一种典型内衬工件加工工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109014785A(43)申请公布日2018.12.18(21)申请号201810972508.6(22)申请日2018.08.24(71)申请人沈阳富创精密设备有限公司地址110000辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号(72)发明人赵强李婷(74)专利代理机构沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)21234代理人俞鲁江(51)Int.Cl.B23P15/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图3页(54)发明名称一种典型内衬工件加工工艺(57)摘要本发明是一种典型内衬工件加工工艺，应用于IC装备制造领域及其他反应腔内衬工件的机械制造领域。包括以下步骤：1)粗加工零件内外形单边余量2mm；2)预留工艺凸台作为辅助支撑，并在凸台上加工螺纹及定位销孔；3)使用工装装夹，精加工零件；4)精加工时采用短刃缩径刀具加工侧壁避免振刀。采用零点定位工装底座及侧顶、反把工装，完成零件正反面及预留的工艺凸台、工艺孔加工，装夹简单快速，定位误差小，加工效率高，在普通三轴机床即可完成零件加工。利用反把工装预留凸台、工件大面及工艺孔装夹零件，增加零件的支撑面及零件的装夹刚性，大大减小了零件加工中的震刀、变形等异常风险。CN109014785ACN109014785A权利要求书1/1页1.一种典型内衬工件加工工艺，其特征在于：包括以下步骤：1)粗加工零件内外形单边余量2mm；2)预留工艺凸台作为辅助支撑，并在凸台上加工螺纹及定位销孔；3)使用工装装夹，精加工零件；4)精加工时采用短刃缩径刀具加工侧壁避免振刀。2.如权利要求1所述一种典型内衬工件加工工艺，其特征在于：步骤1)中零件粗加工2mm，保证零件壁厚，防止精加工余量不足，加强零件稳定性。3.如权利要求1所述一种典型内衬工件加工工艺，其特征在于：步骤2)中因零件为壳体零件，无适合装夹位置，预留工艺凸台便于精加工装夹，并作为辅助支撑，增大零件的支撑面及夹压面积，受力均匀，减小零件变形。4.如权利要求1所述一种典型内衬工件加工工艺，其特征在于：步骤3)中使用8-M8螺栓反把工件在工装上，并用2-Φ8销子定位，保证零件定位精度。5.如权利要求1所述一种典型内衬工件加工工艺，其特征在于：步骤4)中因零件壁薄，刀具不宜采用过大直径，且刀具刃口要锋利，减小切削力，且侧壁普遍较高，选择短刃缩径刀具增加刀具刚性，避免振刀。2CN109014785A说明书1/2页一种典型内衬工件加工工艺技术领域[0001]本专利属于IC装备及精密零部件制造领域，特别是涉及一种典型内衬工件加工工艺。适用于IC装备反应腔内衬零件加工，及其他行业薄壁零件加工。背景技术[0002]随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于IC装备的需求量也日益增加。本发明中的内衬类零件，因其外形大，且薄壁腔深，尺寸精度、形状、位置精度、表面粗糙度要求高，加工中易变形，已成为IC装备零部件较难加工零件之一。发明内容[0003]针对上述存在的问题，本发明的目的是提供一种内衬零件的加工工艺，适用于类似内衬零件的加工，加工效率高，零件质量稳定。[0004]本发明的目的是通过如下技术方案实现的：[0005]一种典型内衬工件加工工艺，包括以下步骤：[0006]1)粗加工零件内外形单边余量2mm；[0007]2)预留工艺凸台作为辅助支撑，并在凸台上加工螺纹及定位销孔；[0008]3)使用工装装夹，精加工零件；[0009]4)精加工时采用短刃缩径刀具加工侧壁避免振刀。[0010]步骤1)中零件粗加工2mm，保证零件壁厚，防止精加工余量不足，加强零件稳定性。[0011]步骤2)中因零件为壳体零件，无适合装夹位置，预留工艺凸台便于精加工装夹，并作为辅助支撑，增大零件的支撑面及夹压面积，受力均匀，减小零件变形。[0012]步骤3)中使用8-M8螺栓反把工件在工装上，并用2-Φ8销子定位，保证零件定位精度。[0013]步骤4)中因零件壁薄，刀具不宜采用过大直径，且刀具刃口要锋利，减小切削力，且侧壁普遍较高，选择短刃缩径刀具增加刀具刚性，避免振刀。[0014]本发明的有益效果是：[0015]1、采用零点定位工装底座及侧顶、反把工装，完成零件正反面及预留的工艺凸台、工艺孔加工，装夹简单快速，定位误差小，加工效率高，在普通三轴机床即可完成零件加工[0016]2、利用反把工装预留凸台、工件大面及工艺孔装夹零件，增加零件的支撑面及零件的装夹刚性，大大减小了零件加工中的震刀、变形等异常风险，明显提高加工效率及加工质量，且反把工装结构简单，操作方便，对整体的锁紧工作技术要求低，有效的降低了对操作工人的要求，可在类似零件中推广使用。附图说明[0017]图1是内衬零件结构图。[0018]图2是粗