晶粒移转装置.pdf
一吃****仪凡
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相关资料
晶粒移转装置.pdf
本发明涉及一种晶粒移转装置,包含第一移转机构、第二移转机构及影像撷取构件,第一移转机构的第一移转构件沿第一旋转路径而旋转,第二移转构件与第一移转构件在对接位置以对接的方式分别持取目标晶粒的相反两面而移转目标晶粒,其中第二移转机构形成有保留空间,保留空间为第二移转构件移动所形成的轨迹的未通过区域,影像撷取构件设置于保留空间中且位于对接中心线上,经设置而撷取第二移转构件对接于第一移转构件后的晶粒位置影像,以供第一移转构件置晶前定位补偿使用。
晶粒去除装置及晶粒去除方法.pdf
本发明公开了一种晶粒去除装置,适于去除载板上预定去除的至少一晶粒。此晶粒去除装置包括载台、光源、光罩以及移动机构。载台适于承载载板。光源适于提供光束。光罩配置于载台与光源之间,光罩具有多个图案单元,每一个图案单元具有至少一个透光图案,每一个透光图案对应于一个晶粒,且图案单元的透光图案的排列方式不同。移动机构连接光罩,并适于移动光罩使光束通过一个图案单元而照射于预定去除的至少一个晶粒。本发明另提出一种晶粒去除方法。
晶粒分离装置.pdf
本发明涉及集成电路芯片处理技术领域,公开了一种晶粒分离装置,包括机座、凸轮和顶针,凸轮设置在机座内,凸轮由步进电机提供动力,顶针设置在机座的顶端,顶针的针尖面积小于待分离晶粒的面积,顶针与凸轮之间通过一个连杆相连接,在机座内设置一个弹簧座,在连杆与弹簧座之间设置一个推力弹簧,连杆通过推力弹簧使其产生一个向上推动顶针的顶力,凸轮的侧边开有凸轮槽,在凸轮槽内设置随动器,连杆的下端可转动连接在随动器上。本发明利用力限位和形限位相结合的办法以及MOS管加热的方法,使晶粒的分离实现了高速化和高效率化。
一种重物移转装置.pdf
一种重物移转装置,包括底座、竖杆、升降电机、螺杆、大螺帽、平移电机、蜗杆、蜗轮、齿轮、齿条、移动板、下滚轮、上滚轮、上托板、下托板、中托板、垫块、电瓶、开关箱等。开关箱上的倒顺开关、升降开关和平移开关能控制启动、结束、上升模式、下降模式。上升时启动升降电机带动螺杆旋转,重物放在上托板上升起,升到上一个台阶时停止,启动平移开关,平移电机通过蜗杆带动蜗轮、齿轮、齿条平移,齿条带动移动板平移,将重物向前移动,移到上一个台阶面停止,然后上另一个台阶。下降时程序相反,这样循环,重物就能一节一节台阶上升或下降。无论是
半导体装置、半导体晶粒、和制造半导体晶粒的方法.pdf
一种半导体装置、半导体晶粒、和制造半导体晶粒的方法,半导体装置包含:一源极、和在第一方向与源极分隔开的漏极。通道层设置于在正交于第一方向的第二方向在源极和漏极的径向外表面上。记忆体层设置在通道层的径向外表面上。导孔设置在漏极的轴向端处,并且配置为将漏极电性耦合到全域漏极线。导孔包含导孔基部和导孔侧壁,导孔基部在由第一方向和垂直于第一方向的第二方向所定义的平面中延伸,此导孔基部被构造为接触对应的全域漏极线,导孔侧壁从导孔基部的外周边缘朝向漏极延伸。导孔定义内腔,在此内腔之内设置漏极的轴向端的至少一部分。