柔性显示器及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102082150A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102082150A(43)申请公布日2011.06.01(21)申请号201010266397.0(22)申请日2010.08.27(30)优先权数据10-2009-00807692009.08.28KR(71)申请人三星移动显示器株式会社地址韩国京畿道龙仁市(72)发明人金泰雄安成国陈东彦金亨植金英求徐祥准(74)专利代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司11286代理人郭鸿禧罗延红(51)Int.Cl.H01L27/12(2006.01)H01L27/32(2006.01)H01L21/77(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图4页(54)发明名称柔性显示器及其制造方法(57)摘要本发明提供一种柔性显示器及其制造方法。柔性显示器包括：柔性基板，由塑性材料制成；显示元件，在柔性基板的第一表面上；表面残留膜，包含至少一种金属或金属氧化物。表面残留膜结合到柔性基板的第二表面的至少一部分。第二表面与第一表面相对。一种制造柔性显示器的方法，所述方法包括如下步骤：准备玻璃基板；在玻璃基板上形成粘合剂材料膜，粘合剂材料膜由至少一种金属材料或金属氧化物材料制成；在粘合剂材料膜上由塑性材料形成柔性基板。CN10285ACCNN110208215002082156A权利要求书1/2页1.一种柔性显示器，所述柔性显示器包括：柔性基板，由塑性材料制成；显示元件，在柔性基板的第一表面上；表面残留膜，包含至少一种金属或金属氧化物，表面残留膜结合到柔性基板的第二表面的至少一部分，第二表面与第一表面相对。2.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，塑性材料包含官能团-CONH-。3.如权利要求2所述的柔性显示器，其中，柔性基板由包含聚酰亚胺的材料形成。4.如权利要求2所述的柔性显示器，其中，柔性基板具有范围从5μm至200μm的厚度。5.如权利要求2所述的柔性显示器，其中，柔性基板具有范围从3ppm/℃至10ppm/℃的热膨胀系数。6.如权利要求2所述的柔性显示器，其中，表面残留膜包含结合到官能团-CONH-的材料。7.如权利要求6所述的柔性显示器，其中，所述金属材料结合到官能团-CONH-，所述金属材料包括铝、镓、铟、钛、钼和锌中的至少一种。8.如权利要求6所述的柔性显示器，其中，所述金属氧化物材料结合到官能团-CONH-，所述金属氧化物材料包括氧化铝、氧化镓、氧化锌、氧化钛、氧化铟、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化镓铟锌中的至少一种。9.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，显示元件包括薄膜晶体管。10.如权利要求9所述的柔性显示器，其中，显示元件是有机发光二极管显示装置、液晶显示装置或电泳显示装置中的任意一种。11.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，表面残留膜具有范围从0.1nm至1000nm的厚度。12.一种制造柔性显示器的方法，所述方法包括如下步骤：准备玻璃基板；在玻璃基板上形成粘合剂材料膜，粘合剂材料膜由至少一种金属材料或金属氧化物材料制成；在粘合剂材料膜上由塑性材料形成柔性基板。13.如权利要求12所述的方法，其中，塑性材料包含官能团-CONH-。14.如权利要求13所述的方法，其中，柔性基板由包含聚酰亚胺的材料形成。15.如权利要求13所述的方法，其中，柔性基板由狭缝涂覆法或丝网印刷法形成。16.如权利要求15所述的方法，其中，柔性基板具有范围从5μm至200μm的厚度。17.如权利要求13所述的方法，其中，柔性基板的热膨胀系数与玻璃基板的热膨胀系数相同。18.如权利要求13所述的方法，其中，柔性基板具有小于10ppm/℃的热膨胀系数。19.如权利要求13所述的方法，其中，粘合剂材料膜包含能够与官能团-CONH-结合的材料。20.如权利要求19所述的方法，其中，2CCNN110208215002082156A权利要求书2/2页所述金属材料结合到官能团-CONH-，所述金属材料包括铝、镓、铟、钛、钼和锌中的至少一种。21.如权利要求19所述的方法，其中，所述金属氧化物材料结合到官能团-CONH-，所述金属氧化物材料包括氧化铝、氧化镓、氧化锌、氧化钛、氧化铟、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化镓铟锌中的至少一种。22.如权利要求19所述的方法，其中，通过原子层沉积形成粘合剂材料膜。23.如权利要求22所述的方法，其中，粘合剂材料膜具有范围从0.1nm至1000nm的厚度。24.如权利要求12所述的方法，所述方法还包括将柔性基板和玻璃基板彼此分离的步骤。25.如权利要求24所述的方法，其中，通过照射激光使柔性基板和粘合剂材料膜彼此分离。26.如权利要求24所述的方法，其中，通过照射激光使粘合剂材料膜和玻璃基板彼此分离。27.如权利要求24所述的方法，所述