一种微型电容式气体传感器及其制备方法.pdf
Jo****63
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一种微型电容式气体传感器及其制备方法.pdf
本发明公开了一种微型电容式气体传感器,包括上电极平板、下电极平板、若干支柱和介质薄膜,支柱设置在上电极平板和下电极平板之间,使两者之间形成空腔,所述介质薄膜涂覆在支柱上以及上下电极的内表面上,其特征在于:①相邻支柱上的介质薄膜彼此不接触,保留的空腔结构形成气体扩散通道;②上电极平板上不设置气孔,上电极平板和下电极平板之间的侧壁开放,使气体从侧壁进入。本发明的微型平板电容式气体传感器可以对浓度极低的多种待测气体进行检测,具有响应快、灵敏度高、检测对象广泛的特点。
电容式气体传感器及其制造方法.pdf
本发明提供一种电容式气体传感器及其制造方法,其中所述电容式气体传感器包括:第一电极(210;310;410;510);第二电极(220;320;420;520);气敏电介质材料(240;340;440;540),其布置在第一和第二电极之间以形成气敏电容器,气敏电介质材料(240;340;440;540)具有取决于从环境介质吸收的气体化合物的量的介电常数;以及电介质‑电极界面材料(250;350;450;550),其布置在第一和第二电极中的至少一个与气敏电介质材料(240;340;440;540)的界面处。
气体传感器及其制备方法.pdf
本发明涉及一种气体传感器及其制备方法,涉及传感器技术领域。一种气体传感器的制备方法,包括:将气体敏感颗粒与光刻胶混合,获得气敏光刻混合材料;提供晶圆,晶圆包括多个微传感区域;于晶圆上旋涂气敏光刻混合材料;将气敏光刻混合材料图形化,以保留位于微传感区域内的气敏光刻混合材料形成初始气敏层;去除初始气敏层中的光刻胶,以保留初始气敏层中的气体敏感颗粒形成气体传感器的气敏层。上述气体传感器的制备方法实现了将气体敏感颗粒精确加载到指定的微加热区域,有利于实现气体传感器的生产效率和良率的共同提升。
气体传感器及其制备方法.pdf
本发明涉及一种检测空气中气体,特别是甲醛的气体传感器。该传感器包括至少一个气体敏感区域,其优选为基材上的层且其含有三元化合物In4Sn3O12作为气体敏感材料。使用火焰喷射热解(FSP)来制备气体敏感区域,其中使用铟和锡的金属有机化合物作为原料。该气体传感器特别适用于在线气体检测。
一种柔性电容式压力传感器的制备方法及其传感器.pdf
本发明公开了一种柔性电容式压力传感器的制备方法及传感器,制备方法包括以下步骤:制备介电层,介电层上下表面具有多孔半球体阵列微结构,半球体阵列使用模具实现,多孔结构通过溶解NaCl实现;采用丝网印刷工艺制备电极层,使用PI胶带封装传感器。传感器包括上封装层、上电极层、介电层、下电极层以及下封装层。传感器制作工艺简单,成本较低,可大规模生产。相较于无微结构的介电层,其弹性性能得到了极大提升,同时其介电常数得到增大,提高了传感器的灵敏度,改善了传感器性能参数,实现了对压力的准确感知。