铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110438472A(43)申请公布日2019.11.12(21)申请号201910564625.3H01L27/12(2006.01)(22)申请日2019.06.27(71)申请人惠科股份有限公司地址518000广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋，九州阳光1号厂房5、7楼申请人滁州惠科光电科技有限公司(72)发明人夏玉明卓恩宗(74)专利代理机构深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)44240代理人吴国城(51)Int.Cl.C23C16/40(2006.01)C23C16/455(2006.01)H01L29/786(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板(57)摘要本申请公开了一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板，在原子层沉积装置中持续通入预设时间的锌前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；持续通入预设时间的镓前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；持续通入预设时间的铟前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；重复预设次数上述的步骤以形成铟镓锌氧化物薄膜。CN110438472ACN110438472A权利要求书1/2页1.一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，包括：形成氧化锌层的步骤：在原子层沉积装置中持续通入预设时间的锌前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；形成氧化镓层的步骤：在原子层沉积装置中持续通入预设时间的镓前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；形成氧化铟层的步骤：在原子层沉积装置中持续通入预设时间的铟前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，持续通入预设时间的氧前驱体，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫；以及重复预设次数的形成氧化锌层的步骤、形成氧化镓层的步骤和形成氧化铟层的步骤以形成铟镓锌氧化物薄膜。2.如权利要求1所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述锌前驱体包括二甲基锌、二乙基锌和氯化锌的至少一种，所述镓前驱体包括三甲基镓、三甲胺基镓、二甲胺基镓和氯化镓的至少一种，所述铟前驱体包括三甲基铟、环戊二烯铟和氯化铟的至少一种，所述氧前驱体包括水、臭氧和氧气中的至少一种；所述惰性气体包括氩气和氦气的至少一种。3.如权利要求2所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述二甲基锌、三甲基镓、三甲基铟和水的持续通入预设时间均在0.01秒至0.2秒之间；所述二甲基锌、三甲基镓、三甲基铟和水通入的速率在5标准毫升/分钟至30标准毫升/分钟之间。4.如权利要求2所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述二甲基锌、三甲基镓、三甲基铟和水的停留预设时间均在2秒至20秒之间。5.如权利要求3所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述二甲基锌的通入预设时间设置为0.02s；所述三甲基镓的通入预设时间设置为0.03s；所述三甲基铟的通入预设时间设置为0.02s；所述水的通入预设时间设置为0.02s。6.如权利要求4所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述二甲基锌的停留预设时间、所述三甲基镓的停留预设时间、所述三甲基铟的停留预设时间、所述水的停留预设时间均设置为5s。7.如权利要求2所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，所述原子层沉积装置的预设工作温度在150摄氏度至250摄氏度之间。8.如权利要求2所述的一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法，其特征在于，包括：所述形成氧化锌层的步骤包括：在原子层沉积装置中通入0.02秒的二甲基锌，停留5秒的时间，通入10秒时间的惰性气体吹扫，通入0.02秒的液态水，停留5秒的时间，通入5秒时间的惰性气体吹扫；所述形成氧化镓层的步骤包括：在原子层沉积装置中通入0.03秒的三甲基镓，停留5秒的时间，通入10秒时间的惰性气体吹扫，通入0.02秒的液态水，停留5秒的时间，通入5秒时间的惰性气体吹扫；所述形成氧化铟层的步骤包括：在原子层沉积装置中通入0.02秒的三甲基铟，停留5秒的时间，通入10秒时间的惰性气体吹扫，通入0.02秒的液态水，停留5秒的时间，通入5秒时2CN110438472A权利要求书2/