一种激光共焦拉曼光谱仪及其光路处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109916875A(43)申请公布日2019.06.21(21)申请号201711325786.4(22)申请日2017.12.13(71)申请人安菲克斯（北京）仪器有限公司地址101118北京市通州区宋庄镇小堡北街19号(72)发明人周泽锋孔祥宏(51)Int.Cl.G01N21/65(2006.01)G01J3/44(2006.01)G01J3/02(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称一种激光共焦拉曼光谱仪及其光路处理方法(57)摘要本发明公开了一种激光共焦拉曼光谱仪，包括：激光器、激光传输装置、边缘滤光片装置、显微装置、信号共焦装置和光谱检测装置，所述激光器发出的激光经由所述激光传输装置到达所述边缘滤光片装置，被所述边缘滤光片装置反射至显微装置，激光经由所述显微装置的物镜照射到被测物质，被测物质被激光激发后产生的拉曼信号和瑞利散射光被所述显微装置的物镜收集并传至所述边缘滤光片装置，由所述边缘滤光片装置滤除瑞利散射光后仅留下拉曼信号，所述拉曼信号经所述信号共焦装置到达光谱检测装置最终形成拉曼光谱。本发明激光共焦拉曼光谱仪可有效的抑制光学系统中的杂散光，拉曼光谱仪尺寸小、成本低、性能稳定。CN109916875ACN109916875A权利要求书1/1页1.一种激光共焦拉曼光谱仪，包括：激光器、激光传输装置、边缘滤光片装置、显微装置、信号共焦装置和光谱检测装置，所述激光器发出的激光经由所述激光传输装置到达所述边缘滤光片装置，被所述边缘滤光片装置反射至显微装置，激光经由所述显微装置的物镜照射到被测物质，被测物质被激光激发后产生的拉曼信号和瑞利散射光被所述显微装置的物镜收集并传至所述边缘滤光片装置，由所述边缘滤光片装置滤除瑞利散射光后仅留下拉曼信号，所述拉曼信号经所述信号共焦装置到达光谱检测装置最终形成拉曼光谱。2.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述激光器通过激光器固定装置固定在底板的上表面；所述激光固定装置包括挡光板，所述挡光板位于所述激光器的前端，其上开有可使激光通过的通光孔。3.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述激光传输装置包括激光光束处理装置、激光滤光片、激光衰减装置和第一反射镜。4.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述激光光束处理装置位于所述挡光板的另一侧，与所述通光孔同光轴设置；和/或所述激光滤光片位于所述激光光束处理装置的另一侧。5.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述激光衰减装置包括衰减片、激光挡板、步进电机、旋转齿轮、衰减片固定件和滚珠式轴承。6.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述边缘滤光片装置包括边缘滤光片、边缘滤光片固定件、锁紧固定件和边缘滤光片微调工件。7.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述滤光片装置包括至少一个边缘滤光片。8.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述信号共焦装置包括共焦孔、第三反射镜和光栅。9.根据权利要求1所述的激光共焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述信号共焦装置还包括设置于所述边缘滤光片装置和共焦孔之间的透镜。10.一种激光共焦拉曼光谱仪的光路处理方法，包括如下步骤：S1激光器发出激光，通过挡光板上的通光孔进入激光传输装置；S2激光经由激光传输装置过滤后由第一反射镜反射至激光衰减装置衰减，获得检测被测物所需的激光强度；S3衰减后的激光到达边缘滤光片装置，由边缘滤光片反射至第二反射镜，再由第二反射镜反射后透过显微装置的物镜照射到被测物质上；S4被测物质被激光激发后产生的拉曼信号和瑞利散射光被物镜收集并传至边缘滤光片装置，由边缘滤光片滤除瑞利散射光后仅留下拉曼信号，该拉曼信号进入信号共焦装置；S5拉曼信号被透镜聚焦至共焦孔上，然后再被第三反射镜反射至光栅处分光，最后到达光谱检测装置将拉曼信号形成光谱。2CN109916875A说明书1/6页一种激光共焦拉曼光谱仪及其光路处理方法技术领域[0001]本发明涉及一种拉曼光谱仪及其光路处理方法，属于光谱检测领域。背景技术[0002]激光共焦拉曼光谱是用来分析物质组分、结构等的一种有效光谱分析手段，其原理是入射激光会引起分子(或晶格)产生振动而损失(或获得)部分能量，致使散射光频率发生变化，对散射光的分析即拉曼光谱分析，可以探知分子的组分，结构及相对含量等，因此被广泛成为分子探针技术。目前拉曼光谱已成为现代材料结构分析的基本技术手段。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种激光共焦拉曼光谱仪，以及该激光共焦拉曼光谱仪的光路处理方法，本发明的激光共焦拉曼光谱仪尺寸小，利用本发明提供的激光共焦拉曼光谱