一种生长碲锌镉用石英管清洗工艺.pdf
一吃****新冬
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一种生长碲锌镉用石英管清洗工艺.pdf
本发明公开了一种生长碲锌镉用石英管清洗工艺,先采用磨砂纸对石英管进行磨刷,然后采用溴甲醇溶液对反应残留物进行腐蚀,同时结合超声进行处理,超声的机械作用和空化作用,提升溴甲醇的对反应残留物的侵蚀,提高清洗速率,最后采用氢氧化钠超声处理,为了缓冲石英表面的粗糙度,保证最后清洗的光滑度,整个方法,操作简单,且避免了氢氟酸的使用,采用超声,降低了化学试剂的使用,同时提高了清洗效率。
一种碲锌镉单晶炉及碲锌镉单晶的生长工艺.pdf
一种碲锌镉单晶炉,包括炉体,炉体内设有石英安瓿,石英安瓿中设有氮化硼坩埚,炉体外部设有激磁线圈,石英安瓿下方设有导热装置,炉体相对于垂直方向倾斜3°‑15°。一种碲锌镉单晶的生长工艺,包括以下步骤:选用Cd
一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺.pdf
本发明公开了一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺,设有炉体和加热电源,在炉膛内设有石英管,石英管内设有坩锅,坩锅内下部设有籽晶腔,在石英管下方设有支撑架,炉膛的上下两端设有密封堵头,所述炉体的炉膛内从下到上依次设有九个加热区;每个加热区设有与电源柜连通的电极和电缆、自控开关,还设有温控系统。本发明适用于碲锌镉单晶的生长,省去了机械运动,形成无震动生长环境,分区灵活地控制生长温度,大大缩短了升温化料和接籽晶的时间,提高了单晶的质量和生产效率。而且整机结构紧凑,占地面积小,减少设备成本,安装简单,并且程序化控
一种碲锌镉晶体的生长方法.pdf
本发明提供一种碲锌镉晶体的生长方法,包括:将装料的石英坩埚置于提拉炉中,原料熔融得到碲、锌和镉的混合熔体,将碲锌镉籽晶接触混合熔体,向上提拉生长碲锌镉单晶。该方法能获得低位错碲锌镉单晶,单晶比例较高,双晶衍射半峰宽较小、微沉淀相较少、电阻率较高、位错腐蚀坑密度较小和漏电流较小。
一种碲锌镉晶片的抛光工艺.pdf
一种碲锌镉晶片的抛光工艺,包括以下步骤:研磨:选用磨砂膨化玻璃盘对碲锌镉晶体进行研磨;铣磨:铣磨机的磨轮旋转并去除晶片的表面损伤层,控制去除量为80μm‑150μm,表面粗糙度≤20nm,铣磨过程中在晶片和磨轮之间喷淋冷却水,加工完成后传递至抛光工序;化学机械抛光:将承载盘表面设置为由盘中间向盘圆周逐渐降低的倾斜形状,倾斜角度为2±0.5度,将碲锌镉晶片放置在承载盘上,化学机械抛光的过程中加入pH值为9‑11的抛光液,控制研磨头的转速为:3‑20r/min,压力为2‑10N/cm