述开口进入或移出所述密闭腔室；间距调节机构，所述间距调节机构与所述第一夹送辊和/或所述第二夹送辊连接，用于调节所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间的间距。2.根据权利要求1所述的进出料装置，其特征在于，所述间距调节机构包括调节螺杆，所述调节螺杆与所述第一夹送辊和/或所述第二夹送辊连接，用于驱动所述第一夹送辊和/或所述第二夹送辊沿相互靠近或远离的方向运动。3.根据权利要求2所述的进出料装置，其特征在于，所述间距调节机构还包括依次连接的检测单元、控制单元和驱动电机；所述检测单元，用于检测所述基材的参数；所述控制单元，用于根据所述基材的参数控制所述驱动电机的工作状态；所述驱动电机，所述驱动电机的输出端与所述调节螺杆连接，用于驱动所述调节螺杆运动以带动所述第一夹送辊和/或所述第二夹送辊沿相互靠近或远离的方向运动。4.根据权利要求2或3所述的进出料装置，其特征在于，所述进出料装置还包括：第一密封组件，所述第一密封组件设置于所述开口的边缘，用于与所述第一夹送辊和所述第二夹送辊配合密封所述开口。5.根据权利要求4所述的进出料装置，其特征在于，所述第一密封组件包括第一安装板、第二安装板、第一密封条以及第二密封条，所述第一安装板和所述第二安装板分别设置于所述开口的相对两侧并与所述开口的边缘密封连接，所述第一密封条压紧于所述第一安装板与所述第一夹送辊之间，所述第二密封条压紧于所述第二安装板与所述第二夹送辊之间。6.根据权利要求5所述的进出料装置，其特征在于，所述进出料装置还包括夹送辊安装组件，所述夹送辊安装组件包括第三安装板、第四安装板、第一安装组件、第二安装组件、第三安装组件以及第四安装组件，所述第一夹送辊的第一端通过所述第一安装组件与所述第三安装板转动连接，所述第一夹送辊的第二端通过所述第二安装组件与所述第四安装板转动连接，所述第二夹送辊的第一端通过所述第三安装组件与所述第三安装板转动连接，所述第二夹送辊的第二端通过所述第四安装组件与所述第四安装板转动连接。7.根据权利要求6所述的进出料装置，其特征在于，所述第一安装组件、第二安装组件、第三安装组件以及第四安装组件均包括轴承和轴承安装座，所述第一夹送辊的第一端和第二端、以及所述第二夹送辊的第一端和第二端均通过所述轴承与对应的所述轴承安装座转动连接，所述轴承安装座滑动设置于所述第三安装板或所述第四安装板上。8.根据权利要求7所述的进出料装置，其特征在于，所述第三安装板和所述第四安装板上设置有安装槽以及与所述安装槽连通的通孔，所述轴承安装座设置于所述安装槽内，所述调节螺杆伸入所述通孔与所述轴承安装座连接以顶推所述轴承安装座在所述安装槽内滑动。9.根据权利要求6所述的进出料装置，其特征在于，所述进出料装置还包括第一密封2CN111621765A权利要求书2/2页圈，所述第一安装板、第二安装板、第三安装板以及第四安装板围绕所述开口设置并安装于所述密闭腔室的外壁上，所述第一密封圈围绕所述开口设置并用于密封所述密闭腔室与所述第一安装板、第二安装板、第三安装板以及第四安装板之间的间隙。10.根据权利要求1所述的进出料装置，其特征在于，所述第一夹送辊为