感光性树脂组合物、光刻胶层叠体以及它们的固化物(11).pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106662814A(43)申请公布日2017.05.10(21)申请号201580031504.2(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专(22)申请日2015.06.09利商标事务所11038代理人吴宗颐(30)优先权数据2014-1223352014.06.13JP(51)Int.Cl.G03F7/038(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C08G59/62(2006.01)2016.12.13G03F7/004(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据G03F7/075(2006.01)PCT/JP2015/0665922015.06.09(87)PCT国际申请的公布数据WO2015/190476JA2015.12.17(71)申请人日本化药株式会社地址日本东京(72)发明人今泉尚子小野祯之小泉孝德熊谷真希稻垣真也权利要求书2页说明书14页(54)发明名称感光性树脂组合物、光刻胶层叠体以及它们的固化物(11)(57)摘要本发明的目的在于提供，在半导体、MEMS/微型机械应用领域中，固化物的残留应力极低、湿热试验后与Pt、LT和Ta等金属基板的紧密贴合性优异的树脂组合物和/或其层叠体、及其固化物。本发明是含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物和(C)光阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上，且该(A)环氧树脂的20质量％以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500～4500g/eq.的环氧树脂，该(B)具有酚性羟基的化合物含有特定结构的苯酚化合物。CN106662814ACN106662814A权利要求书1/2页1.感光性树脂组合物，含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物、和(C)光阳离子聚合引发剂，其中，(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上，该(A)环氧树脂的20质量％以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500～4500g/eq.的环氧树脂，式(1)中，m为平均值，表示3～35范围的实数，该(B)具有酚性羟基的化合物含有选自下述式(2)、(4)、(5)和(6)表示的苯酚化合物中的一种以上的苯酚化合物，式(2)中，n为平均值，表示1～10范围的实数，R各自独立地表示氢原子或碳数1～4的烷基，式(4)中，q为平均值，表示1～10范围的实数，式(5)中，z为平均值，表示1～10范围的实数，式(6)中，y为平均值，表示1～10范围的实数，R8和R9各自独立地表示氢原子或碳数1～4的烷基。2.权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，(A)环氧树脂含有下述式(3)表示的环氧2CN106662814A权利要求书2/2页树脂，式(3)中，a为平均值，表示2～30范围的实数，X各自独立地表示氢原子或缩水甘油基，多个存在的X中的至少1个是缩水甘油基。3.权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，相对于(A)环氧树脂1当量，含有0.1～0.9当量的(B)具有酚性羟基的化合物。4.权利要求1至3任一项所述的感光性树脂组合物，其中(C)光阳离子聚合引发剂为配盐系的光阳离子聚合引发剂。5.权利要求1至4任一项所述的感光性树脂组合物，其含有(D)含环氧基的硅烷化合物。6.权利要求1至5任一项所述的感光性树脂组合物，其含有(E)溶剂。7.权利要求1至6任一项所述的感光性树脂组合物的固化物。8.光刻胶层叠体，其是用基材夹入权利要求1至6任一项所述的感光性树脂组合物而得到的。9.干膜光刻胶的固化物，其是由权利要求8所述的光刻胶层叠体得到的。3CN106662814A说明书1/14页感光性树脂组合物、光刻胶层叠体以及它们的固化物(11)技术领域[0001]本发明涉及感光性树脂组合物及其固化物。更具体地，本发明涉及良好的侧壁形状和分辨率优异的影像形成性、固化物的残留应力小、防止基板的翘曲，湿热试验后与基板的紧密贴合性优异的感光性树脂组合物及其固化物。具有这样的优异特性的本发明的感光性树脂组合物及其固化物在MEMS(微电子机械系统)部件、μ-TAS(微小全分析系统)部件、微型反应器部件、电容器、电感器等电子部件的绝缘层、LIGA部件、用于微小射出成型和热轧花的模具和印花、用于微细印刷用途的屏幕或模版、MEMS传感器/半导体设备/频率设备的封装部件、生物MEMS和生物光子设备、喷墨印刷头部件、以及印刷布线板的制作中是有用的。背景技术[0002]感光性树脂组合物中，可进行光刻加工的物质被称为光刻胶，用于半导体、MEMS/微型机械应用等广泛的范围。在这样的应用中，光刻加工通过如下方法达成：在基板上图案化曝光，接着用显影液显影，由此选择性地除去曝光区域或非曝光区域。光