感光性树脂组合物、光固化图案及图像显示装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110471255A(43)申请公布日2019.11.19(21)申请号201810444442.3(22)申请日2018.05.10(71)申请人东友精细化工有限公司地址韩国全罗北道(72)发明人崔硕均曺伯铉(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人金鲜英宋海花(51)Int.Cl.G03F7/004(2006.01)G03F7/027(2006.01)G03F7/09(2006.01)权利要求书1页说明书11页附图1页(54)发明名称感光性树脂组合物、光固化图案及图像显示装置(57)摘要本发明提供感光性树脂组合物、光固化图案及图像显示装置，更详细而言，上述感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂及溶剂，上述光聚合引发剂包含特定结构的化合物，从而在低温固化时显示出优异的反应性，由上述感光性树脂组合物制造的图案具有优异的耐化学性、耐热性等良好的耐久性，且在具有优异的基板密合力和留膜率的同时灵敏度也优异。CN110471255ACN110471255A权利要求书1/1页1.一种感光性树脂组合物，其包含碱溶性树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂及溶剂，所述光聚合引发剂包含下述化学式1所表示的化合物，化学式1化学式1中，A为硝基或氰基，R1或R2各自独立地为碳原子数1～20的烷基，R3为碳原子数1～20的烷基、碳原子数6～20的芳基或碳原子数3～20的环烷基，R4为位于邻位、间位或对位的下述化学式2所表示的取代基，化学式2化学式2中，*为结合部，R5、R6或R7各自独立地为碳原子数1～3的烷基。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述光聚合引发剂还包含选自由苯乙酮系化合物和联咪唑系化合物组成的组中的至少一种。3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，所述光聚合引发剂以1:9～9:1的摩尔比包含所述苯乙酮系化合物和联咪唑系化合物。4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，相对于所述光聚合引发剂100重量份，所述光聚合引发剂以20～90重量份包含所述化学式1所表示的化合物。5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，相对于所述感光性树脂组合物的固体成分100重量份，所述光聚合引发剂的含量为0.1～10重量份。6.一种光固化图案，其由权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物制造。7.根据权利要求6所述的光固化图案，所述光固化图案选自由阵列平坦化膜图案、保护膜图案、绝缘膜图案、光致抗蚀剂图案、黑矩阵图案和间隔物图案组成的组。8.一种图像显示装置，其包含权利要求6所述的光固化图案。2CN110471255A说明书1/11页感光性树脂组合物、光固化图案及图像显示装置技术领域[0001]本发明涉及感光性树脂组合物及由其形成的光固化图案。更详细而言，涉及包含光聚合引发剂的感光性树脂组合物及由该感光性树脂组合物形成的光固化图案及图像显示装置。背景技术[0002]在显示器领域中，感光性树脂组合物用于形成光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑矩阵、柱间隔物(columnspacer)等多种多样的光固化图案。具体而言，可以将感光性树脂组合物通过光刻工序选择性地曝光和显影而形成所希望的光固化图案，为了在该过程中提高工序上的收率且提高适用对象的物性，需要具有高灵敏度的感光性树脂组合物。[0003]感光性树脂组合物的图案形成基于通过光刻、即光反应而发生的高分子的极性变化及交联反应。特别是，利用曝光后对于碱性水溶液等溶剂的溶解性的变化特性。[0004]利用感光性树脂组合物的图案形成根据经感光的部分在显影时的溶解度分为正型和负型。正型光致抗蚀剂是经曝光的部分在显影液中发生溶解，负型光致抗蚀剂是经曝光的部分在显影液中不溶解、未经曝光的部分发生溶解而形成图案的方式，正型和负型所使用的粘合剂树脂、交联剂等彼此不同。[0005]如果由感光性树脂组合物形成的涂膜或图案与基材的密合性差，则例如在将涂布感光性树脂组合物而形成的抗蚀剂膜进行图案曝光而显影时，可能发生所形成的抗蚀剂图案的破坏或剥离，且在蚀刻时也发生图案破坏或剥离等问题从而量产工艺中的制品收率会降低。此外，随着应用上述感光性树脂组合物的显示装置小型化，为了形成微细线宽的光固化图案，要求提高曝光工序的分辨率。[0006]例如，韩国注册专利第10-1302508号公开了包含使用丙烯酸环己酯系单体而聚合的共聚物的负型感光性树脂组合物。[0007]现有技术文献[0008]专利文献[0009]韩国注册专利第10-1302508号发明内容[0010]所要解决的课题[0011]本发明的一个课题是提供具有优异的基板密合力和留膜率并且能够实现高灵敏度的光固化图案的感光性树脂组合物。[0012]此外，本发明的一个课题是提供由上