一种高吸留极限的低温泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107605700A(43)申请公布日2018.01.19(21)申请号201710884204.X(22)申请日2017.09.26(71)申请人安徽万瑞冷电科技有限公司地址230088安徽省合肥市高新区海棠路189号(72)发明人武义锋邓家良冯苌春曾环王少恒张海峰俞杰孙志和(51)Int.Cl.F04B37/08(2006.01)F04B39/00(2006.01)F04B39/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种高吸留极限的低温泵(57)摘要本发明公开了一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本发明提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口，实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。CN107605700ACN107605700A权利要求书1/2页1.一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，其特征在于，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。2.根据权利要求1所述的高吸留极限的低温泵，其特征在于，所述高吸留极限的低温泵还包括与所述冷头同轴配置的第一磁驱动盘、第二磁驱动盘，以及驱动所述第一磁驱动盘旋转的驱动装置，所述第一磁驱动盘配置于所述壳体左侧面的左方，所述第二磁驱动盘与低温板组件固定连接，所述第一磁驱动盘和第二磁驱动盘相向的表面上设有磁块，每个布置有磁块的磁驱动盘侧面配置成：磁块至少为两个，位于靠近磁驱动盘边缘处且沿周向等间距布置，每个磁块的N-S磁极连线方向垂直于所述磁驱动盘，相邻磁块的N-S磁极连线方向相反，所述第一磁驱动盘和第二磁驱动盘之间所覆盖的壳体、辐射冷屏区域的材料为非导磁材料，通过第一磁驱动盘和第二磁驱动盘之间磁块的磁力作用，所述第一磁驱动盘的旋转运动带动所述第二磁驱动盘旋转运动。3.根据权利要求1所述的高吸留极限的低温泵，其特征在于，所述辐射冷屏均为呈两端带盖板且与所述冷头同轴的圆筒状，所述辐射冷屏活动安装于一级冷却台上并可绕一级冷却台旋转，所述高吸留极限的低温泵还包括与所述冷头同轴配置的第一磁驱动盘、第二磁驱动盘，以及驱动所述第一磁驱动盘旋转的驱动装置，所述第一磁驱动盘配置于所述壳体左侧面的左方，所述第二磁驱动盘与低温板组件固定连接，所述第一磁驱动盘和第二磁驱动盘相向的表面上设有磁块，所述辐射冷屏的的左盖板为嵌入安装有磁块的第三磁驱动盘，每个布置有磁块的磁驱动盘配置成：磁块至少为两个，位于靠近磁驱动盘边缘处且沿周向等间距布置，每个磁块的N-S磁极连线方向垂直于所述磁驱动盘，相邻磁块的N-S磁极连线方向相反，所述第一磁驱动盘和第三磁驱动盘之间所覆盖的壳体的材料为非导磁材料，通过第一磁驱动盘和第三磁驱动盘之间磁块的磁力作用，所述第一磁驱动盘的旋转运动带动所述第三磁驱动盘旋转运动，通过第三磁驱动盘和第二磁驱动盘之间磁块的磁力作用，所述第三磁驱动盘的旋转运动带动所述第二磁驱动盘旋转运动。4.根据权利要求2至3中任一项所述的高吸留极限的低温泵，其特征在于，所述低温板组件所述低温板组件包括多个位于第二冷却台外周的与低温泵主轴同轴、且相互间留有间隙的低温圆筒，所述低温圆筒的左端与第二磁驱动盘固定连接。5.根据权利要求4所述的高吸留极限的低温泵，其特征在于，所述低温圆筒上设有第二通孔，所述第二通孔的形状是圆形、方形、直线状或曲线状延伸的狭缝。6.根据权利要求1至3中任一项所述的高吸留极限的低温泵，其特征在于，所述壳体大致呈两端带盖板的圆筒状，壳体的筒形表面上设有与真空腔体连接的开口部，该开口部呈2CN107605700A权利要求书2/2页筒状并沿低温泵的径向向外延伸，开口部的顶端设有凸缘结构。7.根据权利要求6所述的高吸留极限的低温泵，其特征在于，所述开口部谓方筒形。3CN107605700A说明书1/5页一种高吸留极限的低温泵技术领域[0001]本发明属于低温制冷技术领域，具体涉及一种具有较高吸附和冷凝极限的低温泵。背景技术[0002]低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵