一种全自动硅片翻面烘干机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108387078A(43)申请公布日2018.08.10(21)申请号201810397264.3(22)申请日2018.04.28(71)申请人嘉兴岐达新材料有限公司地址314300浙江省嘉兴市海盐县元通街道威博大道2号(72)发明人陈贵连(74)专利代理机构北京天奇智新知识产权代理有限公司11340代理人韩洪(51)Int.Cl.F26B11/00(2006.01)F26B21/00(2006.01)F26B25/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种全自动硅片翻面烘干机(57)摘要本发明公开了一种全自动硅片翻面烘干机，包括烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢。本发明能够使硅片的烘干自动化进行，同时还能进行翻面烘干，有效降低硅片表面的水分残留，提升烘干质量，烘干效率高，利于推广应用。CN108387078ACN108387078A权利要求书1/1页1.一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：包括烘干箱(1)、旋转电机(2)、联动轴(3)、鼓风器(4)、烘干器(5)、硅片盘(6)、抽风器(7)、控制中枢(8)，所述鼓风器(4)设置在烘干箱(1)顶部，所述鼓风器(4)包括鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、入风皮碗(11)，所述鼓风机(9)设置在烘干箱(1)顶部，所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向下设置在烘干箱(1)内，所述电动伸缩气管(10)底端安装有入风皮碗(11)，所述鼓风器(4)下方设置有烘干器(5)，所述烘干器(5)包括翻转盘(12)、加热器(13)、烘干腔(14)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16)，所述翻转盘(12)左右两端均设置有加热器(13)，所述烘干腔(14)设置在翻转盘(12)中部，所述烘干腔(14)的上方设置有风转盘(15)，所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16)，所述烘干腔(14)的下方对应设置有风转盘(15)，所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16)，所述硅片盘(6)安装在烘干腔(14)内，所述烘干器(5)的左右两端通过联动轴(3)与旋转电机(2)相连，所述旋转电机(2)设置在烘干箱(1)的左侧面，所述抽风器(7)包括抽风机(17)、电动伸缩气管(10)、抽风皮碗(18)，所述抽风机(17)设置在烘干箱(1)底部，所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向上设置在烘干箱(1)内，所述电动伸缩气管(10)顶端安装有抽风皮碗(18)，所述控制中枢(8)设置在烘干箱(1)的右下方，所述烘干箱(1)的底部安装有支脚(19)。2.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：所述入风皮碗(11)的形状为竖直向下的倒漏斗形，所述入风皮碗(11)的最大开口直径大于风转盘(15)的直径，所述入风皮碗(11)正对风转盘(15)竖直方向上的开口，所述皮碗密封感应环(16)为带接触感应器的橡胶密封圆环。3.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：所述硅片盘(6)上均匀设置有多个硅片固定槽(20)，所述硅片固定槽(20)为镂空透气槽，所述硅片盘(6)为导热盘，所述硅片盘(6)的左右两端与加热器(13)相连，所述硅片盘(6)的安装方式为可拆卸式，所述翻转盘(12)为隔热盘。4.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：所述抽风皮碗(18)的形状为竖直向上的漏斗形，所述抽风皮碗(18)的最大开口直径大于风转盘(15)的直径，所述抽风皮碗(18)正对风转盘(15)竖直方向上的开口。5.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：所述烘干腔(14)顶部和底部的风转盘(15)呈上下对应关系，所述风转盘(15)为主动转盘，所述风转盘(15)内均匀设置有多个旋转导风管(21)，所述旋转电机(2)通过联动轴(3)带动烘干器(5)沿竖直方向旋转，所述烘干箱(1)为竖直设置的圆柱形隔热箱。6.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：所述控制中枢(8)与旋转电机(2)、加热器(13)、鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16)、抽风机(17)一一相连。2CN108387078A说明书1/3页一种全自动硅片翻面烘干机【技术领域】[0001]本发明涉及硅片生产的技术领域，特别是一种全自动硅片翻面烘干机的技术领域。【背景技术】[0002]21世纪以来，全球能源消费急剧攀升，传统化石能源日益枯竭，能源问题和环境问题逐渐成为全球关注的两大重点问题。迫于可持续发展的压力，各主要国家纷纷将太阳能光伏产业列入可再生能源开发利用的重点。目前，硅片生产过程中须经过清洗工序