太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103171246A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103171246103171246A(43)申请公布日2013.06.26(21)申请号201110436114.7(22)申请日2011.12.23(71)申请人昆山允升吉光电科技有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号(72)发明人魏志凌高小平杨志龙赵录军(51)Int.Cl.B41C1/14(2006.01)H01L31/18(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图2页附图2页(54)发明名称太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法(57)摘要本发明公开一种太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，包括步骤：S1:前处理，取一块待蚀刻的不锈钢钢片，进行前处理；S2:贴干膜，在所得的不锈钢钢片上均匀涂布一种感光干膜；S3:曝光，将基板固定在曝光机的曝光室内，通过紫外线对基板上干膜进行曝光；S4:显影，将曝光后的基板进行显影，将未曝光处干膜溶解清洗掉，留下太阳能电池的电极网板图形；S5:蚀刻，将经过显影处理后的钢片进行蚀刻，将需要开口的地方蚀刻掉。本发明采用整块不锈钢片进行蚀刻，在选取钢片时，可根据产品表面粗糙度的要求选取粗糙度合适的钢片，制作出的掩膜板表面能更好地符合印刷要求，从而可以更好地提升印刷精度，提升太阳能电池的转化效率。CN103171246ACN1037246ACN103171246A权利要求书1/1页1.一种太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：S1:前处理取一块待蚀刻的不锈钢钢片，对其进行除油、除锈的前处理；S2:贴干膜在步骤S1所得的不锈钢钢片上均匀涂布一种感光干膜；S3:曝光将基板固定在曝光机曝光室内，通过紫外线对基板上干膜进行曝光，以将太阳能电池的电极印刷网板的图形转移到感光干膜上面；S4:显影对曝光后的基板进行显影、清洗以及烘干工序，将未曝光处干膜溶解清洗掉，留下太阳能电池的电极网板图形；S5:蚀刻将经过显影处理后的钢片进行蚀刻，将需要开口的地方蚀刻掉。2.如权利要求1所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，其特征在于：所述步骤S2还包括：干膜通过压膜机压贴在不锈钢片上，压膜时通过压膜机提供一定的压力及温度，使得干膜紧贴于不锈钢片表面，整体构成基板；其中，所述感光干膜为负性感光干膜。3.如权利要求1或2所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，其特征在于：在所述步骤S3中，进行曝光的区域为太阳能电池电极印刷掩膜板的掩模部位图形，即掩膜板非开口区域。4.如权利要求3所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，其特征在于：所述步骤S4包括：将曝光后的基板放入显影机，在显影室内经显影液喷淋显影处理，显影完毕后经显影机后段暖水清洗段、溢流水洗段、烘干工序处理。5.如权利要求4所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，其特征在于：所述步骤S5包括：将显影处理后的基板放入蚀刻机，蚀刻机内蚀刻液是采用酸性蚀刻液，在蚀刻室内，将蚀刻液通过喷淋的方式对钢片进行蚀刻，蚀刻完毕后，将不锈钢片经水洗烘干。6.如权利要求5所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，其特征在于：蚀刻时间根据不锈钢钢片的厚度、蚀刻液的浓度、温度以及蚀刻液的喷淋压力的相关参数而作定。7.如权利要求6所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法，其特征在于：所述不锈钢片的表面要求光滑平整，所述蚀刻液为一定浓度的FeCl3溶液，根据需要可往其中加入适量的HCl。8.根据权利要求1所述的方法制成的太阳能硅电池电极印刷网板，其特征在于：印刷网板主栅线为交叉丝网形，主体宽度为1mm—2.5mm；细栅线是以桥连的方式连接，主体宽度为35um—100um。2CN103171246A说明书1/3页太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法[0001]技术领域[0002]本发明属于太阳能网板制造技术领域，尤其涉及一种太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法。[0003]背景技术[0004]当前，随着硅太阳能电池技术的不断发展，在追求低成本的同时，业界对太阳能电池的性能要求越来越高，对太阳能电池转化效率及硅太阳能电池成本等方面均提出了更高的技术要求。[0005]太阳能电池制作主要包括以下几个步骤：硅片切割，材料准备；去除损伤层；制绒；扩散制结；边缘刻蚀、清洗；沉积减反射层；印刷上下电极；共烧形成金属接触；以及电池片测试。其中，电极的印刷对太阳能电池的性能有非常大的影响，印刷高质量（即细栅线高宽比大）的电极，可以有效地提高太阳能电池的转化效率。[0006]传统的太阳能电池电极丝网印刷，由于其一些自身的限制，其细栅线精细度难以再进一步提高。因为传统的丝网板由不锈钢丝网纱与感光乳剂层相结合而成，不锈钢