液体过滤器润湿方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108854556A(43)申请公布日2018.11.23(21)申请号201810470203.5B01D63/14(2006.01)(22)申请日2018.05.16B01D65/00(2006.01)B01D65/02(2006.01)(30)优先权数据62/506,9182017.05.16US15/661,5512017.07.27US(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人姜浩英安东·德维利耶科里·莱姆利(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人蔡胜有苏虹(51)Int.Cl.B01D63/06(2006.01)B01D63/10(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称液体过滤器润湿方法(57)摘要公开了一种润湿用于处理半导体制造中使用的液体溶剂的筒式过滤器的方法。在该方法中，将具有空隙空间的筒式过滤器连接至吹扫气体源，其中空隙空间包含来自用于制造筒式过滤器的制造工艺的残留气体。使吹扫气体流过筒式过滤器以至少部分地置换来自用于制造筒式过滤器的制造工艺的残留气体的至少一部分。接着，将液体溶剂泵送通过筒式过滤器，使得吹扫气体溶解到液体溶剂中并且至少部分地填充空隙空间，从而用液体溶剂至少部分地润湿筒式过滤器。CN108854556ACN108854556A权利要求书1/2页1.一种润湿用于处理在半导体制造中使用的液体溶剂的筒式过滤器的方法，包括：提供具有空隙空间的筒式过滤器，其中所述空隙空间包含来自用于制造所述筒式过滤器的制造工艺的残留气体；使吹扫气体流过所述筒式过滤器以至少部分地置换来自用于制造所述筒式过滤器的制造工艺的所述残留气体的至少一部分；将所述液体溶剂泵送通过所述筒式过滤器，使得所述吹扫气体溶解到所述液体溶剂中，以及至少部分地填充所述空隙空间。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述吹扫气体为具有一个或更多个碳原子的有机非极性气体。3.根据权利要求1所述的方法，其中使所述吹扫气体流过所述筒式过滤器直至所述残留气体的至少50％被置换。4.根据权利要求1所述的方法，其中使所述液体溶剂以0.1L/分钟至12L/分钟的流量流过所述筒式过滤器。5.根据权利要求1所述的方法，其中使所述气体在10摄氏度至50摄氏度的温度下流过所述筒式过滤器。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述筒式过滤器中的过滤器由尼龙或聚四氟乙烯制成。7.根据权利要求1所述的方法，其中与在不预先使所述吹扫气体流过所述筒式过滤器的情况下将液体溶剂泵送通过所述筒式过滤器的方法相比，所述方法减少了用所述液体溶剂完全润湿透所述筒式过滤器的时间。8.根据权利要求1所述的方法，其中所述液体溶剂为光致抗蚀剂流体，所述光致抗蚀剂流体流过所述筒式过滤器直至没有气泡离开所述筒式过滤器。9.根据权利要求1所述的方法，其中液体溶剂为水性溶剂或醇。10.根据权利要求1所述的方法，其中所述吹扫气体为非极性有机气体。11.根据权利要求1所述的方法，其中所述吹扫气体为二氧化碳、氨或挥发性胺。12.根据权利要求1所述的方法，其中所述吹扫气体为甲烷、乙烷、丙烷、丁烷或氟化乙烯。13.根据权利要求1所述的方法，其中所述液体溶剂为光致抗蚀剂流体。14.根据权利要求1所述的方法，其中所述液体溶剂流过所述筒式过滤器直至没有气泡离开所述筒式过滤器。15.根据权利要求1所述的方法，其中所述吹扫气体的纯度为至少99％。16.根据权利要求1所述的方法，其中在液体溶剂已润湿透所述筒式过滤器之后，将所述筒式过滤器从液体溶剂源断开。17.根据权利要求1所述的方法，其中所述吹扫气体为乙烷、丙烷、丁烷或其组合。18.根据权利要求1所述的方法，其中所述吹扫气体为四氟乙烷、四氟甲烷、二氟乙烷或其组合。19.根据权利要求1所述的方法，其中在使吹扫气体流过所述筒式过滤器之前将所述筒式过滤器连接至所述吹扫气体的源。20.根据权利要求1所述的方法，其中在将液体溶剂泵送通过所述筒式过滤器之前将所2CN108854556A权利要求书2/2页述筒式过滤器连接至所述液体溶剂的源。3CN108854556A说明书1/7页液体过滤器润湿方法技术领域[0001]本发明涉及一种润湿用于过滤在半导体装置制造中使用的液体溶剂(例如光致抗蚀剂流体)的筒式过滤器(filtercartridge)的方法。更具体地，本发明涉及气体的以下用途：在使液体溶剂流入筒式过滤器之前使气体流过筒式过滤器以吹扫残留气体并移动到过滤器中的空隙空间中，从而与在不使吹扫气体流过筒式过滤器的情况下使液体溶剂流过筒式过滤器相比，加速液体溶剂对筒式过滤器的润湿。背景技术[0002]目前，在半导体装置的生产中普遍使用诸如光致抗蚀剂流体的液