一种ITO导电膜汇流电极及其制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103582285103582285A(43)申请公布日2014.02.12(21)申请号201210270958.3(22)申请日2012.07.31(71)申请人厦门中天启航电子科技有限公司地址361000福建省厦门市湖里区云顶中路2777号市政大厦12楼D座(72)发明人石勇(74)专利代理机构厦门市新华专利商标代理有限公司35203代理人李宁(51)Int.Cl.H05K1/02(2006.01)H05K3/00(2006.01)H01B5/14(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书4页说明书4页附图4页附图4页(54)发明名称一种ITO导电膜汇流电极及其制作方法(57)摘要本发明公开一种ITO导电膜汇流电极及其制法，在ITO导电膜的表面镀金属层；在金属层上涂布感光胶；用掩膜版平铺在感光胶表面，用紫外光使感光胶固化成感光层；用显影液去除未固化的感光胶；用蚀刻液使没覆盖感光层的金属层和ITO导电膜被刻蚀留下电极形状；将ITO导电膜放入去胶液中去除固化的感光层；将ITO导电膜浸泡在抗氧化溶液中形成保护层；将柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定，完成汇流电极制作。本发明适应各种线宽线距，适应性强，镀金属工艺使得汇流电极与ITO导电膜可靠接触，可靠性高，还使加工工序减少，加工周期缩短，制造成本降低，金属层使得ITO导电膜加工过程中ITO划伤减少，大大提升了良品率。CN103582285ACN103582ACN103582285A权利要求书1/2页1.一种ITO导电膜汇流电极，其特征在于：由基材、ITO导电膜、金属层、保护层和柔性电路板组成，ITO导电膜及金属层通过真空溅射镀膜依次溅镀在基材上，ITO导电膜和金属层通过曝光、显影、蚀刻形成电极形状，在电极形状的表面通过抗氧化处理形成保护层，柔性电路板带有标准接口，柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定在一起。2.一种ITO导电膜汇流电极制作方法，其特征在于步骤如下：a、在位于基材上的ITO导电膜的表面通过真空溅射镀膜的方法镀上金属层；b、在金属层上涂布感光胶；c、曝光：用带图案的掩膜版平铺在感光胶的表面，再用紫外光垂直照射掩膜版和感光胶，感光胶固化形成感光层；d、显影：用显影液喷淋以上加工的ITO导电膜，去除未固化的感光胶；e、蚀刻：用蚀刻液喷淋显影过的ITO导电膜，没覆盖固化感光层的那部分金属层和ITO导电膜被刻蚀掉，留下所需图形的电极形状；f、去胶：将完成以上工序的ITO导电膜放入去胶液中，浸泡，去除电极形状表面的固化的感光层；g、抗氧化处理：将去胶后的ITO导电膜浸泡在抗氧化溶液中，浸泡，在电极形状的表面形成保护层；h、绑定：将柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定在一起，即完成了汇流电极的制作。3.根据权利要求2所述的一种ITO导电膜汇流电极制作方法，其特征在于：步骤a的金属层材料是铝、镍、钼、金、银或铜中的一种或多种的合金。4.根据权利要求2所述的一种ITO导电膜汇流电极制作方法，其特征在于：步骤a的基材是无机透明材料，或是有机透明材料。5.根据权利要求2所述的一种ITO导电膜汇流电极制作方法，其特征在于：步骤e的电极形状是条形、S型或T型。6.一种ITO导电膜汇流电极，其特征在于：由ITO导电膜、金属层、保护层和柔性电路板组成，金属层通过真空溅射镀膜形成在ITO导电膜的两面上，ITO导电膜的两面和金属层分别通过曝光、显影、蚀刻形成电极形状，在两面电极形状的表面通过抗氧化处理各形成保护层，柔性电路板带有标准接口，柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定在一起。7.一种ITO导电膜汇流电极制作方法，其特征在于步骤如下：a、在ITO导电膜的两表面通过真空溅射镀膜的方法镀上金属层；b、在两个金属层上涂布感光胶；c、曝光：用带图案的掩膜版平铺在两个感光胶的表面，再用紫外光垂直照射掩膜版和感光胶，感光胶固化形成感光层；d、显影：用显影液喷淋以上加工的ITO导电膜，去除未固化的感光胶；e、蚀刻：用蚀刻液喷淋显影过的ITO导电膜，没覆盖固化感光层的那部分金属层和ITO导电膜被刻蚀掉，留下所需图形的电极形状；f、去胶：将完成以上工序的ITO导电膜放入去胶液中，浸泡，去除电极形状表面的固化的感光层；g、抗氧化处理：将去胶后的ITO导电膜浸泡在抗氧化溶液中，浸泡，在两面电极形状的2CN103582285A权利要求书2/2页表面各形成保护层；h、绑定：将柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定在一起，即完成了汇流电极的制作。8.根据权利要求7所述的一种ITO导电膜汇流电极制作方法，其特征在于：步骤a的金属层材料是铝、镍、钼、金、银或铜中的一种或多种的合