提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置及提高方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106271054A(43)申请公布日2017.01.04(21)申请号201510290633.5(22)申请日2015.05.30(71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研究所地址315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号(72)发明人张天润张文武王斌(74)专利代理机构北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)11489代理人郭晓华(51)Int.Cl.B23K26/082(2014.01)B23K26/36(2014.01)B23K26/16(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置及提高方法(57)摘要本发明属于激光加工技术领域，尤其是涉及一种提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置及提高方法。它解决了现有技术无法及时排出加工废弃物和损伤聚焦镜等问题。本提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置包括设置在聚焦镜的射光方向且具有激光经过通道的辅助加工头，在辅助加工头上设有能实时将加工过程中滞留在孔或槽内的加工废弃物排出并迫使加工废弃物远离聚焦镜从而将所述加工废弃物吸离至激光经过通道外的复合型排离机构。提高方法包括：A、排出孔或槽内的加工废弃物；B、吸离加工废弃物。本发明的优点在于：能及时将加工废弃物排出且能避免加工废弃物损伤聚焦镜。CN106271054ACN106271054A权利要求书1/2页1.一种提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，扫描振镜系统包括依次设置的扫描振镜(11)和聚焦镜(12)，且当入射激光依次经过扫描振镜(11)和聚焦镜(12)后能在工件(a)上加工出至少一个孔或槽，其特征在于，本辅助装置包括设置在聚焦镜(12)的射光方向且具有激光经过通道(21)的辅助加工头(2)，在辅助加工头(2)上设有能实时将加工过程中滞留在孔或槽内的加工废弃物排出并迫使加工废弃物远离聚焦镜(12)从而将所述加工废弃物吸离至激光经过通道(21)外的复合型排离机构(3)。2.根据权利要求1所述的提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，其特征在于，所述的复合型排离机构(3)包括能够将所述的激光经过通道(21)分隔成正压腔(22)和负压腔(23)的分隔结构，所述的正压腔(22)位于聚焦镜(12)和负压腔(23)之间且该正压腔(22)与负压腔(23)连通形成复合型腔，在辅助加工头(2)上设有与正压腔(22)连通的至少一个正压保护气入口(24)，在辅助加工头(2)上还设有与负压腔(23)连通的至少一个负压吸离口(25)。3.根据权利要求2所述的提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，其特征在于，所述的分隔结构包括设置在激光经过通道(21)内的分隔体(31)，在分隔体(31)的轴向中心设有能使正压腔(22)与负压腔(23)连通的第一喷口(32)。4.根据权利要求3所述的提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，其特征在于，所述的分隔体(31)为锥形分隔体，且该分隔体(31)的外径从正压腔(22)侧向负压腔(23)侧逐渐缩小。5.根据权利要求3或4所述的提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，其特征在于，所述的辅助加工头(2)远离聚焦镜(12)的一端设有第二喷口(26)，第一喷口(32)和第二喷口(26)均呈外端小内端大锥形喷口结构，所述第二喷口(26)轴心线与第一喷口(32)轴心线重合且第一喷口(32)小头端的口径小于或等于第二喷口(26)小头端的口径。6.根据权利要求2或3或4所述的提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，其特征在于，所述的正压保护气入口(24)设置在辅助加工头(2)的周向且通过第一管路(41)与正压保护气供给部件(42)相连；所述的负压吸离口(25)数量至少两个且沿辅助加工头(2)的周向均匀分布，所述的负压吸离口(25)通过第二管路(43)与负压发生部件(44)相连，在第二管路(43)上设有位于负压吸离口(25)和负压发生部件(44)之间的负压吸尘部件(45)。7.根据权利要求2或3或4所述的提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，其特征在于，所述的辅助加工头(2)包括具有正压腔(22)的加工头上腔体(22a)和具有负压腔(23)的加工头下腔体(22b)，所述的加工头上腔体(22a)和加工头下腔体(22b)之间通过第一可拆卸连接结构或焊接方式相连；或者所述的辅助加工头(2)包括具有复合型腔且为一体式结构的一体式加工头基体。8.根据权利要求7所述的提高扫描振镜系统加工能力的辅助装置，其特征在于，所述的辅助加工头(2)通过第二可拆卸连接结构与扫描振镜(11)相连；或者所述的辅助加工头(2)通过第三可拆卸连接结构连接在固定支架(5)上，所述的扫描振镜(11)通过第四可拆卸连接结构与固定支架(5)相连。9.一种提高扫描振镜系统加