一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111447751A(43)申请公布日2020.07.24(21)申请号202010335935.0(22)申请日2020.04.25(71)申请人深圳市科路迪机械设备有限公司地址518000广东省深圳市宝安区沙井街道西环路民主九九工业城A区C栋首层东面(72)发明人任春花任春杰白胜辉(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508代理人诸炳彬(51)Int.Cl.H05K3/06(2006.01)C23F1/08(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图7页(54)发明名称一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架(57)摘要本发明涉及一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架，其蚀刻喷淋架包括架体以及设置在架体上的喷嘴，所述喷嘴的喷淋区倾斜于架体的宽度或长度方向，所述喷嘴间隔纵横排布，相邻行或列的喷嘴错位设置，通过将喷嘴在水平方向上倾斜于横向或竖向，从而使得喷嘴喷淋区域也呈倾斜设置，进而在相邻喷嘴较近的情况下，可以良好的避免相邻喷嘴喷淋区域重叠的情况，使得线路板表面可以更加均匀的被蚀刻，而且这样在不重叠喷淋区域的情况下使得喷淋面有效增大，进而对于线路板上的液体起到推动作用，使得药液可以良好的流出减少残留存积在线路板上的情况，而且错位设置的喷嘴分布均匀度更佳，避免一个喷嘴堵塞后造成局部蚀刻特别差的现象。CN111447751ACN111447751A权利要求书1/1页1.一种蚀刻喷淋架，包括架体(1)以及设置在架体(1)上的喷嘴(2)，其特征在于：所述喷嘴(2)的喷淋区倾斜于架体(1)的宽度或长度方向，所述喷嘴(2)间隔纵横排布，相邻行或列的喷嘴(2)错位设置。2.根据权利要求1所述的精密蚀刻喷淋架，其特征在于：所述架体(1)内间隔设置有水流通道(5)，每至少两行或两列喷嘴(2)对应同一个水流通道(5)，所述架体(1)上设置有与各个水流通道(5)均连通的进水总口。3.根据权利要求1所述的精密蚀刻喷淋架，其特征在于：所述架体(1)包括主体板(3)以及盖板(4)，所述盖板(4)盖在主体板(3)上且两者之间形成水流通道(5)，所述主体板(3)为PVC板。4.根据权利要求1所述的精密蚀刻喷淋架，其特征在于：所述架体(1)上贯穿设置有均匀分布的凹槽(7)，所述凹槽(7)呈椭圆状。5.一种精密蚀刻装置，包括机体(8)以及权利要求1-4任一所述的蚀刻喷淋架(9)，所述机体(8)内设置有用于输送线路板的输送辊，其特征是：所述机体(8)上对应输送辊处设置有真空吸刀(26)，所述真空吸刀(26)上连接有产生吸力的驱动件。6.根据权利要求5所述的精密蚀刻装置，其特征在于：所述机体(8)的底部设置有储液槽(14)，所述驱动件包括连接至储液槽(14)内的输液管(27)，所述输液管(27)远离于储液槽(14)的一端连接有循环水泵(31)，所述循环水泵(31)的进水口连通至储液槽(14)，所述输液管(27)上连接有与真空吸刀(26)连接的分管(28)。7.根据权利要求6所述的精密蚀刻装置，其特征在于：所述输液管(27)对应分管(28)处设置有流通截面缩小的增速部。8.根据权利要求7所述的精密蚀刻装置，其特征在于：所述输液管(27)竖向设置且其位于储液槽(14)内的端部连接有水平管(32)。9.根据权利要求8所述的精密蚀刻装置，其特征在于：所述循环水泵(31)的进水口处连接有通至储液槽(14)内的抽水管，所述抽水管位于背向水平管(32)管口的一侧，所述抽水管的抽水流向与输液管(27)的排水方向相反。10.根据权利要求5所述的精密蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻喷淋架(9)的进水总口处连接有通水管(15)，所述通水管(15)上连接有抽水泵，所述抽水泵的进水口设置有连通至储液槽(14)内的连接管，所述抽水泵的进水口和出水口均设置有第一过滤器，所述通水管(15)上设置有第二过滤器(16)，所述储液槽(14)的顶部设置有过滤网床(17)。2CN111447751A说明书1/5页一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架技术领域[0001]本发明涉及线路板生产加工的技术领域，尤其是涉及一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架。背景技术[0002]印制线路板作为现代重要电子元器件之一，承载众多电子元器件，有着电子元器件之母的美誉，PCB的生产流程多达20多道，流程长，成产工艺复杂，其中外层蚀刻作为外层线路图形制造工序，是PCB制造的瓶颈工序之一，在蚀刻过程中喷淋均匀度直接决定蚀刻达标性，现有设备中通常通过纵横间隔均匀分布喷淋头的方式来提高喷淋的均匀度，进而确保蚀刻的达标性。[0003]例如公告号为CN205196110U的中国专利公开了一种电路板蚀刻喷淋架结构，包括前蚀刻喷淋段和后蚀刻喷淋段，前蚀刻喷淋段中设有一个前上喷淋架、一