一种用于LED蓝宝石衬底的固定装置.pdf
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一种用于LED蓝宝石衬底的固定装置.pdf
本发明涉及蓝宝石加工技术领域,尤其是一种用于LED蓝宝石衬底的固定装置,包括固定座,所述固定座的底部设置有支架,所述固定座的外壁中部开设有预留空腔,所述预留空腔中设置有安装板,所述安装板上穿插设有第一电动缸,所述第一电动缸中滑动设有第一动力杆,所述第一动力杆远离第一电动缸的一端固定连接安装座,所述安装座的上端面固定安装有吸盘,所述吸盘的外壁连接有气管,所述气管与外部气泵连通,所述固定座的上端面开设有安装槽,所述安装槽的外壁连接有弹簧,该用于LED蓝宝石衬底的固定装置实现了对蓝宝石衬底两面进行固定,对比现有
LED用蓝宝石衬底介绍.ppt
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蓝宝石LED衬底市场状况分析.doc
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一种LED蓝宝石衬底的自动装片装置.pdf
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蓝宝石衬底LED芯片的切割方法.pdf
本发明公开了一种蓝宝石衬底LED芯片的切割方法,该方法包括划片槽光刻;两步感应耦合等离子体干法刻蚀分别对氮化镓和蓝宝石衬底进行刻蚀,形成划片槽;以及去除剩余的光刻胶,并对所述LED芯片进行清洗;从而避免了在划片过程中造成划片槽侧壁步平整及损伤,并且在划片槽内没有残留微粒,从而不会影响LED芯片的发光效率。