升降装置及清洗系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111167807A(43)申请公布日2020.05.19(21)申请号201811339967.7(22)申请日2018.11.12(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人孙文婷王锐廷李广义姬丹丹(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人彭瑞欣张天舒(51)Int.Cl.B08B9/023(2006.01)B08B9/027(2006.01)B08B9/02(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称升降装置及清洗系统(57)摘要本发明提供的升降装置和清洗系统，用于驱动腔体进行升降运动，其包括主升降机构与辅助调节机构，主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降，辅助调节机构与升降臂连接，用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。借助本发明的升降装置，一方面，在将水平放置的腔体放置到具有倾斜角的清洗槽中时，利用主升降机构将腔体的一端放在清洗槽的底部，再利用辅助调节机构调节腔体的水平中心线与水平面的夹角，以将腔体的另一端放置在清洗槽中，避免对腔体产生碰撞；另一方面，当腔体清洗完毕，将腔体从清洗槽中移出时，利用辅助调节机构使腔体的水平中心线与水平面之间形成夹角，以使残留在腔体中的清洗液倾倒出去，易于腔体的干燥。CN111167807ACN111167807A权利要求书1/1页1.一种升降装置，用于驱动腔体进行升降运动，其特征在于，包括：主体结构；主升降机构，与所述主体结构连接；升降臂，与所述主升降机构连接，且所述升降臂能在所述主升降机构的驱动下升降；支撑组件，与所述升降臂的自由端连接，用于承载所述腔体，且所述支撑组件能在所述升降臂的带动下使所述腔体进行主升降；辅助调节机构，与所述升降臂连接，且所述辅助调节机构用于调节所述腔体的水平中心线与水平面的夹角。2.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述辅助调节机构包括：框架；升降臂固定架，位于所述框架内，且所述升降臂固定架的一侧固定有所述升降臂；第一导轨单元，包括沿竖直方向穿设在所述升降臂固定架中的多个第一导轨；传动组件，与所述升降臂固定架连接，且所述传动组件能在第一驱动源的驱动下带动所述升降臂固定架沿所述第一导轨移动。3.根据权利要求2所述的升降装置，其特征在于，所述主升降机构包括第二驱动源和两个第二导轨，两个所述第二导轨分别连接在所述主体结构的两侧，所述第二驱动源能驱动两个所述第二导轨分别沿所述主体结构的两侧升降。4.根据权利要求3所述的升降装置，其特征在于，所述升降臂包括第一提升臂和第二提升臂，所述第一提升臂和所述第二提升臂分别与对应的所述第二导轨连接；所述辅助调节机构与所述第一提升臂连接，以单独调节所述腔体的一端的高度。5.根据权利要求4所述的升降装置，其特征在于，所述支撑组件包括横梁和支撑臂，其中，所述横梁分别与所述第一提升臂和所述第二提升臂的自由端连接；所述支撑臂的数量为多个，每个所述支撑臂的一端均与所述横梁连接，每个所述支撑臂的另一端均悬空；所述支撑臂为挂钩。6.根据权利要求5所述的升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括两个挡板，两个所述挡板设置在所述横梁上，用于当所述腔体的中心线与所述水平面之间具有夹角时，阻挡所述腔体从所述支撑臂上滑落。7.根据权利要求2所述的升降装置，其特征在于，所述框架内还设置有位置传感器，所述位置传感器用于检测所述升降臂固定架是否到达预设高度。8.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述辅助调节机构能调节的所述腔体的水平中心线与所述水平面的夹角范围为1°～5°。9.一种清洗系统，用于清洗腔体，其特征在于，包括升降装置，所述升降装置为权利要求1-8中任一所述的升降装置。10.根据权利要求9所述的清洗系统，其特征在于，所述清洗系统还包括清洗槽，所述清洗槽具有用于承载所述腔体的倾斜底壁，所述辅助调节机构用于通过调节所述腔体的水平中心线与所述水平面的夹角，以使所述腔体的下表面与所述清洗槽的底壁平行。2CN111167807A说明书1/5页升降装置及清洗系统技术领域[0001]本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种升降装置及清洗系统。背景技术[0002]石英管被广泛应用于半导体和光伏等迅猛发展的高科技领域，这些领域对洁净度要求非常高，因此，对石英管的洁净度要求也十分严格。在半导体制程中，一般会在扩散等工艺前对石英管进行清洗。在石英管清洗过程中，会采用自动化搬送系统将石英管转移到清洗槽中进行清洗。[0003]现有技术中的石英管搬送系统，只能垂直移动水平放置的石英管，但是，清洗槽的底部往往具有一定倾斜角度，在使用