一种摇摆式晶圆干燥设备及晶圆干燥方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115274492A(43)申请公布日2022.11.01(21)申请号202210713042.4(22)申请日2022.06.22(71)申请人江苏亚电科技有限公司地址225500江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号(72)发明人钱诚李刚霍召军(74)专利代理机构北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)11317专利代理师陈平(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种摇摆式晶圆干燥设备及晶圆干燥方法(57)摘要本申请涉及一种摇摆式晶圆干燥设备，包括：槽体，盖体和摇摆机构。摇摆机构包括：驱动件、滑动安装块和拱形滑动臂；所述滑动安装块向下方延伸形成延伸部，拱形滑动臂的第一支臂中间具有滑动槽，滑动安装块的延伸部上设置有位于滑动槽内的滑轮。驱动件带动滑动安装块在滑轨上运动，进而通过滑轮作用于滑动槽，进而使容纳座发生摆动。与现有技术相比，滑动安装块向下方延伸形成延伸部，延伸部上设置滑轮，能够使滑轮尽量远离滑动安装块的移动中线，从而使整个滑轮和滑动槽的配合点更低，提高摆动的幅度。CN115274492ACN115274492A权利要求书1/1页1.一种摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，包括：槽体(1)，用于容纳晶圆盒(9)，顶部具有开口，底部连通有通气管或者抽气管；盖体(2)，盖装在槽体(1)顶部的开口处；摇摆机构(3)，包括，具有水平滑轨的顶部安装板(31)，设置在顶部安装板上的驱动件(33)，滑动设置在水平滑轨上的能够在驱动件(33)驱动下沿水平滑轨移动的滑动安装块(34)，安装在滑动安装块(34)上的拱形滑动臂(32)，所述滑动安装块(34)向下方延伸形成延伸部，拱形滑动臂(32)越过槽体(1)的顶部并延伸到槽体(1)内形成位于槽体(1)外部的第一支臂和位于槽体(1)内部的第二支臂，第一支臂转动连接于转动安装座(35)上，第一支臂中间具有滑动槽(321)，所述滑动安装块(34)的延伸部上设置有位于滑动槽(321)内的滑轮(341)，第二支臂的底部安装有容纳座(36)。2.根据权利要求1所述的摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，所述盖体(2)顶部设置有气体管路(21)，气体管路(21)用于从槽体(1)顶部向槽体(1)内通气或者抽气。3.根据权利要求1或2所述的摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，所述容纳座(36)，用于容纳晶圆盒(9)，包括用于对晶圆盒的两侧分别进行限位的侧限位块(361)和位于侧限位块(361)之间的顶块(363)。4.根据权利要求3所述的摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，所述侧限位块(361)中间为中空，两个所述侧限位块(361)的中空部分的内壁上具有相对设置的凸起，所述容纳座(36)还包括内定位块(362)；所述内定位块(362)的两端分别与所述侧限位块(361)的凸起连接，所述顶块(363)安装于内定位块(362)长度方向的两边。5.根据权利要求4所述的摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，两个所述侧限位块(361)之间还设置有宽度限位块(364)。6.根据权利要求3所述的摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，侧限位块(361)和顶块(363)的顶面具有斜面。7.根据权利要求3所述的摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，所述顶块(363)沿高度方向设置有长条孔。8.根据权利要求3所述的摇摆式晶圆干燥设备，其特征在于，所述内定位块(362)中间具有兼具降低重量和供气体通过作用的减材通孔。9.一种晶圆干燥方法，其特征在于，使用权利要求1‑8任一项所述的摇摆式晶圆干燥设备，包括以下步骤：S1：通过机械手将晶圆盒放置到摇摆机构(3)上；S2：摇摆机构(3)上的驱动件(33)工作，使晶圆盒摆动，同时向槽体(1)内通入干燥气体；S3：运行一段时间后，驱动件(33)停止工作，使用机械手将晶圆盒从摇摆机构(3)上运走。10.根据权利要求9所述的晶圆干燥方法，其特征在于，所述干燥气体为氮气，所述盖体(2)顶部设置的气体管路(21)能够在槽体(1)底部通入干燥气体的同时进行抽气。2CN115274492A说明书1/4页一种摇摆式晶圆干燥设备及晶圆干燥方法技术领域[0001]本申请属于晶圆清洗技术领域，尤其是涉及一种摇摆式晶圆干燥设备及晶圆干燥方法。背景技术[0002]对于半导体晶圆清洗而言，晶圆需要碱性清洗液清洗、纯水清洗、氢氟酸清洗、臭氧水清洗、干燥等过程，晶圆干燥一般是晶圆清洗的最后步骤，能够去除晶圆表面残留的清洗液，防止晶圆氧化，控制表面的水分及表面洁净度。中国专利文献CN114496847A公开了一种自摆荡晶圆清洗干燥装置，包括清洗槽以及设置于清洗槽内部的摆动机构，摆动机构上设置有两个晶圆盒承载区，晶圆盒承载区用于