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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104185555104185555A(43)申请公布日2014.12.03(21)申请号201380014842.6代理人樊建中(22)申请日2013.03.29(51)Int.Cl.(30)优先权数据B41J2/14(2006.01)2012-0794702012.03.30JPC04B35/493(2006.01)H01L41/09(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L41/187(2006.01)2014.09.17H01L41/253(2013.01)(86)PCT国际申请的申请数据H01L41/313(2013.01)PCT/JP2013/0596122013.03.29(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/147196JA2013.10.03(71)申请人京瓷株式会社地址日本京都府(72)发明人岩下修三(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021权权利要求书1页利要求书1页说明书13页说明书13页附图14页附图14页(54)发明名称压电致动器、喷墨头以及压电致动器的制造方法(57)摘要本发明提供一种能够抑制移位偏差的压电致动器。头部(5)具有:基体(21);和压电元件(23),其在厚度方向上相对于基体(21)重叠并固定。压电元件(23)具有板状的压电体(41)以及按照在厚度方向上夹着该压电体(41)的方式而被配置的公共电极(39)以及单独电极(43)。基体(21)的热膨胀系数比压电体(41)(压电元件(23))高。压电体(41)以正方晶为主结晶相,在被公共电极(39)以及单独电极(43)夹着的区域,c轴向厚度方向的一侧(z方向的正侧)的取向度在洛特格林因素下为44%以上56%以下,平面方向上的残留应力在压缩方向上为0MPa以上35MPa以下。CN104185555ACN10485ACN104185555A权利要求书1/1页1.一种压电致动器,具有:基体;和压电元件,其具有板状的压电体以及按照在厚度方向上夹着该压电体的方式而被配置的1对电极,所述压电元件在厚度方向上相对于所述基体重叠并固定,所述基体的热膨胀系数比所述压电元件高,所述压电体以正方晶为主结晶相,在被所述1对电极夹着的区域,c轴向厚度方向的一侧的取向度在洛特格林因素下为44%以上且56%以下,平面方向上的残留应力在压缩方向上为0MPa以上且35MPa以下。2.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,所述压电体的材料以锆钛酸铅为主成分。3.根据权利要求2所述的压电致动器,其特征在于,所述压电体的材料是在由Pb1-x-ySrxBay(Zn1/3Sb2/3)a(Ni1/2Te1/2)bZr1-a-b-cTicO3+αwt%Pb1/2NbO3表示的材料中,0.495/0.505≤(1-a-b-c)/c≤0.5/0.5的材料,其中,0≤x≤0.14,0≤y≤0.14,0.05≤a≤0.1,0.002≤b≤0.01,0.44≤c≤0.50,α=0.1以上且1.0以下。4.一种喷墨头,具有:基体,其设有对墨液进行收容的凹状的加压室;和压电元件,其具有板状的压电体以及按照在厚度方向上夹着该压电体的方式而被配置的1对电极,所述压电元件按照盖住所述加压室的方式来在厚度方向上相对于所述基体重叠并固定,所述基体的热膨胀系数比所述压电元件高,所述压电体以正方晶为主结晶相,在被所述1对电极夹着的区域,c轴向厚度方向的一侧的取向度在洛特格林因素下为44%以上且56%以下,平面方向上的残留应力在压缩方向上为0MPa以上且35MPa以下。5.一种压电致动器的制造方法,包含:准备压电元件的工序,该压电元件具有板状的压电体以及按照在厚度方向上夹着该压电体的方式而被配置的1对电极;准备热膨胀系数比该压电元件高的基体的工序;在厚度方向上将所述压电元件与所述基体重叠并固定的工序;和在所述固定的工序后,将所述压电元件以及所述基体冷却到比常温低的温度的工序。6.根据权利要求5所述的压电致动器的制造方法,其特征在于,在所述固定的工序中,使对所述压电元件与所述基体进行粘接的粘接剂在常温下固化。7.根据权利要求6所述的压电致动器的制造方法,其特征在于,在所述冷却的工序中,将所述压电元件以及所述基体冷却到-40℃以下。8.根据权利要求5~7的任意一项所述的压电致动器的制造方法,其特征在于,所述固定的工序与所述冷却的工序的温度差为65℃以上。2CN104185555A说明书1/13页压电致动器、喷墨头以及压电致动器的制造方法技术领域[0001]本发明涉及一种压电致动器、喷墨头以及压电致动器的制造方法。背景技术[0002]已知利用压电元件的变形的压电致动器以及通过该