具有改进的接触结构的电致发光显示装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110391278A(43)申请公布日2019.10.29(21)申请号201910315847.1(22)申请日2019.04.18(30)优先权数据10-2018-00456972018.04.19KR(71)申请人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人朴相武李锡贤丁元俊(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人蔡胜有谭天(51)Int.Cl.H01L27/32(2006.01)权利要求书3页说明书19页附图10页(54)发明名称具有改进的接触结构的电致发光显示装置(57)摘要在根据本公开的实施方案的具有改进的接触结构的电致发光显示装置中，两个接触孔集成为一个以形成尺寸(或面积)大于接触面积的接触孔。另外，在由接触孔露出的数据线之间的台阶处形成有包括有源层的虚设图案以去除台阶。因此，可以设计像素而不限制接触孔的尺寸。因此，可以增加接触孔的尺寸，这使得易于应用半色调掩模，因此可以减少掩模。此外，增加了设计像素时金属的自由度。因此，可以设计用于高分辨率模型的像素。此外，不需要电极的余量，因此，可以增加开口率。此外，当上导电层被图案化时，在数据线之间不存在由台阶引起的残留光致抗蚀剂层。因此，可以抑制短路缺陷的发生。CN110391278ACN110391278A权利要求书1/3页1.一种电致发光显示装置，包括：沿第一方向设置在基板上的数据线；设置在所述数据线上的第一绝缘层；设置在所述第一绝缘层上的有源层；沿与所述第一方向交叉的第二方向设置在所述第一绝缘层上方的栅极线，在所述栅极线与所述第一绝缘层之间插设有至少第二绝缘层，并且所述栅极线与所述数据线一起限定像素区域；设置在所述有源层上方的栅电极，所述第二绝缘层插设在所述栅电极与所述有源层之间；设置在所述栅电极和所述栅极线上的第三绝缘层；设置在所述第三绝缘层上的源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极连接至所述有源层；设置在相邻像素区域的两条数据线之间的接触孔，所述接触孔使所述源电极和所述数据线由于所述第一绝缘层和所述第三绝缘层被去除而电连接；以及设置在所述两条数据线之间的虚设图案，所述虚设图案包括所述第一绝缘层和作为所述有源层的半导体层，其中所述接触孔具有大于源电极和数据线之间的接触面积的面积。2.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，还包括：设置在所述源电极和所述漏电极上的第四绝缘层；以及设置在所述像素区域的发光单元中的在所述第四绝缘层上的发光器件。3.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，其中所述接触孔露出每条数据线的部分上表面、每条数据线的侧表面和所述基板的在所述两条数据线之间的上表面。4.根据权利要求3所述的电致发光显示装置，其中与所述每条数据线对应的源电极电连接至所述每条数据线的露出的部分上表面。5.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，其中所述虚设图案包括由所述半导体层制成的第一虚设图案和在所述第一虚设图案上的由所述第一绝缘层制成的第二虚设图案。6.根据权利要求5所述的电致发光显示装置，其中所述第一虚设图案用作使对所述第二虚设图案的蚀刻停止的蚀刻停止层。7.根据权利要求5所述的电致发光显示装置，其中所述第一虚设图案具有与至少所述源电极相比相同的或更大的宽度。8.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，其中所述虚设图案进一步覆盖所述数据线的部分上表面。9.一种电致发光显示装置，包括：数据线和栅极线，所述数据线和所述栅极线彼此交叉设置在基板上并限定像素区域；设置在所述数据线上的第一绝缘层；设置在所述第一绝缘层上的有源层；设置在所述有源层上方的栅电极，在所述栅电极与所述有源层之间插设有第二绝缘层；设置在所述栅电极和所述栅极线上的第三绝缘层；2CN110391278A权利要求书2/3页设置在所述第三绝缘层上的源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极连接至所述有源层；设置在相邻像素区域的两条数据线之间的接触孔，所述接触孔使所述源电极和所述数据线由于所述第一绝缘层和所述第三绝缘层被去除而电连接；以及设置在所述两条数据线之间的虚设图案，所述虚设图案包括所述第一绝缘层和作为所述有源层的半导体层以使所述两条数据线之间的台阶平坦化。10.根据权利要求9所述的电致发光显示装置，其中所述接触孔具有大于所述源电极和所述数据线之间的接触面积的面积。11.根据权利要求9所述的电致发光显示装置，其中所述数据线沿第一方向设置在所述基板上，以及所述栅极线沿与所述第一方向交叉的第二方向设置在所述第一绝缘层上方，在所述栅极线与所述第一绝缘层之间插设有至少所述第二绝缘层。12.根据权利要求9所述的电致发光显示装置，其中所述接触孔露出每条数据线的部分上表面、每条数据线的侧表面和所述基板在所述两条数据线之间的上表面。1