感光性树脂组合物、其固化物、以及含有其固化物的布线结构体.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115917433A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202180043950.0弗兰克·安东尼·莱蒂萨三世(22)申请日2021.06.07佐藤敏行(30)优先权数据(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理63/046,8082020.07.01US有限责任公司11290专利代理师孙雪张淑珍(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.20(51)Int.Cl.G03F7/027(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据C08F30/08(2006.01)PCT/JP2021/0215632021.06.07C08F299/08(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据G03F7/004(2006.01)WO2022/004285JA2022.01.06G03F7/029(2006.01)(71)申请人纳美仕有限公司G03F7/031(2006.01)地址日本新潟县G03F7/075(2006.01)(72)发明人帕维尔·丘巴罗大友政义艾尔玛·尤兰达·卡珀利斯尼古拉斯·查尔斯·卡拉斯科权利要求书2页说明书18页附图2页(54)发明名称感光性树脂组合物、其固化物、以及含有其固化物的布线结构体(57)摘要本发明提供了感光性树脂组合物、其固化物、以及含有其固化物的布线结构体、电子部件、半导体装置和相机模块。该感光性树脂组合物不是通过高温下的热处理进行固化，而是通过活性能量线的照射进行固化。在该感光性树脂组合物中，显影工序后的膜减少会被抑制。进一步地，通过光刻可以精确地形成微细图案。本发明的一个方面涉及感光性树脂组合物、其固化物、以及含有其固化物的布线结构体、电子部件、半导体装置和相机模块，其中，所述感光性树脂组合物包含成分(A)～(C)：(A)式(1)和式(2)所示的改性聚苯醚、(B)式(3)所示的倍半硅氧烷化合物、以及(C)光聚合引发剂。CN115917433ACN115917433A权利要求书1/2页1.一种感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含下述成分(A)～(C)：(A)下述式(1)所示的改性聚苯醚树脂：[化12]式中，R1～R3各自独立地表示氢原子、烷基、烯基或炔基，X表示q价的未取代或取代芳香族烃基，Y表示下述式(2)所示的未取代或取代苯酚重复单元：[化13]式中，R4～R7各自独立地表示氢原子、烷基、烯基、炔基或烯基羰基；m表示1～100的整数，n表示1～6的整数，q表示1～4的整数；(B)下述式(3)所示的化合物：[化14]以及，(C)光聚合引发剂。2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物进一步包含(D)下述式(4)所示的双官能丙烯酸树脂：[化15]2CN115917433A权利要求书2/2页式中，各个Ra独立地表示氢原子或甲基，各个Rb独立地表示二价烃基，x和y各自独立地表示1～5的整数。3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述成分(C)为选自于由酰基氧化膦类光聚合引发剂、肟酯类光聚合引发剂和烷基苯酮类光聚合引发剂组成的组中的至少一种。4.如权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，相对于所述成分(A)和所述成分(B)的总量，所述成分(A)的质量比为0.10～0.99。5.如权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，相对于感光性树脂组合物100质量％，所述成分(C)的含量为1.0质量％～20.0质量％。6.如权利要求2～5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，相对于所述成分(B)和所述成分(D)的总量，所述(D)成分的质量比为0.01～0.99。7.如权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物进一步包含(E)结晶性或非晶性的热塑性树脂，但所述热塑性树脂不包括双官能丙烯酸树脂。8.如权利要求7所述的感光性树脂组合物，其中，所述成分(E)为选自于由液晶聚合物、聚乙烯、聚丙烯、聚甲醛、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯硫醚、聚醚酮、聚四氟乙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯腈·丁二烯·苯乙烯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚醚酰亚胺和聚酰胺酰亚胺组成的组中的至少一种。9.如权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物用于形成含有重新布线层的布线结构体。10.一种固化物，所述固化物为通过使权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物固化而得到的固化物。11.含有如权利要求10所述的固化物的布线结构体。12.含有如权利要求10所述的固化物的电子部件。13.含有如权利要求10所述的固化物的半导体装置。14.含有如权利要求10所述的固化物的相机模块。3CN115917433A说明书1/1