准分子激光器及其激光窗口元件更换方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108847568A(43)申请公布日2018.11.20(21)申请号201810557704.7(22)申请日2018.06.01(71)申请人武汉华星光电半导体显示技术有限公司地址430079湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室(72)发明人黄晓波(74)专利代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300代理人黄威(51)Int.Cl.H01S3/034(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称准分子激光器及其激光窗口元件更换方法(57)摘要本发明公开一种准分子激光器，其特征在于包括︰一激光管，其内形成有一腔室，在所述腔室内填充有一激光气体；两气阀，设置在所述激光管的腔室内并且分别邻近所述激光管的两端部，所述两气阀将腔室区隔为一主气室及两缓冲气室，所述主气室介于所述两气阀之间，各缓冲气室介于对应的各所述气阀及所述激光管各所述端部之间，其中，所述两气阀开启时所述主气室与两缓冲气室相连通，所述两气阀关闭时所述主气室与所述两缓冲气室相隔绝；以及两激光窗口元件，分别设置在所述激光管的所述两端部上并且分别位于所述两缓冲气室的外侧。透过所述气阀可在更换激光窗口元件时保留大部分的激光气体，降低准分子激光器的保养及维修成本及时间。CN108847568ACN108847568A权利要求书1/2页1.一种准分子激光器，其特征在于包括︰一激光管，其内形成有一腔室，在所述腔室内填充有一激光气体；两气阀，设置在所述激光管的腔室内并且分别邻近所述激光管的两端部，所述两气阀将腔室区隔为一主气室及两缓冲气室，所述主气室介于所述两气阀之间，各缓冲气室介于对应的各所述气阀及所述激光管各所述端部之间，其中，所述两气阀开启时所述主气室与两缓冲气室相连通，所述两气阀关闭时所述主气室与所述两缓冲气室相隔绝；以及两激光窗口元件，分别设置在所述激光管的所述两端部上并且分别位于所述两缓冲气室的外侧。2.如权利要求1所述的准分子激光器，其特征在于：所述激光管上设置有一第一进气口以及一第一排气口，所述第一进气口与所述第一排气口与所述主气室相连通。3.如权利要求2所述的准分子激光器，其特征在于：所述激光管上设置有两第二进气口以及两第二排气口，所述第二进气口分别与所述两缓冲气室相连通，所述第二排气口亦分别与所述两缓冲气室相连通。4.如权利要求1至3中任一项目所述的准分子激光器，其特征在于：各所述气阀为一球阀，所述球阀具有一球槽及一球体，所述球槽固定在所述激光管的腔室内，在所述球槽内形成有一容置空间，在所述球槽两端分别形成一开口，两开口与所述容置空间相连通且分别与所述主气室及其中一缓冲气室相连通，所述球体可旋转地设置在所述容置空间内，在所述球体上贯穿形成一阀孔，其中所述球体转动到使所述阀孔与所述两开口大致对齐时，所述主气室与所述两缓冲气室相连通。5.如权利要求4所述的准分子激光器，其特征在于：所述所述球阀包括一操作元件，所述操作元件固定在所述球体上，并自所述球体向外突出贯穿所述球槽及所述激光管而延伸至所述激光管外部。6.一种准分子激光器的激光窗口元件更换方法，其特征在于包括：一提供步骤，包括提供一准分子激光器，所述准分子激光器包括：一激光管，其内形成有一腔室，在所述腔室内填充有一激光气体；两气阀，设置在所述激光管的腔室内并且分别邻近所述激光管的两端部，所述两气阀将腔室区隔为一主气室及两缓冲气室，所述主气室介于所述两气阀之间，各缓冲气室介于对应的各所述气阀及所述激光管各所述端部之间；以及两激光窗口元件，分别设置在所述激光管的所述两端部上并且分别位于所述两缓冲气室的外侧；一气阀关闭步骤，包括关闭所述两气阀使所述主气室与所述两缓冲气室相隔绝；一局部气体抽除步骤，包括抽除所述两缓冲气室内的激光气体；一激光窗口元件卸除步骤，包括卸除所述两激光窗口元件；一激光窗口元件安装步骤，包括在所述激光管两端部上重新安装两新的激光窗口元件；一激光气体填充步骤，包括对所述两缓冲气室填充激光气体；以及一气阀开启步骤，包括开启所述两气阀使所述主气室与所述两缓冲气室重新连通。7.如权利要求6所述的准分子激光器的激光窗口元件更换方法，其特征在于：在所述激光窗口元件卸除步骤中，先对所述激光管两端部进行清洗，接着对所述两缓冲气室填充缓冲气体达大气压后，才将所述两激光窗口元件卸除。2CN108847568A权利要求书2/2页8.如权利要求6或7所述的准分子激光器的激光窗口元件更换方法，其特征在于：在所述激光窗口元件安装步骤中，在安装好所述两新的激光窗口元件之后，抽除所述两缓冲气室内的缓冲气体，再清洗所述两缓冲气室。3CN108847568A说明书1/5页准分子激光器及其激