一种掩膜板及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102955354102955354B(45)授权公告日2015.01.07(21)申请号201210430683.5JP特开2006-251611A,2006.09.21,全文.US5700606A,1997.12.23,全文.(22)申请日2012.11.01US5414746A,1995.05.09,全文.(73)专利权人合肥京东方光电科技有限公司审查员刘倩地址230011安徽省合肥市铜陵北路2177号专利权人京东方科技集团股份有限公司(72)发明人徐向阳邓立赟金玟秀杜雷王凯张敏(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291代理人黄志华(51)Int.Cl.G03F1/54(2012.01)(56)对比文件JP平1-237660A,1989.09.22,全文.权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图4页附图4页(54)发明名称一种掩膜板及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种掩膜板，包括掩膜板本体，掩膜板本体具有的透光区具有由光刻胶制备而成的透光膜，透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向逐渐增大。透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向逐渐增大，降低了透光区的光向非透光区方向的衍射效应，同时，透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向具有一个渐变的过程，而透光区中心区域的光向透光区的两侧位置衍射，所以，整个透光区射在基板表面光刻胶上的光线强度比较均匀，曝光显影时能够较好地控制基板上残留的光刻胶两侧的宽度，且光刻胶的两个侧边的均匀度较好，毛刺较少，提高了对得到结构的线宽的控制精度。本发明还提供了一种上述掩膜板的制备方法。CN102955354BCN1029534BCN102955354B权利要求书1/1页1.一种掩膜板，其特征在于，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体具有非透光区和透光区，所述透光区具有由光刻胶制备而成的透光膜，所述透光膜中部具有弧形凹面，由所述透光膜的中线向两侧非透光区的方向，所述透光膜的厚度由中间向两侧逐渐增大，以使所述透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向逐渐增大。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述光刻胶为正性光刻胶或者负性光刻胶。3.根据权利要求1或2所述的掩膜板，其特征在于，所述透光膜位于所述掩膜板本体的一侧。4.根据权利要求1或2所述的掩膜板，其特征在于，所述透光膜位于所述透光区的透光狭缝内。5.一种如权利要求1所述掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：在所述掩膜板本体上涂覆一层光刻胶层；对所述光刻胶层进行曝光显影，在所述掩膜板本体的透光区形成所述透光膜。6.根据权利要求5所述的掩膜板的制备方法，其特征在于，所述光刻胶为正性光刻胶。7.根据权利要求6所述的掩膜板的制备方法，其特征在于，对光刻胶进行曝光显影中包括：遮住所述掩膜板的透光区对所述光刻胶层进行第一次曝光显影，在所述透光区形成中间厚两侧薄的剩余光刻胶；沿所述剩余光刻胶的宽度方向，遮住剩余光刻胶的两侧，对所述剩余光刻胶进行第二次曝光显影，形成中间薄两侧厚的透光层。2CN102955354B说明书1/4页一种掩膜板及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及显示面板加工技术领域，特别涉及一种掩膜板及其制备方法。背景技术[0002]在显示面板技术领域，随着高分辨率显示技术的发展，显示面板中，单位尺寸内的像素个数在逐渐增加，像素尺寸在不断的减小，为了保持开口率，阵列基板中像素阵列的电极走线与彩膜基板中黑矩阵的线宽也要随之减小。[0003]在窄线宽的制备过程中，光的本质为电磁波，且电磁波本身的衍射效应，在传统的曝光显影工艺中，很难实现窄线宽工艺。[0004]为了克服上述光的衍射效应的影响，目前实现窄线宽制备中使用的掩膜板主要有以下几种方式：[0005]Wingpattern掩模设计，如图1所示，掩膜板的非透光区01的两侧设计为锯齿状凸起011，锯齿状的外边缘宽度为b，齿根部的宽度为c，曝光显影之后，基板04上得到的光刻胶012的宽度介于b和c之间，该类型的掩膜板能够通过锯齿状边缘来降低透过透光区的光在基板04上残留的光刻胶边缘处的衍射效应，能够较好地控制基板上残留的光刻胶两侧的宽度，而且该掩膜板可以通过调节b和c的值实现对得到的黑矩阵等结构线宽大小的调节。采用这种掩膜板制备窄线宽的优点是只需要更改掩模板中非透光区的锯齿设计就能实现窄线宽的效果，但是，使用该掩膜板得到的结构两侧的毛刺较多，不够平滑。[0006]SSM(SlitShotmask)掩模设计，如图2所示，图2所示的掩膜板是通过减小其非透光区02的宽度a来调节曝光量，进而得到线宽较窄的光刻胶，这种方法刚好利用了光的衍射，但是曝光显影之后基板04上残留光刻胶