压电陶瓷致动器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107453645A(43)申请公布日2017.12.08(21)申请号201710828532.8(22)申请日2017.09.14(71)申请人苏州迈客荣自动化技术有限公司地址215000江苏省苏州市相城经济开发区澄阳路116号(72)发明人孙立宁钟博文王振华(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257代理人耿丹丹(51)Int.Cl.H02N2/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称压电陶瓷致动器(57)摘要本发明公开了一种压电陶瓷致动器，包括保护壳，保护壳的下端设有底座，底座和保护壳固定连接；第一陶瓷振子的下端与底座连接；第二陶瓷振子的下端与底座连接，第一振动片位于第一陶瓷振子和第二陶瓷振子之间，第一振动片通过两侧均匀分布的弹簧分别与第一陶瓷振子和第二陶瓷振子连接；保护壳的上端设有第一上支座和第二上支座，第一上支座与第二上支座通过第二振动片连接，第一上支座和第一陶瓷振子之间设有第一支柱，第二陶瓷振子与第二上支座之间设有第二支柱。本发明设有多个陶瓷振子，振动效果好，设有多个振动片，传动效果好，而且保护壳的存在对陶瓷振子起到了保护作用，在高温高湿的情况下工作稳定，结构简单，实用性强。CN107453645ACN107453645A权利要求书1/1页1.一种压电陶瓷致动器，其特征在于：包括保护壳(1)，所述保护壳的下端设有底座(2)，所述底座和所述保护壳固定连接；第一陶瓷振子(41)的下端与所述底座连接；第二陶瓷振子(42)的下端与所述底座连接，第一振动片(51)位于所述第一陶瓷振子和所述第二陶瓷振子之间，所述第一振动片通过两侧均匀分布的弹簧(8)分别与所述第一陶瓷振子和所述第二陶瓷振子连接；所述保护壳的上端设有第一上支座(31)和第二上支座(32)，所述第一上支座与所述第二上支座通过第二振动片(52)连接，所述第一上支座和所述第一陶瓷振子之间设有第一支柱(61)，所述第二陶瓷振子和所述第二上支座之间设有第二支柱(62)。2.根据权利要求1所述的压电陶瓷致动器，其特征在于:所述第一陶瓷振子和所述第二陶瓷振子平行排列，所述第一振动片与所述第一陶瓷振子和所述第二陶瓷振子平行排列。3.根据权利要求1所述的压电陶瓷致动器，其特征在于:所述第二振动片与所述第一陶瓷振子、所述第二陶瓷振子和所述第一振动片垂直排列。4.根据权利要求1所述的压电陶瓷致动器，其特征在于:所述第一振动片、所述第一陶瓷振子、所述第二振动片和所述底座之间构成第一振动腔(71)，所述第二陶瓷振子、所述第一振动片、所述第二振动片和所述底座之间构成第二振动腔(72)。5.根据权利要求1所述的压电陶瓷致动器，其特征在于:所述第一支柱和所述第二支柱均包括一振动弹簧和弹性触点。6.根据权利要求1所述的压电陶瓷致动器，其特征在于:所述弹簧的一端与所述第一振动片可拆卸连接。7.根据权利要求1所述的压电陶瓷致动器，其特征在于：所述保护壳的形状为长方体、正方体、圆柱体或球体。8.根据权利要求1所述的压电陶瓷致动器，其特征在于：所述保护壳的侧壁上设有多个通风口(11)。2CN107453645A说明书1/3页压电陶瓷致动器技术领域[0001]本发明涉及微驱动应用技术领域，特别是涉及一种压电陶瓷致动器。背景技术[0002]目前，压电陶瓷致动器件所具有的优点已得到广泛的承认和应用。压电陶瓷是利用压电材料的逆压电效应来工作的，仅依靠外加电场的大小就能够实现驱动、压电陶瓷克服了以往机械式、液压式、气动式、电磁式等执行器惯性大、响应慢、结构复杂、可靠性差等不足，具有体积小、结构紧凑、无机械摩擦、无间隙、分辨率高、响应快、无发热、不受磁场干扰、可在低温，真空度环境下使用等优点，被广泛应用于微定位技术中，例如物镜精密定位、大行程纳米对准系统、高精度显微纳米压印、主动减震、掩模与晶圆对准、光刻、光学干涉、光纤对接、亚纳米测量、光盘测试、光学测试、流体控制阀、声学仪器换能器、线性电动机和微波声学等领域，这种可控的精密微位移执行器必将在今后诸多技术领域中发挥难以估量的作用。[0003]目前市面上现有的压电致动产品多为单一陶瓷振子，其振动量均比较小，无法满足对高振动力的需求，而且传动效果差，导致整个压电制动器的震动效果差，并且单一的陶瓷振子在使用过程中没有外在保护，极易损坏，并且对温度湿度的敏感程度较高，在高温高湿等工作状态下，其电器性能会随之发生变化，产品的稳定性亦不稳定。对于产品稳定性要求较高的产业，以及使用在恶劣环境条件下的仪器设备则急需一种振动力较大，特性稳定的压电致动器来弥补市场需求。[0004]为了克服上述缺点，本领域技术人员积极创新研究，以期创设出一种新型的