一种晶圆干燥设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111009483A(43)申请公布日2020.04.14(21)申请号201911333955.8(22)申请日2019.12.23(71)申请人泉州惠安泉创文化用品有限公司地址362100福建省泉州市惠安县螺阳镇洋坑村朝晖街86号(72)发明人乐美华(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种晶圆干燥设备(57)摘要本发明公开了一种晶圆干燥设备，其结构包括脚架、机箱、机盖、干燥结构、控制面板，脚架竖直安装于机箱下端四角，机盖水平安装于机箱上端，干燥结构贯穿于机盖，控制面板安装于机箱前端，干燥结构包括机架、上沿、内槽、喷气头、装夹架，上沿水平安装于机架上端并且相焊接，内槽贯穿于上沿并且设于机架内侧，喷气头环形安装于机架内侧，装夹架安装于机架内侧上端，本发明在机架内侧设置了装夹架，对晶圆进行二次不同部位的装夹，使装夹部位的水渍得到清除，提高了干燥效果，在电机连接有电路控制器件，使其更加智能的工作，来对晶圆进行装夹，更好的对装夹部位的水渍进行清除，防止造成晶圆表面水渍的残留。CN111009483ACN111009483A权利要求书1/1页1.一种晶圆干燥设备，其结构包括脚架(1)、机箱(2)、机盖(3)、干燥结构(4)、控制面板(5)，所述脚架(1)竖直安装于机箱(2)下端四角，所述机盖(3)水平安装于机箱(2)上端，所述干燥结构(4)贯穿于机盖(3)内侧，所述控制面板(5)安装于机箱(2)前端；其特征在于：所述干燥结构(4)包括机架(41)、上沿(42)、内槽(43)、喷气头(44)、装夹架(45)，所述上沿(42)水平安装于机架(41)上端，所述内槽(43)贯穿于上沿(42)内侧，所述喷气头(44)环形安装于机架(41)内侧，所述装夹架(45)安装于机架(41)内侧上端。2.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥设备，其特征在于：所述装夹架(45)包括旋转座(451)、伸缩架(452)、装夹结构(453)，所述伸缩架(452)竖直安装于旋转座(451)上端，所述装夹结构(453)水平安装于伸缩架(452)上端，所述伸缩架(452)之间镂空。3.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥设备，其特征在于：所述喷气头(44)设有多个并且分为两组分别向内侧倾斜对准装夹架(45)上端。4.根据权利要求2所述的一种晶圆干燥设备，其特征在于：所述装夹结构(453)包括安装盘(53a)、夹紧结构(53b)、装夹槽(53c)，所述夹紧结构(53b)嵌入安装于安装盘(53a)内侧，所述装夹槽(53c)设于安装盘(53a)内侧，所述装夹槽(53c)位于夹紧结构(53b)之间，所述夹紧结构(53b)设有四个并且两两组合。5.根据权利要求4所述的一种晶圆干燥设备，其特征在于：所述夹紧结构(53b)包括机头(b1)、螺杆(b2)、夹板(b3)，所述螺杆(b2)嵌入安装于机头(b1)内侧，所述夹板(b3)安装于螺杆(b2)右侧，所述机头(b1)内侧包括有电机(b11)及用于控制电机(b11)的电路控制器件(b12)，所述螺杆(b2)安装于电机(b11)右侧，所述电机(b11)与电路控制器件(b12)之间采用电连接。6.根据权利要求5所述的一种晶圆干燥设备，其特征在于：所述电路控制器件(b12)包括时间检测模块(12a)、微处理机控制单元(12b)、电机驱动模块(12c)，所述时间检测模块(12a)用于检测电机(b11)的旋转与停转时间，并在达到检测时间值后发出相应输出信号，所述微处理机控制单元(12b)用于接收时间检测模块(12a)发出的信号，并且发出相应的信号，所述电机驱动模块(12c)接收来自微处理机控制单元(12b)发出的控制电机正转、反转或者停转的信号驱动电机(b11)进行正转、反转或者停转。2CN111009483A说明书1/4页一种晶圆干燥设备技术领域[0001]本发明属于晶圆加工领域，具体涉及到一种晶圆干燥设备。背景技术[0002]晶圆是指圆形的硅晶片，可在其上加工成电路元件结构，而成为集成电路产品，由于晶圆在加工制作中，表面将会有灰尘等污渍附着在晶圆表面，使其在日后的电路工作中带来缺陷，故而在完成晶圆的加工后，需要对其进行清洗，而后再进行干燥，故而需要用到晶圆干燥设备，来清除晶圆表面的水渍，但是现有技术存在以下不足：[0003]由于晶圆为圆形物体，在进行甩干干燥过程中，需要对晶圆进行装夹，而完成清洗的晶圆表面留有水渍将在装夹过程中，晶圆的部分位置将与水渍一同被夹紧，进而在干燥过程中，无法对其装夹部位进行干燥，造成晶圆表面水渍的残留。[0004]以此本申请提出一种晶圆干燥设备，对上述缺陷进行改进。发明内容[00