一种真空镀膜加工装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112695278A(43)申请公布日2021.04.23(21)申请号202011621166.7(22)申请日2020.12.31(71)申请人福建省将乐县长兴电子有限公司地址353300福建省三明市将乐县古镛镇东门新村3号(72)发明人吕锡昌谢建辉廖建伟(74)专利代理机构北京阳光天下知识产权代理事务所(普通合伙)11671代理人赵飞(51)Int.Cl.C23C14/28(2006.01)C23C14/18(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称一种真空镀膜加工装置(57)摘要本发明公开了一种真空镀膜加工装置，包括底座，所述底座的上面设有壳体和冷却系统，所述底座内设有真空泵，所述壳体的顶部设有升降机构，所述升降机构能够带着石英晶体上下移动，所述壳体的内部设有镀膜装置和防护装置，所述镀膜装置包括激光发射装置和覆膜装置，所述激光发射装置外接激光发射器，所述防护装置设置在所述底座的内腔底部，所述激光发射装置安装在所述底座的右侧壁上，所述覆膜装置位于所述防护装置内，所述升降机构包括可上下移动的连接板，所述连接板上安装有旋转板，所述旋转板的下面设有加热板，所述加热板的下面连接有基板，所述基板用于放置石英晶体，本发明具有加工效率高、覆膜效果好的优点。CN112695278ACN112695278A权利要求书1/2页1.一种真空镀膜加工装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）的上面设有壳体（3）和冷却系统（7），所述冷却系统（7）设置在所述壳体（3）的左侧，所述底座（1）内设有真空泵（2），所述真空泵（2）的上端和所述壳体（3）的内部贯通，所述壳体（3）的顶部设有升降机构（5），所述升降机构（5）的下端伸入所述壳体（3）内，所述升降机构（5）能够带着石英晶体上下移动，所述壳体（3）的内部设有镀膜装置和防护装置，所述镀膜装置包括激光发射装置和覆膜装置，所述激光发射装置外接激光发射器，所述防护装置设置在所述底座（1）的内腔（11）底部，所述激光发射装置安装在所述底座（1）的右侧壁上，所述覆膜装置位于所述防护装置内，所述升降机构（5）包括可上下移动的连接板（52），所述连接板（52）上安装有可转动的旋转板（54），所述旋转板（54）的下面设有加热板（55），所述加热板（55）的下面通过若干个基板座（56）连接有基板（561），所述基板（561）用于放置石英晶体。2.根据权利要求1所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述激光发射装置包括反射镜（42）和聚焦镜（43），所述反射镜（42）和所述聚焦镜（43）均安装在所述壳体（3）的右侧壁上，所述反射镜（42）位于所述聚焦镜（43）的右上方，所述激光发射器发出激光束（4），通过所述反射镜（42）和所述聚焦镜（43）照射在所述覆膜装置上。3.根据权利要求2所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述覆膜装置包括坩埚（45），所述坩埚（45）通过坩埚座（44）设置在所述壳体（3）的底部，且所述坩埚（45）位于所述防护装置的安装座（6）内，所述坩埚（45）内存放有金属液（46），所述激光束（4）照射所述金属液（46）能够使得所述金属液（46）蒸发，所述金属液（46）内的金属离子上升，从而覆在所述石英晶体的表面，形成一层膜。4.根据权利要求3所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述防护装置还包括保护罩（62），所述保护罩（62）通过若干个螺钉（61）安装在所述安装座（6）的上面，所述保护罩（62）的前面设有门（622），所述门（622）上设有把手（623）。5.根据权利要求4所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述冷却系统（7）包括冷却箱（72），所述冷却箱（72）安装在所述壳体（3）的左侧，所述冷却箱（72）的左侧安装有冷凝器（73），所述冷凝器（73）的上端连接有冷凝管（74），所述冷凝管（74）的上端穿过所述冷却箱（72）的左侧壁的上端并伸入所述冷却箱（72）内，且所述冷凝管（74）的下端从所述冷却箱（72）的左侧壁的下端穿出并连接在所述冷凝器（73）的下端。6.根据权利要求5所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述冷却箱（72）内设有冷却液（75），所述冷凝管（74）位于所述冷却箱（72）内的部分浸在所述冷却液（75）中，且所述冷凝管（74）位于所述冷却箱（72）内的部分呈S形设置。7.根据权利要求6所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述冷却系统（7）还包括气泵（71）和排气管（76），所述气泵（71）安装在所述底座（1）内且位于所述底座（1）的左端，所述气泵（71）上设有第二出气管（711），所述第二出气管（711）伸入所述冷却箱（72）内，所述排气管（76）贯通连接在所述冷却箱（72