一种滑动和旋转轴用密封组件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102345107A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102345107A(43)申请公布日2012.02.08(21)申请号201010242937.1(22)申请日2010.08.02(71)申请人北京中科信电子装备有限公司地址101111北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街六号(72)发明人唐景庭伍三忠孙勇袁卫华(51)Int.Cl.C23C14/48(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种滑动和旋转轴用密封组件(57)摘要本发明公开了一种离子注入机的定向台用的滑动和旋转轴密封组件，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：本发明采用一个阶梯状的升降旋转轴，两个密封座盖，两个上密封座，上密封座和密封座间的两个O型圈，一个密封座，一个密封卡套接头，两个抱轴且带自润滑特性的轴套，两个唇形密封圈，一个端面密封用O型圈。所述的密封组件的阶梯滑动旋转轴是的阶梯状的，它上有多个阶梯，所述的密封座压盖用于压盖住唇形密封圈，上密封座上留有安装唇形密封圈的槽，上密封座安装密封座的两端，两者面间密封是O型圈，在密封座和上密封座的分界面有加强密封和润滑的抱轴轴套，密封座上的轴孔大于升降和旋转轴的轴径0.5mm，座上横向开有孔通向轴孔，横向孔连接有卡套接头，用于真空抽气。本发明原理简单，采用的标准件市场易购，滑动和旋转密封的漏气率微小，结构耐用可靠。CN1023457ACCNN110234510702345127A权利要求书1/1页1.一种滑动和旋转轴用密封组件，由一个阶梯状的升降旋转轴，两个密封座盖，两个上密封座，两个上密封座和密封座间的O型圈，一个密封座，一个密封抽气的卡套接头，两个抱轴且带自润滑特性的轴套，两个唇形密封圈，一个端面密封用O型圈组成。其中所述的升降旋转轴是阶梯状的。2.如权利要求1所述的一个密封座，其特征在于：密封座中心开有通孔，孔径是大于升降旋转轴轴径0.5mm，阶梯状的升降旋转轴在孔内滑动和旋转自如。3.如权利要求1所述的两个抱轴且带自润滑特性的轴套，其特征在于：材料采用特氟龙，该轴套的摩擦系数小，有自润滑特性，无运动产生的颗粒污染，尺寸稳定性好。4.如权利要求1所述的两个唇形密封圈用于轴的往复运动和旋转密封，能承受急剧的温度变化，尺寸稳定，摩擦系数小。2CCNN110234510702345127A说明书1/2页一种滑动和旋转轴用密封组件技术领域[0001]本发明是一种离子注入机的定向台用的滑动和旋转轴密封组件，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。技术背景[0002]在200mm或更大尺寸的晶片的工艺中，90nm及其更高的65nm制程的离子注入工艺中，针对注入时晶片圆周方向角度变化工艺种类：工艺要求倾斜角度“magic”7°，靶台旋转角度22°～45°，必须重点研究离子束注入晶片内沟道时的角度的精确度；在三阱隔离掺杂注入工艺中，围绕沟道轴(channelingaxis)的小角度变化要求解决的注入重复性问题；在四方位注入中，靶台上待注人的晶片自转45°注入一次。以上的对晶片周向角度要求严格的复杂工艺决定要求晶片在注入前精确确找寻到圆周方向的缺口，称为晶片定向。针对这90-65nm大角度离子注入机所必须解决的的工艺难题，由于综合考虑注入机要求350片/小时以上的生产效率，要求晶片圆周定向要求晶片在载片盘上快速转动。依据晶片传送和定向系统的设计要求，定向过程中还要包含晶片先被顶起后旋转找缺口再下降的三步的动作。晶片在载片盘上位于高真空内，大气中的编码电机扭矩通过升降旋转轴传递到载片盘带动晶片旋转，要实现升降旋转轴高真空端与大气端的隔离密封，发明设计滑动与旋转轴用密封组件。发明内容[0003]本发明公开了一种离子注入机的定向台用的滑动和旋转轴密封组件，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：本发明采用一个阶梯状的升降旋转轴，两个密封座盖，一个密封座，两个密封座和密封座间的O型圈，一个密封座，一个密封抽气的卡套接头，两个抱轴且带自润滑特性的轴套，两个唇形密封圈，一个端面密封用O型圈。所述的密封组件的阶梯滑动旋转轴是的阶梯状的，它上有多个阶梯，所述的密封座压盖用于压盖住唇形密封圈，上密封座上留有安装唇形密封圈的槽，上密封座安装密封座的两端，两者面间密封是O型圈，在密封座和上密封座的分界面有加强密封和润滑的抱轴轴套，密封座上的轴孔大于升降和旋转轴的轴径0.5mm，密封座上横向开有孔通向轴孔，横向孔连接有卡套接头，用于真空抽气。本发明原理简单，采用的标准件市场易购，滑动和旋转密封的漏气率微小，结构耐用可靠。[0004]该机构由以下零件构成：一个阶梯状的升降旋转轴1，两个密封座盖2，两个上密封座3，两个上密封座3和密封座5间的