一种高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110983259A(43)申请公布日2020.04.10(21)申请号201911293306.XC23C14/54(2006.01)(22)申请日2019.12.16(71)申请人嘉兴鹏翔包装材料有限公司地址314000浙江省嘉兴市桐乡市屠甸镇天才路198号(72)发明人曹赤鹏魏威孙丽霞张建平张伟政(74)专利代理机构嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)33253代理人廖银洪(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)C23C14/20(2006.01)C23C14/56(2006.01)C23C14/02(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图1页(54)发明名称一种高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)基材放卷；2)打开捕集泵；3)抽真空；4)加热蒸发舟；5)送铝丝；6)等离子处理；7)蒸镀；8)冷却；9)测厚；10)收卷。本发明的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜通过严格控制各步骤的工艺条件参数，将PET基膜的电晕面(表面张力达到58～60dyn/cm)留给后续与PE复合的工序，在PET基膜的非电晕面上进行镀铝，并在镀铝过程中运用等离子处理技术，得到反面镀铝的VMPET薄膜。CN110983259ACN110983259A权利要求书1/2页1.一种高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)基材放卷；2)打开捕集泵；当基材薄膜放卷后，关闭镀铝机的真空仓的仓体，在进行抽真空之前先打开捕集泵，通过捕集泵将镀铝机的真空仓内的水分凝结为冰；3)抽真空；将镀铝机的真空仓内抽真空并维持真空度为10-4mbar；4)加热蒸发舟；蒸发舟开始加热到正常蒸发这段时间原则上控制在12～16分钟。蒸发舟加热分4个阶段，每个阶段用时3～4分钟，功率分别为0～40％、40％～50％、50％～70％、70％～80％，同时，蒸发舟在第一次加热时要比平时正常加热提高不超过1伏的电压，待正常蒸镀后再将电压降下来；5)送铝丝；当放置在蒸发舟的舟槽内的铝丝融化后，开始调整每支舟的温度，直至将所有舟的温度调整到温度相差±0.1℃以内；6)等离子处理；通过氧气流量为200sccm～400sccm和氩气流量为800sccm～1200sccm混合，并控制电流强度为15A～20A以及等离子物质的纯度大于99.9％和等离子物质的流量为500sccm～1000sccm，薄膜在12m/s～14m/s的运行速度下，对基材薄膜表面进行处理；7)蒸镀；蒸镀时蒸发舟被固定在夹座上进行加热；正常生产时，蒸发舟的温度在1300～1400℃，并同时进行步骤5)将高纯度的铝线由输送电机连续送到蒸发舟上并被气化；8)冷却；边蒸镀边冷却，冷却温度在0～3℃；9)测厚；通过连续非接触测量薄膜金属镀层厚度系统测定方阻值，并根据设定的方阻值，计算方阻值的偏高或偏低，并及时根据方阻值的偏高或偏低调整铝层厚度；10)收卷；调节收卷张力，使薄膜铺展平整，不滑边，不暴筋。2.根据权利要求1所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)中，所述基材放卷为将基材薄膜按照真空镀铝所需的路径穿过各个导辊，进行连续放卷。3.根据权利要求2所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)中，所述基材薄膜为聚酯薄膜。4.根据权利要求2所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)中，所述基材薄膜为PET薄膜。5.根据权利要求1所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，根据权利要求1所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，步骤2)中，捕集泵的温度控制在-150±5℃。2CN110983259A权利要求书2/2页6.根据权利要求1所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，步骤3)中，所述抽真空过程分为三级，先是由机械泵进行初抽，然后罗茨泵工作，当真空仓内的真空度达到10-2mbar扩散泵打开，由扩散泵进一步提高并维持真空仓内的高真空度，即10-4mbar，以满足蒸镀生产的需要。7.根据权利要求1所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，步骤4)中，蒸发舟加热分4个阶段，每个阶段用时3.5分钟，功率分别为20％、45％、60％、75％，同时，蒸发舟在第一次加热时要比平时正常加热提高不超过1伏的电压，待正常蒸镀后再将电压降下来。8.根据权利要求1所述的高复合强度的反面镀铝VMPET薄膜的制备方法，其特征在于，步骤6)中，通过氧气