一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108418083A(43)申请公布日2018.08.17(21)申请号201810129363.3(22)申请日2018.02.08(71)申请人北京科益虹源光电技术有限公司地址100000北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201(72)发明人刘斌丁金滨詹绍通江锐(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316代理人赵勍毅(51)Int.Cl.H01S3/034(2006.01)H01S3/22(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图8页(54)发明名称一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器(57)摘要本发明提供的用于激光器的窗口结构及准分子激光器，通过在洁净气体的流通路径上增加多层窗口结构，具有较高气压的洁净气体在小室内形成若干涡流，对气流能量进行耗散，总压头逐步降低，最终与放电区压力一致，使得气流变得极其缓慢的进入放电区的主流场中，不会影响光束传输，另外，从放电区形成的光轴方向激波传播到多层窗口结构时，会引起多个隔板本身和多个小室内气体的振动，从而对激波能量进行吸收和耗散，达到减弱和阻隔激波对窗片冲击的目的，再有在放电腔内形成的粉尘颗粒，在向窗片方向扩散时，可以被小室内的涡流留在各级小室内，经过多层小室后，到达窗片的概率会极低，因此可以减小窗片污染。CN108418083ACN108418083A权利要求书1/1页1.一种用于激光器的窗口结构，其特征在于，包括窗体、安装在所述窗体上的窗片、设置在所述窗体上用于输送洁净气体的第一开口、设置在所述窗体上用于向放电腔通光的第二开口、设置在所述窗体内且与所述第二开口连通的多层窗口结构，所述多层窗口结构具有至少两个相互隔开的小室，所述至少两个相互隔开的小室包括第一小室和第二小室，由所述第一开口流入的洁净气体经由所述第一小室、所述第二小室以及所述第二开口进入所述放电腔。2.根据权利要求1所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，所述多层窗口结构具有筒状周壁、间隔设置在筒状周壁内侧的至少两个隔板，所述至少两个隔板包括第一隔板以及第二隔板，所述第一隔板和所述第二隔板以及所述筒状周壁围成所述第一小室，所述第二隔板、所述窗体的内壁以及所述筒状周壁围成所述第二小室。3.根据权利要求2所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，所述第一隔板上设有第一通孔，所述第二隔板上设有第二通孔，所述第一通孔的中心线和所述第二通孔的中心线共线。4.根据权利要求4所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，所述第一通孔的孔径小于所述第二通孔的孔径。5.根据权利要求2所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，所述桶装周壁垂直设置在所述窗体的内壁上，所述第一隔板和所述第二隔板均与所述桶装周壁垂直，所述第一开口的中心线和所述第二开口的中心线垂直。6.根据权利要求1所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，所述多层窗口结构具有三至五个小室。7.根据权利要求1所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，所述窗片的表面与所述第二开口的中心线夹角为33°-55°。8.根据权利要求1所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，还包括多层窗式结构壳体以及窗片固定件，所述窗片固定件与所述窗体夹持所述窗片，所述多层窗口结构容纳于所述多层窗式结构壳体内，所述多层窗式结构壳体安装在所述窗体上。9.根据权利要求3所述的用于激光器的窗口结构，其特征在于，所述第一通孔位于所述第一隔板的中心位置，所述第二通孔位于所述第二隔板的中心位置，所述第一隔板设置第一通孔的边缘处设有第一斜面，所述第二隔板设置第二通孔的边缘处设有第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面均朝向所述第二开口一侧。10.一种准分子激光器，其特征在于，所述准分子激光器具有如权利要求1至9中任一项所述的用于激光器的窗口结构。2CN108418083A说明书1/5页一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器技术领域[0001]本发明涉及激光技术领域，特别涉及一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器。背景技术[0002]在高端光刻领域，高重频准分子激光因其高重频、窄线宽和大能量的特点，是目前半导体光刻领域应用的占绝对主导地位的光源。[0003]如图1所示，一般采用静电除尘器净化腔内气体然后向镜片内侧输送洁净气体进行冲刷保护，图中101为放电腔，102为静电除尘器，103为洁净气体，104为窗片，105为窗口区域，106为电极，107为冲击波。放电腔内的气体通过静电除尘器净化以后，流向放电腔的窗口区域，然后流向放电区，组织粉尘颗粒污染窗片。[0004]然而洁净气体的输送又会造成窗口附近与放电区域的压力梯度，可能影响输出光束质量。另外，放电产生的光轴方向激波持续存在，对输出镜片造成持续的冲击，这种冲